Meginregla segulspúttunar: Rafeindir rekast á argonatóm og hraða þeim að undirlaginu undir áhrifum rafsviðs, sem jónar fjölda argonjóna og rafeinda og rafeindir fljúga að undirlaginu. Argonjónin flýtir sér og sprengir markefnið undir áhrifum rafsviðsins og skvettir út fjölda markatóma sem setjast á undirlagið sem hlutlaus markatóm (eða sameindir) og mynda filmu. Þegar aukarafeindin flýtur að undirlaginu, undir áhrifum Lorentz-krafts segulsviðsins, myndar hún spíral- og hringlaga samsett form til að framkvæma röð hringlaga hreyfinga á markfletinu. Rafeindin hefur ekki aðeins langa hreyfingarleið, heldur er hún enn í plasmasvæðinu nálægt markfletinu vegna rafsegulsviðskenningarinnar, þar sem mikið magn af Ar er jónað til að sprengja markið, þannig að útfellingarhraði segulspúttunarhúðunartækisins er mikill.
Þannig, abúnaður til að húða magnetron sputteringhefur verið þróað, sem samþættir segulspúttunar- og jónhúðunartækni og býður upp á lausn til að bæta litasamkvæmni og https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1#stöðugleika útfellingarhraðans og samsetningar efnasambandsins. Samkvæmt mismunandi vörukröfum er hægt að velja hitakerfi, hlutdrægnikerfi, jónunarkerfi og önnur tæki. Hægt er að stilla dreifingu marksins sveigjanlega og einsleitni filmunnar er betri. Með mismunandi markefnum er hægt að búa til samsetta filmu með betri afköstum. Húðunin sem búin er til með búnaðinum hefur kosti eins og sterkan samsettan kraft og þéttleika, sem getur á áhrifaríkan hátt bætt saltúðaþol, slitþol og yfirborðshörku vörunnar og uppfyllt kröfur um afkastamikla húðun.
Búnaðurinn er ríkur af nothæfum efnum, sem má nota fyrir vatnshúðaða vélbúnað/plasthluta úr ryðfríu stáli, gler, keramik og önnur efni. Hann er aðallega notaður í vélbúnað rafeindatækja, hágæða klukkur og úr, hágæða skartgripi og vélbúnað, leðurvörur og aðrar hágæða vörur.
Birtingartími: 7. febrúar 2023