Mampiasa ny fandrosoana farany indrindra amin'ny teknolojia ion sputtering ny milina fandokoana ion mba hanomezana dingana fandokoana tsy misy tomika sy mahomby. Miaraka amin'ny fahaizany mandeha ho azy tanteraka, ity milina ity dia manome fahamarinan-toerana sy tsy miovaova tsy manam-paharoa, miantoka ny kalitao avo indrindra amin'ny fandokoana...
Ny fampiasana milina fandokoana banga metaly manohitra ny dian-tanana dia maneho fandrosoana lehibe eo amin'ny teknolojia fiarovana ny velarana. Amin'ny alàlan'ny fampifangaroana ny teknolojia banga sy ny fandokoana manokana, ireo milina ireo dia mamorona sosona manify sy mahatohitra ny fikikisana amin'ny velarana metaly izay miaro amin'ny dian-tanana sy ny fiantraikany hafa...
A. Hafainganam-pandeha avo lenta. Ohatra, rehefa mampiasa SiO2, ny tahan'ny fametrahana dia mety hahatratra 200nm/min, matetika hatramin'ny 10~100nm/min. Ary ny tahan'ny fiforonan'ny sarimihetsika dia mifanandrify mivantana amin'ny herin'ny matetika avo lenta. B. Ny fifikirana eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate dia lehibe kokoa noho ny etona banga...
Ny "Magnétron sputtering" dia ahitana indrindra ny fitaterana plasma, ny fanesorana ny lasibatra, ny fametrahana sarimihetsika manify ary ny dingana hafa, ny saha magnetika amin'ny dingana "magnetron sputtering" dia hisy fiantraikany. Ao amin'ny rafitra "magnetron sputtering" miampy ny saha magnetika orthogonal, ny elektrôna dia iharan'ny...
Ny iray amin'ireo tombony lehibe amin'ny milina fanamboarana banga PVD kely azo ovaina dia ny fahafahany mampiasa azy. Ireo milina ireo dia natao handraisana karazana habe sy endrika samihafa, ka mahatonga azy ireo ho tsara indrindra amin'ny famokarana madinika na namboarina manokana. Fanampin'izany, ny habeny kely sy ny fahafahany miovaova...
Rehefa manomboka ny fametrahana ny atôma membrane, dia misy fiantraikany manaraka ireto eo amin'ny fifandraisan'ny membrane/substrate ny baomba ion. (1) Fifangaroana ara-batana. Noho ny tsindrona ion mahery vaika, ny fiparitahan'ny atôma napetraka ary ny tsindrona mihemotra ny atôma ambonin'ny tany ary ny trangan-javatra fifandonana cascade, dia...
Toetran'ny coating magnetron sputtering (3) Sputtering ambany angovo. Noho ny voltazy katôda ambany ampiharina amin'ny lasibatra, ny plasma dia voafatotry ny saha magnetika ao amin'ny habaka akaikin'ny katôda, ka manakana ny poti-javatra misy angovo avo lenta eo amin'ny sisin'ny substrate voatifitra. Ny...
Raha ampitahaina amin'ny teknolojia coating hafa, ny magnetron sputtering coating dia miavaka amin'ireto endri-javatra manaraka ireto: ny masontsivana miasa dia manana fanitsiana mavitrika lehibe isan-karazany ny hafainganam-pandehan'ny fametrahana coating sy ny hateviny (ny toetry ny faritra voarakotra) dia azo fehezina mora foana, ary tsy misy famolavolana...