സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ സാങ്കേതിക സവിശേഷതകൾ

വാക്വം മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രത്യേകിച്ചും റിയാക്ടീവ് ഡിപ്പോസിഷൻ കോട്ടിംഗുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്. വാസ്തവത്തിൽ, ഈ പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഏതെങ്കിലും ഓക്സൈഡ്, കാർബൈഡ്, നൈട്രൈഡ് വസ്തുക്കളുടെ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും. കൂടാതെ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഡിസൈനുകൾ, കളർ ഫിലിമുകൾ, വെയർ-റെസിസ്റ്റന്റ് കോട്ടിംഗുകൾ, നാനോ-ലാമിനേറ്റുകൾ, സൂപ്പർലാറ്റിസ് കോട്ടിംഗുകൾ, ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിമുകൾ മുതലായവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള മൾട്ടിലെയർ ഫിലിം ഘടനകളുടെ നിക്ഷേപത്തിനും ഈ പ്രക്രിയ പ്രത്യേകിച്ചും അനുയോജ്യമാണ്. 1970-ൽ തന്നെ, വിവിധ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫിലിം ലെയർ മെറ്റീരിയലുകൾക്കായി ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ ഉദാഹരണങ്ങൾ വികസിപ്പിച്ചെടുത്തിട്ടുണ്ട്. ഈ വസ്തുക്കളിൽ സുതാര്യമായ ചാലക വസ്തുക്കൾ, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, പോളിമറുകൾ, ഓക്സൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു, അതേസമയം ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗ് പോലുള്ള പ്രക്രിയകളിൽ ഫ്ലൂറൈഡുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ പ്രധാന നേട്ടം, ഈ വസ്തുക്കളുടെ പാളികൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നതിന് റിയാക്ടീവ് അല്ലെങ്കിൽ നോൺ-റിയാക്ടീവ് കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾ ഉപയോഗിക്കുക എന്നതാണ്, കൂടാതെ പാളി ഘടന, ഫിലിം കനം, ഫിലിം കനം ഏകീകൃതത, പാളിയുടെ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ നന്നായി നിയന്ത്രിക്കാനും കഴിയും. പ്രക്രിയയ്ക്ക് ഇനിപ്പറയുന്ന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്.

1, വലിയ നിക്ഷേപ നിരക്ക്. അതിവേഗ മാഗ്നെട്രോൺ ഇലക്ട്രോഡുകളുടെ ഉപയോഗം കാരണം, ഒരു വലിയ അയോൺ പ്രവാഹം ലഭിക്കും, ഇത് ഈ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ നിക്ഷേപ നിരക്കും സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്കും ഫലപ്രദമായി മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു. മറ്റ് സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന് ഉയർന്ന ശേഷിയും ഉയർന്ന വിളവും ഉണ്ട്, കൂടാതെ വിവിധ വ്യാവസായിക ഉൽ‌പാദനത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

2, ഉയർന്ന പവർ കാര്യക്ഷമത. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് സാധാരണയായി 200V-1000V പരിധിക്കുള്ളിലെ വോൾട്ടേജ് തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു, സാധാരണയായി 600V ആണ്, കാരണം 600V യുടെ വോൾട്ടേജ് പവർ കാര്യക്ഷമതയുടെ ഏറ്റവും ഉയർന്ന ഫലപ്രദമായ പരിധിക്കുള്ളിലാണ്.

3. കുറഞ്ഞ സ്പട്ടറിംഗ് ഊർജ്ജം. മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റ് വോൾട്ടേജ് കുറവാണ് പ്രയോഗിക്കുന്നത്, കൂടാതെ കാന്തികക്ഷേത്രം പ്ലാസ്മയെ കാഥോഡിന് സമീപം പരിമിതപ്പെടുത്തുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ചാർജുള്ള കണങ്ങളെ അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് വിക്ഷേപിക്കുന്നത് തടയുന്നു.

