TiN არის პირველი მყარი საფარი, რომელიც გამოიყენება საჭრელ ხელსაწყოებში, ისეთი უპირატესობებით, როგორიცაა მაღალი სიმტკიცე, მაღალი სიმტკიცე და ცვეთამედეგობა. ეს არის პირველი ინდუსტრიული და ფართოდ გამოყენებული მყარი საფარის მასალა, რომელიც ფართოდ გამოიყენება დაფარულ ხელსაწყოებსა და დაფარულ ყალიბებში. TiN მყარი საფარი თავდაპირველად 1000 ℃-ზე დაიტანეს თერმული CVD ტექნოლოგიით. ამჟამად მისი მიღება 500 ℃-ზე შესაძლებელია კათოდური რკალური იონური საფარით, მაგნეტრონული გაფრქვევით საფარით, ღრუ კათოდური იონური საფარით, ცხელი მავთულის რკალური იონური საფარით, PECVD და სხვა ტექნოლოგიებით. ეს საფარი დიდი ხანია გამოიყენება ზედაპირული გამკვრივების ლითონის მასალების დამუშავებასა და მაღალსიჩქარიანი ფოლადის ფორმირების ხელსაწყოებისა და ფორმების ყალიბების წარმოებაში. TiN-ის 500 ℃-ზე დატანამ პიონერი გახადა დაფარული საჭრელი ხელსაწყოების დატანა იონური საფარის ტექნოლოგიის გამოყენებით. მაღალი დონის გადამამუშავებელი ინდუსტრიის განვითარების საჭიროებების დასაკმაყოფილებლად, ამის საფუძველზე შემუშავდა სხვადასხვა კომპონენტით დამზადებული მყარი საფარის მრავალფეროვნება: TiN-ის საფუძველზე შემუშავდა ნიტრიდებსა და კარბიდებზე დაფუძნებული ბინარული, სამმაგი და მეოთხეული ჩვეულებრივი სიმტკიცის მყარი საფარი, ასევე ამ მყარი საფარის საფუძველზე შექმნილი ზემყარი ნანოსაფარები, ასევე ულტრამაღალი სიმტკიცის მქონე შინაგანი ზემყარი საფარები.
მყარი საფარის მთავარი მახასიათებელია სიმტკიცე. საფარის სიმტკიცის მიხედვით, მყარი საფარი შეიძლება დაიყოს სამ ტიპად: ჩვეულებრივი მყარი საფარი, ზემყარი ნანო საფარი და შინაგანი ზემყარი/უკიდურესად მყარი საფარი, როგორც ეს ნაჩვენებია შემდეგ ცხრილში.
– ეს სტატია გამოაქვეყნა Guangdong Zhenhua-მ,მყარი საფარის მანქანების მწარმოებელი.
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 7 ივნისი