Tá spútaradh maighnéadrón folúis oiriúnach go háirithe do sciatháin taiscthe imoibríocha. Déanta na fírinne, is féidir leis an bpróiseas seo scannáin thanaí d'aon ábhar ocsaíde, cairbíde agus níotráite a thaisceadh. Ina theannta sin, tá an próiseas oiriúnach go háirithe freisin do thaisceadh struchtúr scannán ilchiseal, lena n-áirítear dearaí optúla, scannáin dhaite, sciatháin atá frithsheasmhach in aghaidh caitheamh, nana-lannáin, sciatháin sár-laitíse, scannáin inslithe, etc. Chomh luath le 1970, forbraíodh samplaí ardchaighdeáin de thaisceadh scannán optúil do réimse ábhar sraithe scannán optúil. Áirítear leis na hábhair seo ábhair sheoltacha trédhearcacha, leathsheoltóirí, polaiméirí, ocsaídí, cairbídí agus níotrádaí, agus úsáidtear fluairídí i bpróisis ar nós sciath galúcháin.
Is é príomhbhuntáiste an phróisis spútaireachta maighnéadróin ná úsáid a bhaint as próisis sciath imoibríocha nó neamh-imoibríocha chun sraitheanna de na hábhair seo a thaisceadh agus rialú maith a dhéanamh ar chomhdhéanamh an tsraithe, tiús an scannáin, aonfhoirmeacht thiús an scannáin agus airíonna meicniúla an tsraithe. Tá na tréithe seo a leanas ag an bpróiseas.
1. Ráta mór taiscthe. Mar gheall ar úsáid leictreoidí maighnéadróin ardluais, is féidir sreabhadh mór ian a fháil, rud a fheabhsaíonn ráta an taiscthe agus an ráta spútaireachta sa phróiseas sciath seo go héifeachtach. I gcomparáid le próisis sciath spútaireachta eile, tá cumas ard agus toradh ard ag spútaireacht maighnéadróin, agus úsáidtear go forleathan é i dtáirgeadh tionsclaíoch éagsúil.
2. Éifeachtúlacht ardchumhachta. De ghnáth, roghnaítear voltas laistigh den raon 200V-1000V do sprioc spútarála maighnéadráin, agus is gnách go mbíonn sé 600V, toisc go bhfuil voltas 600V laistigh den raon éifeachtúlachta cumhachta is airde.
3. Fuinneamh íseal spútaireachta. Cuirtear voltas sprice an mhaighnéadróin i bhfeidhm go híseal, agus cuireann an réimse maighnéadach srian ar an plasma in aice leis an gcatóid, rud a chuireann cosc ar cháithníní luchtaithe ardfhuinnimh a lainseáil ar an tsubstráit.
4. Teocht íseal an tsubstráit. Is féidir an anóid a úsáid chun na leictreoin a ghintear le linn an urscaoilte a threorú ar shiúl, gan aon ghá le tacaíocht an tsubstráit a chur i gcrích, rud a fhéadann buamáil leictreon an tsubstráit a laghdú go héifeachtach. Dá bhrí sin, tá teocht an tsubstráit íseal, rud atá an-oiriúnach do roinnt foshraitheanna plaisteacha nach bhfuil an-fhriotaitheach in aghaidh sciath ardteochta.
5, Níl greanadh dromchla sprice spútar maighnéadráin aonfhoirmeach. Is é an réimse maighnéadach míchothrom sa sprioc is cúis le greanadh dromchla sprice spútar maighnéadráin. Tá suíomh an ráta greanadh sprice níos mó, rud a fhágann go bhfuil ráta úsáide éifeachtach na sprice íseal (ráta úsáide 20-30% amháin). Dá bhrí sin, chun úsáid na sprice a fheabhsú, ní mór dáileadh an réimse mhaighnéadaigh a athrú ar bhealach áirithe, nó is féidir úsáid maighnéad ag gluaiseacht sa chatóid úsáid na sprice a fheabhsú freisin.
6. Sprioc ilchodach. Is féidir scannán cóimhiotail sciath sprice ilchodach a dhéanamh. Faoi láthair, tá úsáid phróiseas spútaireachta sprice maighnéadróin ilchodach brataithe go rathúil ar scannán cóimhiotail Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe agus Gb-Co. Tá ceithre chineál struchtúr sprice ilchodach ann, faoi seach, is iad sin an sprioc ionleagtha bhabhta, an sprioc ionleagtha chearnógach, an sprioc ionleagtha chearnógach bheag agus an sprioc ionleagtha earnála. Is fearr úsáid a bhaint as struchtúr sprice ionleagtha earnála.
7. Raon leathan feidhmchlár. Is féidir le próiseas spútaireachta maighnéadráin go leor eilimintí a thaisceadh, is iad na cinn choitianta: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, etc.
Tá spútaradh maighnéadróin ar cheann de na próisis sciath is mó a úsáidtear chun scannáin ardchaighdeáin a fháil. Le catóid nua, tá úsáid sprice ard agus ráta taiscthe ard aige. Úsáidtear próiseas sciath spútaradh maighnéadróin i bhfolús Guangdong Zhenhua Technology go forleathan anois i sciath foshraitheanna limistéir mhóra. Ní hamháin go n-úsáidtear an próiseas le haghaidh taiscthe scannáin aonchiseal, ach freisin le haghaidh sciath scannáin ilchiseal, ina theannta sin, úsáidtear é freisin sa phróiseas rolla go rolla le haghaidh scannán pacáistithe, scannán optúil, lannú agus sciath scannáin eile.
Am an phoist: 31 Bealtaine 2024