TiN нь өндөр бат бэх, өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй гэх мэт давуу талуудтай, зүсэх хэрэгсэлд хэрэглэгддэг хамгийн эртний хатуу бүрхүүл юм. Энэ нь анхдагч үйлдвэржсэн, өргөн хэрэглэгддэг хатуу бүрэх материал бөгөөд бүрсэн багаж хэрэгсэл, бүрсэн хэвэнд өргөн хэрэглэгддэг. TiN хатуу бүрхүүлийг дулааны CVD технологиор анх 1000 ℃ температурт хадгалсан. Одоо үүнийг катод нуман ионы бүрээс, Магнетрон цацруулагч бүрээс, хөндий катодын ионы бүрээс, халуун утсан нуман ионы бүрээс, PECVD болон бусад технологиор 500 ℃ температурт авах боломжтой. Энэхүү бүрээсийг гадаргууг хатууруулах металл материал боловсруулах, өндөр хурдны ган хэлбэржүүлэх хэрэгсэл, хэвийг хэв үйлдвэрлэхэд удаан хугацаагаар ашиглаж ирсэн. TiN-ийг 500 ℃ температурт тунаснаар ион бүрэх технологийг ашиглан бүрсэн зүсэгч багажийг буулгах эхлэлийг тавьсан. Үүний үндсэн дээр боловсруулах үйлдвэрлэлийн өндөр түвшний хөгжлийн хэрэгцээг хангахын тулд төрөл бүрийн бүрэлдэхүүн хэсэг бүхий төрөл бүрийн хатуу бүрхүүлийг боловсруулсан: нитрид ба карбид дээр суурилсан хоёртын, гуравдагч, дөрөвдөгч энгийн хатуулагтай хатуу бүрхүүлүүд, түүнчлэн эдгээр хатуу бүрхүүлүүд дээр суурилсан хэт хатуу нано бүрээсүүд, мөн хэт хатуу дотоод бүрхүүлүүд дээр суурилсан.
Хатуу бүрхүүлийн гүйцэтгэлийн гол үзүүлэлт бол хатуулаг юм. Бүрхүүлгийн хатуулгийн дагуу хатуу бүрээсийг энгийн хатуу бүрээс, хэт хатуу нано бүрээс, дотоод хэт хатуу/маш хатуу бүрхүүл гэж дараах хүснэгтэд үзүүлснээр гурван төрөлд хувааж болно.
– Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа нийтэлсэн.хатуу бүрэх машин үйлдвэрлэгч.
Шуудангийн цаг: 2023-06-07