ການແນະນໍາໂດຍຫຍໍ້ແລະຄວາມໄດ້ປຽບຂອງອຸປະກອນການເຄືອບ magnetron sputtering

ຫຼັກການ sputtering Magnetron: ເອເລັກໂຕຣນິກ collide ກັບປະລໍາມະນູ argon ໃນຂະບວນການເລັ່ງກັບ substrate ພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, ionizing ຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ argon ions ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະເອເລັກໂຕຣນິກບິນໄປ substrate ໄດ້. The argon ion ເລັ່ງການລະເບີດອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວພາຍໃຕ້ການປະຕິບັດຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າ, splashing ອອກຈໍານວນຫລາຍຂອງປະລໍາມະນູເປົ້າຫມາຍ, ທີ່ຖືກຝາກໄວ້ໃນ substrate ເປັນອະຕອມເປົ້າຫມາຍທີ່ເປັນກາງ (ຫຼືໂມເລກຸນ) ປະກອບເປັນຮູບເງົາ. ໃນເວລາທີ່ເອເລັກໂຕຣນິກຂັ້ນສອງເລັ່ງເພື່ອບິນໄປຫາ substrate, ພາຍໃຕ້ອິດທິພົນຂອງກໍາລັງ Lorentz ຂອງສະຫນາມແມ່ເຫຼັກ, ມັນນໍາສະເຫນີຮູບແບບປະສົມຂອງກ້ຽວວຽນແລະ cycloid ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຊຸດຂອງການເຄື່ອນໄຫວເປັນວົງຢູ່ໃນຫນ້າດິນເປົ້າຫມາຍ. ເອເລັກໂຕຣນິກບໍ່ພຽງແຕ່ມີເສັ້ນທາງຍາວຂອງການເຄື່ອນໄຫວ, ມັນຍັງຢູ່ໃນພື້ນທີ່ plasma ໃກ້ກັບຫນ້າດິນເປົ້າຫມາຍໂດຍ beam ທິດສະດີພາກສະຫນາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າ, ໃນຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ Ar ແມ່ນ ionized ເພື່ອ bombard ເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວ, ສະນັ້ນອັດຕາການ deposition ຂອງອຸປະກອນການເຄືອບ magnetron sputtering ແມ່ນສູງ.

ດັ່ງນັ້ນ, ກອຸປະກອນການເຄືອບ magnetron sputteringໄດ້ຖືກພັດທະນາ, ເຊິ່ງປະສົມປະສານເຕັກໂນໂລຊີ sputtering magnetron ແລະ ion coating, ແລະສະຫນອງການແກ້ໄຂສໍາລັບການປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງສີແລະ https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1# ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອັດຕາເງິນຝາກແລະອົງປະກອບປະສົມ. ອີງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ລະບົບຄວາມຮ້ອນ, ລະບົບອະຄະຕິ, ລະບົບ ionization ແລະອຸປະກອນອື່ນໆສາມາດເລືອກໄດ້. ການແຜ່ກະຈາຍເປົ້າຫມາຍສາມາດປັບໄດ້ຢ່າງຍືດຫຍຸ່ນ, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາແມ່ນດີກວ່າ. ດ້ວຍວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຮູບເງົາປະສົມທີ່ມີການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າສາມາດກະກຽມໄດ້. ການເຄືອບທີ່ກະກຽມໂດຍອຸປະກອນມີຄວາມໄດ້ປຽບຂອງກໍາລັງປະສົມທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ເຊິ່ງປະສິດທິພາບສາມາດປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານການສີດເກືອ, ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ແລະຄວາມແຂງຂອງຫນ້າດິນຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການກະກຽມການເຄືອບປະສິດທິພາບສູງ.
ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວແມ່ນອຸດົມສົມບູນໃນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໄດ້, ເຊິ່ງສາມາດນໍາໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບອຸປະກອນຮາດແວ / ພາດສະຕິກນ້ໍາສະແຕນເລດ, ແກ້ວ, ເຊລາມິກແລະອຸປະກອນອື່ນໆ. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບຮາດແວຂອງຜະລິດຕະພັນອີເລັກໂທຣນິກ, ໂມງແລະໂມງຊັ້ນສູງ, ເຄື່ອງປະດັບທີ່ສູງທີ່ສຸດແລະຮາດແວຂອງເຄື່ອງຫນັງຍີ່ຫໍ້ແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ອຸດົມສົມບູນອື່ນໆ.