Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, ọgbọ́n àtọwọ́dá, ìwakọ̀ adánidá, àti àwọn ërún ìṣiṣẹ́ gíga ti gbajúmọ̀ ní agbègbè semiconductor. Bí iṣẹ́ ërún ṣe ń pọ̀ sí i, àpò ìṣiṣẹ́ onípele méjì (2D) àṣà kò le mú àwọn ìbéèrè tó ń pọ̀ sí i fún ìdàgbàsókè ìsopọ̀mọ́ra àti ìṣàkóso ooru mọ́. Ilé iṣẹ́ náà ń yára lọ sí àkókò ìṣọ̀kan onípele mẹ́ta (3D).
Láti gba ìwọ̀n iṣirò tó ga jùlọ àti ìsopọ̀mọ́ra láàárín ààyè tó lopin, ipa ti substrate apoti ti di pàtàkì ju ti ìgbàkigbà rí lọ. Ìmọ̀-ẹ̀rọ Through-Silicon Via (TSV) ti jẹ́ àmì ìṣàpẹẹrẹ 3D tẹ́lẹ̀, síbẹ̀ owó rẹ̀ tó ga, ìwọ̀n tó lopin, àti àwọn ìdíwọ́ ohun èlò ti dí ìgbanilọ́wọ́ lọ́wọ́. Nísinsìnyí, olùdíje tuntun kan ń yọjú—ìmọ̀-ẹ̀rọ interconnect Through-Glass Via (TGV).
Ìlànà pàtàkì TGV ni láti ṣe àwọn ọ̀nà micron-scale nípasẹ̀ ohun èlò dídí dígí, lẹ́yìn náà ni kíkún irin yóò fi àwọn ipa ọ̀nà ìdarí láàrín àwọn gíláàsì tàbí àwọn ohun èlò dídì. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé èrò náà dàbí èyí tó rọrùn, ìlànà náà ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbésẹ̀ tó péye níbi tí gbogbo ìpele ti ní ipa lórí ìgbẹ́kẹ̀lé. Lára ìwọ̀nyí, ìforúkọsílẹ̀ ìpele irúgbìn—tí a sábà máa ń gbójú fo—ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ tí ó fara pamọ́ tí ó ń pinnu àṣeyọrí gbogbogbòò ti ìdàpọ̀ irin.
1. Ìṣàn Ìlànà TGV: Ìpele Irúgbìn—“Afara” ìdarí ti Ìṣẹ̀dá Métallizer
Ilana TGV deede kan ni:
Ìpèsè ohun èlò dígí → Pípéye nípasẹ̀ ìlù → Ìfipamọ́ ìpele irugbin → Ìkún Electroplating → Planarization ojú ilẹ̀.
Ìpele irugbin jẹ́ fíìmù onítẹ̀lẹ́fẹ́lẹ́ tí a gbé kalẹ̀ sí ẹ̀gbẹ́ àwọn ògiri inú àwọn gíláàsì tí kì í ṣe onídàgba. Tí a bá wo ìṣètò TGV gẹ́gẹ́ bí “afárá” tí ó dúró ní inaro fún ìsopọ̀mọ́ra iná mànàmáná, ìpele irugbin náà yóò ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí okùn irin àkọ́kọ́ tí ó so afárá náà mọ́. Láìsí rẹ̀, ìfipamọ́ electroplating lẹ́yìn náà kò lè bẹ̀rẹ̀, àti pé ìfipamọ́ irin tí ó dọ́gba nínú via kò ní ṣeé ṣe.
Sibẹsibẹ, didara fifi silẹ ti fẹlẹfẹlẹ yii da lori apẹrẹ jiometiriki ti via funrararẹ. Awọn apẹrẹ oriṣiriṣi yori si awọn ipenija oriṣiriṣi ni ṣiṣe aṣeyọri ibora fẹlẹfẹlẹ irugbin kanna.
