Magnetron sputtering printzipioa: elektroiak argon atomoekin talka egiten dute substraturantz azeleratzen direnean eremu elektrikoaren eraginpean, argon ioi eta elektroi kopuru handia ionizatuz, eta elektroiak substratura hegan egiten dute. Argon ioia azeleratzen da helburu-materiala bonbardatzeko eremu elektrikoaren eraginpean, helburu-atomo kopuru handia zipriztintzen duena, eta hauek substratuan metatzen dira helburu-atomo (edo molekula) neutro gisa film bat osatzeko. Bigarren mailako elektroia substratura hegan egiteko azeleratzen denean, eremu magnetikoaren Lorentz indarraren eraginpean, espiral eta zikloide konposatu forma bat aurkezten du helburu-gainazalean mugimendu zirkular sorta bat egiteko. Elektroiak ez du mugimendu-bide luzea bakarrik, helburu-gainazaletik gertu dagoen plasma-eremuan dago oraindik eremu elektromagnetikoaren teoriaren izpiaren bidez, non Ar kantitate handia ionizatzen den helburua bonbardatzeko, beraz, magnetron sputtering estaldura-gailuaren metatze-tasa handia da.
Horrela, batmagnetron sputtering estaldura ekipoamagnetron sputtering eta ioi estaldura teknologia integratzen dituena, eta kolorearen koherentzia eta https://www.zhenhuavac.com/wp-admin/post.php?post=5107&action=edit&message=1# deposizio-tasaren eta konposatuaren konposizioaren egonkortasuna hobetzeko irtenbide bat eskaintzen duena. Produktuaren eskakizun desberdinen arabera, berokuntza sistema, polarizazio sistema, ionizazio sistema eta beste gailu batzuk hauta daitezke. Helburuaren banaketa malgutasunez doi daiteke, eta filmaren uniformetasuna hobea da. Helburu-material desberdinekin, errendimendu hobea duen konpositezko film bat prestatu daiteke. Ekipamenduak prestatutako estaldurak konposite-indar handia eta trinkotasuna ditu abantailak, eta horrek produktuaren gatz-ihinztaduraren erresistentzia, higaduraren erresistentzia eta gainazalaren gogortasuna eraginkortasunez hobetu ditzake, eta errendimendu handiko estaldura prestatzeko eskakizunak betetzen ditu.
Ekipamendua material aplikagarrietan aberatsa da, eta altzairu herdoilgaitzezko ur-estaldurako hardware/plastikozko piezetarako, beirarako, zeramikako eta beste material batzuetarako erabil daiteke. Batez ere produktu elektronikoen hardwarerako, goi-mailako erloju eta erlojuen, goi-mailako bitxietarako eta larruzko produktuen hardwarerako eta beste produktu aberats batzuetarako erabiltzen da.
Argitaratze data: 2023ko otsailaren 7a