स्पटरिंग कोटिंग मशीन तकनीकी विशेषताएं

वैक्यूम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग विशेष रूप से प्रतिक्रियाशील जमाव कोटिंग्स के लिए उपयुक्त है। वास्तव में, यह प्रक्रिया किसी भी ऑक्साइड, कार्बाइड और नाइट्राइड सामग्री की पतली फिल्मों को जमा कर सकती है। इसके अलावा, यह प्रक्रिया बहुपरत फिल्म संरचनाओं के जमाव के लिए भी विशेष रूप से उपयुक्त है, जिसमें ऑप्टिकल डिज़ाइन, रंगीन फिल्में, पहनने के लिए प्रतिरोधी कोटिंग्स, नैनो-लैमिनेट, सुपरलैटिस कोटिंग्स, इन्सुलेटिंग फिल्में आदि शामिल हैं। 1970 की शुरुआत में, विभिन्न ऑप्टिकल फिल्म परत सामग्री के लिए उच्च गुणवत्ता वाले ऑप्टिकल फिल्म जमाव उदाहरण विकसित किए गए हैं। इन सामग्रियों में पारदर्शी प्रवाहकीय सामग्री, अर्धचालक, पॉलिमर, ऑक्साइड, कार्बाइड और नाइट्राइड शामिल हैं, जबकि फ्लोराइड का उपयोग वाष्पीकरण कोटिंग जैसी प्रक्रियाओं में किया जाता है।

मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग प्रक्रिया का मुख्य लाभ इन सामग्रियों की परतों को जमा करने के लिए प्रतिक्रियाशील या गैर-प्रतिक्रियाशील कोटिंग प्रक्रियाओं का उपयोग करना और परत संरचना, फिल्म की मोटाई, फिल्म की मोटाई की एकरूपता और परत के यांत्रिक गुणों पर अच्छा नियंत्रण है। इस प्रक्रिया की विशेषताएं इस प्रकार हैं।

1、बड़ी जमा दर। उच्च गति वाले मैग्नेट्रॉन इलेक्ट्रोड के उपयोग के कारण, एक बड़ा आयन प्रवाह प्राप्त किया जा सकता है, जो इस कोटिंग प्रक्रिया की जमा दर और स्पटरिंग दर को प्रभावी ढंग से सुधारता है। अन्य स्पटरिंग कोटिंग प्रक्रियाओं की तुलना में, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग में उच्च क्षमता और उच्च उपज होती है, और इसका व्यापक रूप से विभिन्न औद्योगिक उत्पादन में उपयोग किया जाता है।

2, उच्च शक्ति दक्षता। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य आम तौर पर 200V-1000V की सीमा के भीतर वोल्टेज चुनते हैं, आमतौर पर 600V होता है, क्योंकि 600V का वोल्टेज बिजली दक्षता की उच्चतम प्रभावी सीमा के भीतर होता है।

3. कम स्पटरिंग ऊर्जा। मैग्नेट्रॉन लक्ष्य वोल्टेज कम लगाया जाता है, और चुंबकीय क्षेत्र कैथोड के पास प्लाज्मा को सीमित करता है, जो उच्च ऊर्जा वाले आवेशित कणों को सब्सट्रेट पर लॉन्च होने से रोकता है।

4、कम सब्सट्रेट तापमान। एनोड का उपयोग डिस्चार्ज के दौरान उत्पन्न इलेक्ट्रॉनों को दूर करने के लिए किया जा सकता है, इसे पूरा करने के लिए सब्सट्रेट समर्थन की आवश्यकता नहीं होती है, जो सब्सट्रेट के इलेक्ट्रॉन बमबारी को प्रभावी ढंग से कम कर सकता है। इस प्रकार सब्सट्रेट का तापमान कम होता है, जो कुछ प्लास्टिक सब्सट्रेट के लिए बहुत आदर्श है जो उच्च तापमान कोटिंग के लिए बहुत प्रतिरोधी नहीं हैं।

5, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य सतह नक़्क़ाशी एक समान नहीं है। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य सतह नक़्क़ाशी असमान लक्ष्य के असमान चुंबकीय क्षेत्र के कारण होती है। लक्ष्य नक़्क़ाशी दर का स्थान बड़ा है, ताकि लक्ष्य की प्रभावी उपयोग दर कम हो (केवल 20-30% उपयोग दर)। इसलिए, लक्ष्य उपयोग में सुधार करने के लिए, चुंबकीय क्षेत्र वितरण को कुछ तरीकों से बदलने की आवश्यकता है, या कैथोड में घूमने वाले चुंबकों का उपयोग भी लक्ष्य उपयोग में सुधार कर सकता है।

6、कम्पोजिट टारगेट। कम्पोजिट टारगेट कोटिंग एलॉय फिल्म बना सकते हैं। वर्तमान में, कम्पोजिट मैग्नेट्रॉन टारगेट स्पटरिंग प्रक्रिया का उपयोग टा-टीआई एलॉय, (टीबी-डाई)-फे और जीबी-सीओ एलॉय फिल्म पर सफलतापूर्वक लेपित किया गया है। कम्पोजिट टारगेट संरचना के चार प्रकार हैं, क्रमशः गोल जड़ा हुआ टारगेट, चौकोर जड़ा हुआ टारगेट, छोटा चौकोर जड़ा हुआ टारगेट और सेक्टर जड़ा हुआ टारगेट। सेक्टर जड़ा हुआ टारगेट संरचना का उपयोग बेहतर है।

7. अनुप्रयोगों की विस्तृत श्रृंखला। मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग प्रक्रिया कई तत्वों को जमा कर सकती है, सामान्य तत्व हैं: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, आदि।

मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उच्च गुणवत्ता वाली फ़िल्में प्राप्त करने के लिए सबसे व्यापक रूप से उपयोग की जाने वाली कोटिंग प्रक्रियाओं में से एक है। एक नए कैथोड के साथ, इसमें उच्च लक्ष्य उपयोग और उच्च जमाव दर है। गुआंग्डोंग झेनहुआ ​​प्रौद्योगिकी वैक्यूम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्रक्रिया अब बड़े क्षेत्र के सब्सट्रेट की कोटिंग में व्यापक रूप से उपयोग की जाती है। इस प्रक्रिया का उपयोग न केवल एकल-परत फिल्म जमाव के लिए किया जाता है, बल्कि बहु-परत फिल्म कोटिंग के लिए भी किया जाता है, इसके अलावा, इसका उपयोग पैकेजिंग फिल्म, ऑप्टिकल फिल्म, लेमिनेशन और अन्य फिल्म कोटिंग के लिए रोल टू रोल प्रक्रिया में भी किया जाता है