Ẹ̀rọ ìbòrí ion sputtering aládàáṣe tí ó wà ní kíkún ń lo àwọn ìlọsíwájú tuntun nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ion láti pèsè ìlànà ìbòrí tí ó rọrùn àti tí ó munadoko. Pẹ̀lú agbára rẹ̀ aládàáṣe tí ó péye, ẹ̀rọ náà ń ṣe àgbékalẹ̀ ìpéye àti ìdúróṣinṣin tí kò láfiwé, èyí tí ó ń rí i dájú pé a ti ṣe àbò tí ó ga jùlọ...
Lilo awọn ẹrọ fifọ afọwọ irin ti ko ni ipa lori ika ọwọ duro fun ilọsiwaju pataki ninu imọ-ẹrọ aabo oju ilẹ. Nipa sisopọ imọ-ẹrọ afẹfẹ ati awọn aṣọ amọja pataki, awọn ẹrọ wọnyi ṣẹda fẹlẹfẹlẹ tinrin, ti ko le wọ lori awọn oju irin ti o daabobo lodi si awọn ika ọwọ ati awọn ipa miiran...
Nínú àwọn ẹ̀ka iṣẹ́-ṣíṣe àti iṣẹ́-ṣíṣe ilé-iṣẹ́ tó ti ń lọ síwájú, ìbéèrè fún àwọn ẹ̀rọ ìbòrí ìgbálẹ̀ tó wúlò ń pọ̀ sí i. Àwọn ẹ̀rọ tuntun wọ̀nyí ń yí ọ̀nà tí a gbà ń fi àwọn ohun èlò bo ara wọn padà, wọ́n sì ń fúnni ní agbára tó pọ̀ sí i, iṣẹ́ wọn àti ẹwà wọn. Nínú ìwé ìròyìn yìí...
Pẹlu idagbasoke ti npọ si ti imọ-ẹrọ fifọ sputtering, paapaa imọ-ẹrọ fifọ magnetron, ni bayi, fun eyikeyi ohun elo le ṣee pese nipasẹ fiimu idojukọ ion bombardment, nitori pe afojusun naa ti wa ni sputtered lakoko ilana ti a fi bo o si iru substrate kan, didara ti...
A. Ìwọ̀n ìfúnpọ̀ gíga. Fún àpẹẹrẹ, nígbà tí a bá ń fọn SiO2, ìwọ̀n ìfúnpọ̀ le tó 200nm/min, nígbà gbogbo tó 10~100nm/min. Ìwọ̀n ìṣẹ̀dá fíìmù sì dọ́gba tààrà sí agbára ìfọ̀rọ̀wérọ̀ gíga. B. Ìsopọ̀ láàárín fíìmù náà àti substrate pọ̀ ju vap vap vacuum lọ...
Àwọn ìlà ìṣelọ́pọ́ fíìmù àtùpà ọkọ̀ jẹ́ apá pàtàkì nínú iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ ọkọ̀. Àwọn ìlà ìṣelọ́pọ́ wọ̀nyí ló ń ṣe àwọ̀ àti ṣíṣe àwọn fíìmù àtùpà ọkọ̀, èyí tí ó ń kó ipa pàtàkì nínú mímú ẹwà àti iṣẹ́ àwọn fììmù ọkọ̀ pọ̀ sí i. Gẹ́gẹ́ bí ìbéèrè fún...
Ìfọ́nrán Magnetron ní pàtàkì pẹ̀lú ìfọ́nrán omi ìtújáde, ìfọ́nrán ibi-afẹ́fẹ́, ìfọ́nrán tín-tín àti àwọn ìlànà mìíràn, pápá oofa lórí ilana ìfọ́nrán magnetron yóò ní ipa. Nínú ètò ìfọ́nrán magnetron pẹ̀lú pápá oofa orthogonal, àwọn elekitironi wà lábẹ́ th...
