Pẹ̀lú ìdàgbàsókè kíákíá ti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfipamọ́ tó ti ní ìlọsíwájú, TGV (Through Glass Via) ń di ojútùú ìbáṣepọ̀ pàtàkì fún àwọn ohun èlò dígí. Nípa lílo àwọn àǹfààní rẹ̀ ti pípadánù dielectric kékeré, ìdúróṣinṣin ooru tó dára, ìṣeéṣe gíga nínú ẹ̀rọ, àti àwọn ohun ìní ìdábòbò tó lágbára, TGV ti fi iṣẹ́ tó tayọ hàn nínú ìbánisọ̀rọ̀ opitika, MEMS, àwọn sensọ̀, àti àwọn ìsopọ̀ iyara gíga, ó sì ń fẹ̀ síi sí àwọn ipò ìlò tó ga jùlọ.
Sibẹsibẹ, idagbasoke ti awọn ẹya TGV tun mu awọn ipenija iṣelọpọ tuntun wa: awọn iwọn ila opin kekere, awọn geometri ti o nira diẹ sii, ati awọn ipin apa ti n pọ si nigbagbogbo. Ni pataki, labẹ awọn ipo ti 30 μm nipasẹ iwọn ila opin ati awọn ipin apa ti o kọja 10: 1, ṣiṣe aṣeyọri ifipamọ fẹlẹfẹlẹ irugbin ti o dọgba laarin nipasẹ-via ti ni a ti mọ fun igba pipẹ gẹgẹbi ọkan ninu awọn idiwọ pataki julọ. Botilẹjẹpe ko han pupọ ninu pq ilana, igbesẹ yii taara pinnu iṣẹ ina ẹrọ ati igbẹkẹle igba pipẹ.
No.1 Awọn Ipenija Lọwọlọwọ ninu Ibora Micro-Via
Nínú àwọn ìlànà TGV àti TSV, ìwọ̀n ìbúgbà tí a sábà máa ń lò nípasẹ̀ ìwọ̀n ìbúgbà lè kéré tó 30 μm, pẹ̀lú àwọn ohun tí a nílò láti pín sí apá tí ó ju 10:1 lọ. Lábẹ́ àwọn ipò wọ̀nyí, àwọn ọ̀nà ìbòrí ìbílẹ̀ dojúkọ àwọn ààlà púpọ̀:
Àwọn agbègbè òkú tí a gbé kalẹ̀: Àwọn ipa òjìji líle tí ó wà ní ẹ̀gbẹ́ ọ̀nà sábà máa ń yọrí sí àwọn fíìmù tí kò dáwọ́ dúró, tí ó sì ń ba agbára ìṣiṣẹ́ àti agbára ìṣiṣẹ́ jẹ́.
Àìsí ìṣọ̀kan tó nípọn fíìmù: Àwọn ìyàtọ̀ tó ṣe pàtàkì láàárín àwọn ihò àti ìsàlẹ̀ ló máa ń yọrí sí ìṣòro ìdènà àdúgbò.
Àìtó ìbáramu pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò: Nígbà tí a bá ń fi ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò bíi Cu, Ti, W, Ni, àti Pt sí orí àwọn ohun èlò dígí tàbí silicon, ó ṣòro láti rí i dájú pé ìsopọ̀ àti ìṣọ̀kan wà ní gbogbo àwọn ìpele.
Àwọn ìṣòro wọ̀nyí ní ipa taara lórí ìdàgbàsókè, wọ́n ń mú ewu àtúnṣe àti iye owó iṣẹ́ pọ̀ sí i, wọ́n sì ń dín agbára ìṣelọ́pọ́ gíga kù.
No. 2. Ojutu Aṣọ Ti a Fi Pamọ Sita ZHENHUA
Awọn anfani Ẹrọ:
Àṣọ ìbòrí Jíjìn tí a Ṣètò
Pẹ̀lú ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí jìn-jìn ti ZHENHUA, a lè ṣe àṣeyọrí ìforúkọsílẹ̀ ìpele irúgbìn kan náà kódà ní àwọn ọ̀nà tí ó kéré tó 30 μm ní ìwọ̀n ìlà, pẹ̀lú àwọn ìpíndọ́gba apá tí ó ju 10:1 lọ—bíborí àwọn ìpèníjà ìgbà pípẹ́ nínú ìbòrí jìn-jìn-jìn-jìn-jìn.
Ṣíṣe àtúnṣe lórí ìbéèrè, Àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ oníwọ̀n púpọ̀
Ó lè ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ìwọ̀n onírúurú ti àwọn ohun èlò dígí, títí bí 600×600 mm, 510×515 mm, àti àwọn ìrísí tó tóbi jù.
Irọrun ilana pẹlu ibamu pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo
Ètò náà ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn fíìmù onírin tín-ín-rín bíi Cu, Ti, W, Ni, àti Pt, èyí tí ó ń mú kí àwọn ojútùú tí a ṣe fún ìlò agbára iná mànàmáná àti àwọn ohun tí ó lè dènà ìpalára.
Iṣẹ́ Ohun èlò tó dúró ṣinṣin àti Ìtọ́jú tó rọrùn
Pẹ̀lú ètò ìṣàkóso ọlọ́gbọ́n, ohun èlò náà ń jẹ́ kí àtúnṣe paramita aládàáṣe àti àbójútó ní àkókò gidi ti ìwọ́n fíìmù náà bára mu. Apẹẹrẹ modulu ń jẹ́ kí ìtọ́jú rọrùn, ó sì ń dín àkókò ìsinmi kù.
Ààlà Ohun elo:
Ó wúlò fún àwọn ìlànà ìdìpọ̀ TGV/TSV/TMV tó ti ń tẹ̀síwájú, èyí tó ń jẹ́ kí ìbòrí irúgbìn wà nínú àwọn ìrísí jíjìn pẹ̀lú àwọn ìpíndọ́gba tó tó 10:1.
Bí ọjà ìṣàkójọpọ̀ tó ti ń tẹ̀síwájú bá ń fẹ̀ sí i, ìbéèrè fún àwọn micro-vias àti àwọn ètò ìpíndọ́gba gíga yóò túbọ̀ pọ̀ sí i. Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìṣàkójọpọ̀ jíjinlẹ̀ ti ZHENHUA Vacuum ń pèsè ojútùú tó gbòòrò, tó sì ṣetán láti ṣe ìṣẹ̀dá púpọ̀ sí àwọn ìpèníjà ìṣàkójọpọ̀ pàtàkì nínú TGV àti àwọn ìlànà ìṣàkójọpọ̀ ìran mìíràn, èyí tó ń mú kí iṣẹ́ ìṣàkójọpọ̀ àti ìṣọ̀kan ọjà sunwọ̀n sí i.
—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ ẹrọ ti a fi bo igbale olupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-18-2025