Магнетронды шашырату жабыны жарқыраған разрядта жүзеге асырылады, жабын камерасында разряд тогының тығыздығы төмен және плазма тығыздығы төмен болады. Бұл магнетронды шашырату технологиясының пленкалық субстраттың төмен байланыс күші, металл иондану жылдамдығының төмендігі және тұндыру радиациясының төмендігі сияқты кемшіліктерін тудырады...
1. Оқшаулау пленкасын шашырату және қаптау үшін пайдалы. Электрод полярлығының тез өзгеруі оқшаулағыш пленкаларды алу үшін оқшаулағыш нысандарды тікелей шашырату үшін пайдаланылуы мүмкін. Егер оқшаулағыш пленканы шашырату және тұндыру үшін тұрақты ток көзі пайдаланылса, оқшаулағыш пленка оң иондарды кірден бөгейді...
1. Вакуумдық булану жабыны процесі пленка материалдарының булануын, жоғары вакуумда бу атомдарының тасымалдануын және дайындаманың бетінде бу атомдарының ядролану және өсу процесін қамтиды. 2. Вакуумдық булану жабынының тұндыру вакуумдық дәрежесі жоғары, жалпы...
TiN - кескіш құралдарда қолданылатын ең алғашқы қатты жабын, оның жоғары беріктігі, жоғары қаттылығы және тозуға төзімділігі сияқты артықшылықтары бар. Бұл жабынды құралдар мен жабынды қалыптарда кеңінен қолданылатын алғашқы өнеркәсіптік және кеңінен қолданылатын қатты жабын материалы. TiN қатты жабыны бастапқыда 1000 ℃ температурада тұндырылған...
Жоғары энергиялы плазма полимер материалдарын бомбалап, сәулелендіре алады, олардың молекулалық тізбектерін үзіп, белсенді топтарды түзіп, беттік энергияны арттырып, оюды тудырады. Плазмалық бетті өңдеу негізгі материалдың ішкі құрылымы мен өнімділігіне әсер етпейді, тек айтарлықтай...
Катодтық доға көзінің иондық жабынымен қаптау процесі басқа жабын технологияларымен бірдей, ал дайындамаларды орнату және шаңсорғышпен тазалау сияқты кейбір операциялар енді қайталанбайды. 1. Дайындамаларды бомбалау арқылы тазалау Жабу алдында жабын камерасына аргон газы енгізіледі...
1. Доғалық жарық электрон ағынының сипаттамалары Доғалық плазмадағы доғалық разрядпен пайда болатын электрон ағынының, ион ағынының және жоғары энергиялы бейтарап атомдардың тығыздығы жарқыл разрядына қарағанда әлдеқайда жоғары. Газ иондары мен иондалған, қозған жоғары энергиялы атомдар және әртүрлі белсенді иондар көп...
1) Плазма бетінің модификациясы негізінен қағаздың, органикалық пленкалардың, тоқыма бұйымдарының және химиялық талшықтардың белгілі бір модификацияларына қатысты. Тоқыманы модификациялау үшін плазманы пайдалану активаторларды пайдалануды қажет етпейді және өңдеу процесі талшықтардың сипаттамаларына зиян келтірмейді. ...
Оптикалық жұқа қабықшаларды қолдану өте кең, ол көзілдіріктерден, камера линзаларынан, ұялы телефон камераларынан, ұялы телефондарға, компьютерлерге және теледидарларға арналған LCD экрандардан, жарықдиодты жарықтандырудан, биометриялық құрылғылардан бастап, автомобильдер мен ғимараттардағы энергия үнемдейтін терезелерге, сондай-ақ медициналық құралдарға дейін...
1. Ақпараттық дисплейдегі пленка түрі TFT-LCD және OLED жұқа пленкаларынан басқа, ақпараттық дисплей дисплей панеліндегі сым электрод пленкаларын және мөлдір пиксель электрод пленкаларын да қамтиды. Қаптау процесі TFT-LCD және OLED дисплейдің негізгі процесі болып табылады. Үздіксіз прогрессиямен...
Буландыру жабыны кезінде пленка қабатының ядролануы және өсуі әртүрлі иондық жабын технологиясының негізі болып табылады. 1. Ядролану Вакуумдық булану жабыны технологиясында пленка қабатының бөлшектері булану көзінен атомдар түрінде буланғаннан кейін тікелей ауаға ұшады...
1. Дайындаманың ығысуы төмен. Иондану жылдамдығын арттыру үшін құрылғыны қосуға байланысты разряд тогының тығыздығы артады, ал ығысу кернеуі 0,5 ~ 1 кВ дейін төмендейді. Жоғары энергиялы иондардың шамадан тыс бомбалануынан туындаған кері шашыраңқылық және дайындаманың бетіне зақым келтіру әсері...
1) Цилиндрлік нысандар жазық нысандарға қарағанда жоғары пайдалану коэффициентіне ие. Қаптау процесінде, айналмалы магниттік түрі болсын немесе айналмалы түтік тәрізді цилиндрлік шашырату нысанасы болсын, нысана түтігінің бетінің барлық бөліктері алдында пайда болған шашырату аймағынан үздіксіз өтеді...
Плазмалық тікелей полимерлеу процесі Плазмалық полимерлеу процесі ішкі электродты полимерлеу жабдықтары үшін де, сыртқы электродты полимерлеу жабдықтары үшін де салыстырмалы түрде қарапайым, бірақ плазмалық полимерлеуде параметрлерді таңдау маңыздырақ, себебі параметрлердің үлкен...
Ыстық сым доғасымен күшейтілген плазмалық химиялық бу тұндыру технологиясы ыстық сым доғалы мылтықпен доғалы плазманы шығарады, бұл қысқаша ыстық сым доғалы PECVD технологиясы деп аталады. Бұл технология ыстық сым доғалы мылтықтың иондық жабын технологиясына ұқсас, бірақ айырмашылығы - хо арқылы алынған қатты пленка...