4, താഴ്ന്ന അടിവസ്ത്ര താപനില. ഡിസ്ചാർജ് സമയത്ത് ഉണ്ടാകുന്ന ഇലക്ട്രോണുകളെ ആനോഡ് വഴിതിരിച്ചുവിടാൻ ഉപയോഗിക്കാം, പൂർത്തിയാക്കാൻ അടിവസ്ത്ര പിന്തുണ ആവശ്യമില്ല, ഇത് അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഇലക്ട്രോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് ഫലപ്രദമായി കുറയ്ക്കും. അതിനാൽ അടിവസ്ത്ര താപനില കുറവാണ്, ഉയർന്ന താപനില കോട്ടിംഗിന് വളരെ പ്രതിരോധമില്ലാത്ത ചില പ്ലാസ്റ്റിക് അടിവസ്ത്രങ്ങൾക്ക് ഇത് വളരെ അനുയോജ്യമാണ്.

5, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് സർഫേസ് എച്ചിംഗ് യൂണിഫോം അല്ല. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റ് സർഫേസ് എച്ചിംഗ് അസമമാകുന്നത് ടാർഗെറ്റിന്റെ അസമമായ കാന്തികക്ഷേത്രം മൂലമാണ്. ടാർഗെറ്റ് എച്ചിംഗ് നിരക്കിന്റെ സ്ഥാനം വലുതാണ്, അതിനാൽ ടാർഗെറ്റിന്റെ ഫലപ്രദമായ ഉപയോഗ നിരക്ക് കുറവാണ് (20-30% ഉപയോഗ നിരക്ക് മാത്രം). അതിനാൽ, ടാർഗെറ്റ് ഉപയോഗം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന്, കാന്തികക്ഷേത്ര വിതരണം ചില മാർഗങ്ങളിലൂടെ മാറ്റേണ്ടതുണ്ട്, അല്ലെങ്കിൽ കാഥോഡിൽ ചലിക്കുന്ന കാന്തങ്ങളുടെ ഉപയോഗവും ലക്ഷ്യ ഉപയോഗം മെച്ചപ്പെടുത്തും.

6, കോമ്പോസിറ്റ് ടാർഗെറ്റ്. കോമ്പോസിറ്റ് ടാർഗെറ്റ് കോട്ടിംഗ് അലോയ് ഫിലിം നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും. നിലവിൽ, കോമ്പോസിറ്റ് മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റ് സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ഉപയോഗം Ta-Ti അലോയ്, (Tb-Dy)-Fe, Gb-Co അലോയ് ഫിലിം എന്നിവയിൽ വിജയകരമായി പൂശിയിരിക്കുന്നു. കോമ്പോസിറ്റ് ടാർഗെറ്റ് ഘടനയ്ക്ക് യഥാക്രമം നാല് തരം ഉണ്ട്, റൗണ്ട് ഇൻലേയ്ഡ് ടാർഗെറ്റ്, സ്ക്വയർ ഇൻലേയ്ഡ് ടാർഗെറ്റ്, സ്മോൾ സ്ക്വയർ ഇൻലേയ്ഡ് ടാർഗെറ്റ്, സെക്ടർ ഇൻലേയ്ഡ് ടാർഗെറ്റ്. സെക്ടർ ഇൻലേയ്ഡ് ടാർഗെറ്റ് ഘടനയുടെ ഉപയോഗം മികച്ചതാണ്.

7. ആപ്ലിക്കേഷനുകളുടെ വിശാലമായ ശ്രേണി. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയ്ക്ക് നിരവധി മൂലകങ്ങൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും, പൊതുവായവ ഇവയാണ്: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, മുതലായവ.

ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഫിലിമുകൾ ലഭിക്കുന്നതിന് ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്ന കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ ഒന്നാണ് മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്. ഒരു പുതിയ കാഥോഡ് ഉപയോഗിച്ച്, ഇതിന് ഉയർന്ന ലക്ഷ്യ ഉപയോഗവും ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്കും ഉണ്ട്. ഗ്വാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻ‌ഹുവ ടെക്‌നോളജി വാക്വം മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയ ഇപ്പോൾ വലിയ-ഏരിയ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകളുടെ കോട്ടിംഗിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. സിംഗിൾ-ലെയർ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷന് മാത്രമല്ല, മൾട്ടി-ലെയർ ഫിലിം കോട്ടിംഗിനും ഈ പ്രക്രിയ ഉപയോഗിക്കുന്നു, കൂടാതെ, പാക്കേജിംഗ് ഫിലിം, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫിലിം, ലാമിനേഷൻ, മറ്റ് ഫിലിം കോട്ടിംഗ് എന്നിവയ്‌ക്കുള്ള റോൾ ടു റോൾ പ്രക്രിയയിലും ഇത് ഉപയോഗിക്കുന്നു.