Ẹ̀rọ ìbòrí ìbòrí ìbòrí lórí ẹ̀rọ ìgbóná omi ní àwọn ohun pàtàkì wọ̀nyí: (1) Ètò ìbòrí ìbòrí omi yẹ kí ó ní ìwọ̀n ìgbóná omi tó tóbi tó, èyí tí kò yẹ kí ó fa àwọn gáàsì tí a tú jáde láti inú substrate àti àwọn ohun èlò tí a ti yọ́ jáde àti àwọn èròjà inú ìgbóná omi náà jáde kíákíá...
Ẹ̀rọ ìbòrí PVD ohun ọ̀ṣọ́ náà ń lo ìlànà kan tí a mọ̀ sí Physical Vapor Deposition (PVD) láti fi ìbòrí tín-tín ṣùgbọ́n tí ó le koko sí àwọn ohun ọ̀ṣọ́ náà. Ìlànà yìí ní í ṣe pẹ̀lú lílo àwọn ibi ìfojúsùn irin tí ó mọ́ tónítóní, tí a fi irin pò, tí a sì ń tú jáde nínú àyíká afẹ́fẹ́. Afẹ́fẹ́ irin tí ó yọrí sí i yóò wá...
Ọ̀kan lára àwọn àǹfààní pàtàkì ti àwọn ẹ̀rọ ìbòrí PVD kékeré tí ó rọrùn ni pé wọ́n lè yípadà. Àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ni a ṣe láti gba onírúurú ìwọ̀n àti ìrísí substrate, èyí tí ó mú kí wọ́n dára fún àwọn iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ kékeré tàbí àṣà. Ní àfikún, ìwọ̀n kékeré rẹ̀ àti ìyípadà rẹ̀...
Nínú ilé iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ tó ń yípadà síi, àwọn irinṣẹ́ gígé ń kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn ọjà tí a ń lò lójoojúmọ́. Láti gígé tí ó péye ní ilé iṣẹ́ afẹ́fẹ́ sí àwọn àwòrán tó díjú ní ẹ̀ka ìṣègùn, ìbéèrè fún àwọn irinṣẹ́ gígé tó ga ń pọ̀ sí i. Láti bá ìbéèrè yìí mu, US...
Nígbà tí ìfipamọ́ àwọn átọ̀mù membrane bá bẹ̀rẹ̀, ìbọn ion ní àwọn ipa wọ̀nyí lórí ìsopọ̀ membrane/substrate. (1) Ìdàpọ̀ ara. Nítorí abẹ́rẹ́ ion tó ní agbára gíga, ìfọ́ àwọn átọ̀mù tí a fi pamọ́ àti ìfàsẹ́yìn àwọn átọ̀mù dada àti ìṣẹ̀lẹ̀ ìkọlù cascade, pẹ̀lú...
Ìfọ́nká jẹ́ ìṣẹ̀lẹ̀ kan tí àwọn èròjà alágbára (tí ó sábà máa ń jẹ́ àwọn ion rere ti àwọn gáàsì) ń kọlu ojú ohun líle kan (tí a ń pè ní ohun èlò ìfọ́nká ní ìsàlẹ̀), tí ó ń mú kí àwọn átọ̀mù (tàbí àwọn molecule) tí ó wà lórí ojú ohun èlò ìfọ́nká sá kúrò nínú rẹ̀. Grove ṣe àwárí ìṣẹ̀lẹ̀ yìí ní ọdún 1842 nígbà tí...
Àwọn ànímọ́ ìbòrí ìfọ́ magnetron sputtering (3) Ìfọ́ agbára díẹ̀. Nítorí pé fóltéèjì kathode kékeré tí a lò sí ibi tí a fẹ́ dé, a so plasma náà mọ́ pápá oofa ní àyè tí ó wà nítòsí cathode, èyí sì ń dí àwọn èròjà agbára gíga tí a fi agbára gba sí ẹ̀gbẹ́ substrate tí àwọn ènìyàn yìnbọn.
Akawe pẹlu awọn imọ-ẹrọ ibora miiran, a ṣe afihan ideri magnetron sputtering nipasẹ awọn ẹya wọnyi: awọn ipilẹ iṣẹ ni ibiti o ti n ṣatunṣe agbara ti iyara ati sisanra ti a bo (ipo ti agbegbe ti a bo) le ṣakoso ni irọrun, ati pe ko si apẹrẹ ...