2. Nípasẹ̀ Mọ́fọ́lọ́jì: Ìpèníjà Gíga Jùlọ fún Ìbòrí Fẹ́ẹ̀lì Irúgbìn Díẹ̀
TGV nípasẹ̀ àwọn ìrísí yàtọ̀ síra da lórí bí a ṣe ń lu àti bí a ṣe ń gé e. Àwọn ìrísí gbogbogbòò ní àwọn ìrísí labalábá, afọ́jú, inaro, àti V, èyí tí ọ̀kọ̀ọ̀kan ń fa ìṣòro ìfipamọ́ àrà ọ̀tọ̀:
Labalábá nípasẹ̀: Apá àárín tí ó dínkù náà máa ń fa ìbòjú, èyí tí ó ń dènà àwọn átọ̀mù irin láti dé agbègbè àárín. Èyí yóò yọrí sí “àwọn agbègbè òkú” tí a kò fi ìbòrí bò níbi tí ìtẹ̀síwájú electroplating ti pàdánù.
Fọ́jú nípasẹ̀: Pẹ̀lú ìsàlẹ̀ tí a ti sé, ìṣàn gaasi ní ààlà àti agbára ion ń dínkù, èyí tí ó ń yọrí sí àwọn fíìmù tín-tín àti tí kò lẹ̀ mọ́ ara wọn dáadáa tí ó lè bàjẹ́ lábẹ́ wahala iṣẹ́ tí ó tẹ̀lé e.
Láti ọwọ́ inaro: Nítorí pé a fi ìwọ̀n apá gíga àti àwọn ògiri ẹ̀gbẹ́ títọ́ hàn, àwọn átọ̀mù irin ń rìn ní ìlà, wọ́n sì sábà máa ń kùnà láti bo ìsàlẹ̀ via náà dáadáa, èyí tí ó ń mú kí àwọn ipa ọ̀nà ìdarí tàbí àwọn òfo tí a fi bò ó pọ̀ tó.
Apẹrẹ V nipasẹ: Profaili onípele naa mu ki igun ifipamọ naa dara si deedee si iwọn kan, ṣugbọn titẹ ti o pọ ju le fa ki fíìmù naa ko ni ibamu ati ifọkansi wahala, ti o si ba iduroṣinṣin ifihan agbara jẹ.
Ní gbogbo ìgbà, ìpèníjà pàtàkì ni láti ṣe àṣeyọrí ìbòrí irin tí ó ń bá a lọ, tí ó dọ́gba, tí ó sì dì mọ́ ara rẹ̀ dáadáa lórí àwọn ojú gíláàsì oníwọ̀n gíga pẹ̀lú agbára ìṣàn ojú ilẹ̀ tí kò tó nǹkan. Èyíkéyìí ìdádúró tàbí ìsopọ̀ tí kò dára nínú ìpele irúgbìn yóò yọrí sí òfo, ìfọ́, tàbí ìfọ́ nígbà tí a bá ń lo electroplating, èyí tí yóò yọrí sí ìdènà ìbáṣepọ̀, ìdádúró àmì, tàbí ìkùnà ẹ̀rọ pátápátá.
Láti kojú àwọn ìpèníjà wọ̀nyí nílò àwọn ohun èlò ìbòrí ìgbálẹ̀ gíga tí ó péye, tí ó sì dúró ṣinṣin, tí ó lè ṣe àṣeyọrí nínú ìṣẹ̀dá irin jíjinlẹ̀. Ibí ni ojutu ìbòrí TGV ti ZHENHUA Vacuum ti bẹ̀rẹ̀ sí ṣiṣẹ́.
3. Oògùn TGV nípasẹ̀ Metallization ti ZHENHUA Vacuum
Awọn anfani Ẹrọ:
Ṣíṣe Àtúnṣe Ìbòrí Jíjìn-Nípasẹ̀
Ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbòrí ihò jíjìn tí ó ní agbára láti fi ṣe ìtọ́jú irúgbìn jẹ́ kí ó ṣeé ṣe fún àwọn ọ̀nà ìtọ́jú irúgbìn tí ó ní ìwọ̀n ìbú tí ó kéré tó 30 μm, kí ó lè ṣe àṣeyọrí ìpíndọ́gba àwọn ẹ̀yà tó tó 10:1 àti láti yanjú àwọn ìṣòro ìṣẹ̀dá irin nínú 3D onípele nípasẹ̀ àwọn ẹ̀rọ.
