Der Vakuumbeschichtungsprozess stellt hohe Anforderungen an die Anwendungsumgebung. Die wichtigsten Anforderungen an die Vakuumhygiene beim konventionellen Vakuumverfahren sind: Es dürfen sich keine Verschmutzungen auf den im Vakuum befindlichen Teilen oder Oberflächen der Anlage ablagern, die Oberfläche der Vakuumkammer muss glatt, frei von Weichgewebe, Poren und Ecken sein, damit Schweißnähte in der Vakuumanlage das Vakuum nicht beeinträchtigen. Die Hochvakuumanlage darf kein Öl als Schmiermittel verwenden. Das ölfreie Ultrahochvakuumsystem sollte den Einfluss von Öldämpfen auf die Reinheit, die Leistung und die Oberflächenbeschaffenheit des Arbeitsmediums vermeiden. Ultrahochvakuum-Metallsysteme verwenden häufig 1Cr18Ni9Ti als Strukturmaterial. Das Labor oder die Werkstatt, in der die Vakuumbeschichtungsanlage eingesetzt wird, sollte sauber und hygienisch gehalten werden.
Bei der Vakuumbeschichtung ist die Oberflächenreinigung sehr wichtig. Bevor alle Substrate in die Vakuumkammer geladen werden, müssen sie grundsätzlich einen Vorreinigungsprozess durchlaufen, um das Werkstück zu entfetten, zu dekontaminieren und zu dehydrieren.
Die Hauptursachen für die Oberflächenverschmutzung plattierter Teile sind: Staub, Schweiß, Fett, Polierpaste, Öl, Schmieröl und andere Substanzen, die während der Verarbeitung, Übertragung, Verpackung und anderen Prozessen anhaften; adsorbiertes und absorbiertes Gas auf der Oberfläche von Geräteteilen; der Oxidfilm, der sich in feuchter Luft auf der Oberfläche der Teile der Beschichtungsanlage bildet. Verschmutzungen aus diesen Quellen lassen sich meist durch Entfetten oder chemische Reinigung entfernen.
Lagern Sie gereinigte Werkstücke nicht in der freien Umgebung. Um Staubbelastung zu reduzieren und die Werkstücke sauber zu lagern, verwenden Sie häufig Reinigungsschränke oder geschlossene Behälter. Das Glassubstrat muss in einem frisch oxidierten Aluminiumbehälter gelagert werden, um die Aufnahme von Kohlenwasserstoffdämpfen zu reduzieren. Frisch oxidierte Aluminiumbehälter absorbieren bevorzugt Kohlenwasserstoffe. Wasserdampfempfindliche oder sehr instabile Oberflächen werden üblicherweise in einem Vakuumtrockenschrank gelagert.
Zu den grundlegenden Anforderungen des Vakuumbeschichtungsprozesses an die Umgebung gehören vor allem hohe Sauberkeit im Vakuumraum und Staubfreiheit im Beschichtungsraum. In manchen Bereichen ist die Luftfeuchtigkeit relativ hoch. Daher müssen vor der Beschichtung nicht nur die Komponenten im Substrat und in der Vakuumkammer gereinigt, sondern auch eingebrannt und entgast werden. Um das Eindringen von Öl in die Vakuumkammer zu verhindern, ist außerdem auf die Ölrückführung und die Ölblockierung der Betankungsdiffusionspumpe zu achten.
Veröffentlichungszeit: 18. Februar 2023