Жабдықтың артықшылығы
1. Масштабталатын функционалды конфигурация
Модульдік архитектуралық дизайнды пайдалана отырып, ол функционалдық камераларды жылдам қосуға, жоюға және қайта ұйымдастыруға мүмкіндік беретін жаппай жылдам өндіріс режимдерін қолдайды. Өндіріс желісінің схемасы өндірістік қажеттіліктерге сәйкес икемді түрде реттелуі мүмкін.
2.Precision жабу технологиясының шешімі
Тесік құрылымдарын тиімді толтыруға қол жеткізу үшін оңтайландырылған магнит өрісінің шешімімен біріктірілген шағын бұрышты айналмалы нысананы шашырату технологиясын инновациялық түрде қолдану.
3.Айналмалы нысаналы құрылымды қабылдау
Бұл құрылым жабын материалының шығынын үнемдейді және материалды мақсатты пайдалануды жақсартады. Ол сондай-ақ мақсатты ауыстыру циклін азайтады, осылайша өндіріс тиімділігін арттырады.
4. Процесті басқарудың артықшылықтары
Магнетронды шашырату параметрлерін оңтайландыру және екі жақты синхронды тұндыру технологиясы арқылы күрделі құрылымдық компоненттерді жабу тиімділігі айтарлықтай жақсарады, сонымен бірге материалды жоғалту жылдамдығы төмендейді.
Қолдану:Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni және т.б. сияқты әр түрлі бір элементті металл пленка қабаттарын дайындауға қабілетті. Ол DPC керамикалық субстраттар, керамикалық конденсаторлар, термисторлар, жарықдиодты керамикалық кронштейндер және т.б. сияқты жартылай өткізгіш электрондық компоненттерде кеңінен қолданылады.