A le ṣe adani fun awọn iwọn substrate oriṣiriṣi
Baamu pẹlu awọn ipilẹ gilasi ti 600 × 600 mm, 510 × 515 mm, ati awọn ọna kika ti o tobi julọ lati pade awọn ibeere iṣelọpọ oriṣiriṣi.
Irọrun ilana kọja ọpọlọpọ awọn ohun elo
Ṣe atilẹyin fun fifi silẹ ti Cu, Ti, W, Ni, Pt ati awọn fiimu tinrin miiran ti o n ṣe adaṣe tabi iṣẹ-ṣiṣe, ti o ni itẹlọrun awọn ibeere itanna ati resistance-ipata oriṣiriṣi.
Iṣẹ́ Iduroṣinṣin & Itọju Rọrun
A ti pese eto iṣakoso ọlọgbọn fun atunṣe awọn paramita laifọwọyi ati ibojuwo sisanra fiimu ni akoko gidi. Apẹrẹ modulu rii daju pe itọju ti o rọrun ati idinku akoko isinmi.
Ààlà Ohun elo:
Ó yẹ fún àkójọpọ̀ TGV/TSV/TMV tó ti pẹ́, èyí tó ń jẹ́ kí a lè bo àwọn irúgbìn tó ní ìwọ̀n tó ga tó 10:1.
Ìparí: Ṣíṣe àtúnṣe sí Ìpele Irúgbìn—Ìgbésẹ̀ kan sí Ìṣọ̀kan 3D Tòótọ́
Iye imọ-ẹrọ TGV kii ṣe lati pese ikanni isopọ inaro tuntun nikan ṣugbọn lati mu ki eto isopọ onisẹpo mẹta gidi wa.
Ní ọkàn ìyípadà yìí, ìṣẹ̀dá ìpele irugbin jẹ́ ìlànà pàtàkì jùlọ ṣùgbọ́n tí a sábà máa ń gbójú fo.
Nígbà tí “ìpìlẹ̀ onídàrí” tí a kò lè rí yìí bá dé ìṣọ̀kan, ìwúwo, àti ìsopọ̀ tó lágbára ni a lè rí i dájú pé a ti ṣe iṣẹ́ electroplating àti sopọ̀ mọ́ ara wọn lẹ́yìn náà. Ṣíṣe àṣeyọrí ìpamọ́ irin tó ga jùlọ nínú àwọn gíláàsì micron ti di àmì pàtàkì fún agbára ìdìpọ̀ tó ti ní ìlọsíwájú.
Nípasẹ̀ ìṣẹ̀dá tuntun àti ìdàgbàsókè ẹ̀rọ tí ń tẹ̀síwájú, ZHENHUA Vacuum ń pèsè àwọn ojútùú ìbòrí TGV tí ó gbẹ́kẹ̀lé, tí ó sì ní èso gíga, tí ó ń fún àwọn olùṣe àpò ìdìpọ̀ lágbára láti gbéra láti àwọn ìṣiṣẹ́ àyẹ̀wò sí iṣẹ́ àgbékalẹ̀ púpọ̀, tí ó sì ń mú kí ìdàgbàsókè 3D yára kánkán.
Nínú àkókò kan tí agbára ìṣirò àti ìṣọ̀kan tó ń pọ̀ sí i ń fà, èyí ju ìlọsíwájú ẹ̀rọ lọ—ó dúró fún ìgbésẹ̀ pàtàkì sí ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdìpọ̀ 3D ìran tó ń bọ̀.
—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ẹrọ ti a fi bo igbaleolupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-13-2025