ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មានឆ្នាំចុងក្រោយនេះ បញ្ញាសិប្បនិម្មិត ការបើកបរដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងបន្ទះឈីបកុំព្យូទ័រដំណើរការខ្ពស់ បានគ្របដណ្ដប់លើទេសភាពស៊ីមីកុងដុកទ័រ។ នៅពេលដែលដំណើរការបន្ទះឈីបបន្តកើនឡើង ការវេចខ្ចប់ពីរវិមាត្រ (2D) បែបប្រពៃណីលែងអាចបំពេញតម្រូវការកើនឡើងសម្រាប់ដង់ស៊ីតេភ្ជាប់ទំនាក់ទំនង និងការគ្រប់គ្រងកម្ដៅទៀតហើយ។ ឧស្សាហកម្មនេះកំពុងឈានទៅមុខយ៉ាងឆាប់រហ័សឆ្ពោះទៅរកយុគសម័យសមាហរណកម្មបីវិមាត្រ (3D)។
ដើម្បីសម្រួលដល់ដង់ស៊ីតេកុំព្យូទ័រ និងការតភ្ជាប់គ្នាកាន់តែខ្ពស់ក្នុងលំហមានកំណត់ តួនាទីរបស់ស្រទាប់ខាងក្រោមវេចខ្ចប់បានក្លាយជារឿងសំខាន់ជាងពេលណាៗទាំងអស់។ បច្ចេកវិទ្យា Through-Silicon Via (TSV) ធ្លាប់ជានិមិត្តរូបនៃការវេចខ្ចប់ 3D ប៉ុន្តែតម្លៃខ្ពស់ ទិន្នផលមានកំណត់ និងការរឹតបន្តឹងលើសម្ភារៈរបស់វាបានរារាំងដល់ការទទួលយកយ៉ាងទូលំទូលាយ។ ឥឡូវនេះ គូប្រជែងថ្មីមួយកំពុងលេចចេញជារូបរាងឡើង គឺបច្ចេកវិទ្យាភ្ជាប់គ្នា Through-Glass Via (TGV)។
គោលការណ៍ស្នូលរបស់ TGV គឺបង្កើតច្រកឆ្លងកាត់ខ្នាតមីក្រូនតាមរយៈស្រទាប់កញ្ចក់អ៊ីសូឡង់ បន្ទាប់មកដោយការបំពេញដែកដើម្បីបង្កើតផ្លូវដឹកនាំបញ្ឈររវាងបន្ទះឈីប ឬស្រទាប់ខាងក្រោម។ ខណៈពេលដែលគោលគំនិតនេះហាក់ដូចជាសាមញ្ញ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងជំហានជាក់លាក់ជាច្រើនដែលដំណាក់កាលនីមួយៗប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើភាពជឿជាក់នៃការតភ្ជាប់។ ក្នុងចំណោមទាំងនេះ ការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ - ជាញឹកញាប់ត្រូវបានមើលរំលង - បម្រើជាមូលដ្ឋានគ្រឹះដែលលាក់កំបាំងដែលកំណត់ភាពជោគជ័យរួមនៃការធ្វើលោហៈ។
១. លំហូរដំណើរការ TGV៖ ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ - «ស្ពាន» ដែលអាចដឹកនាំបាននៃការធ្វើលោហធាតុ
ដំណើរការ TGV ធម្មតាមួយមាន៖
ការរៀបចំស្រទាប់កញ្ចក់ → ភាពជាក់លាក់តាមរយៈការខួង → ការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជ → ការបំពេញដោយអេឡិចត្រូផ្លាទីង → ការធ្វើឱ្យផ្ទៃរាបស្មើ។
ស្រទាប់គ្រាប់ពូជគឺជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយដែលមានចរន្តអគ្គិសនីដែលដាក់តាមជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃផ្លូវកញ្ចក់ដែលមិនមានចរន្តអគ្គិសនី។ ប្រសិនបើរចនាសម្ព័ន្ធ TGV ត្រូវបានគេមើលឃើញថាជា "ស្ពាន" បញ្ឈរសម្រាប់ការតភ្ជាប់អគ្គិសនី នោះស្រទាប់គ្រាប់ពូជដើរតួជាខ្សែដែកដំបូងដែលចងស្ពាននោះ។ បើគ្មានវាទេ ការស្រោបដោយអគ្គិសនីបន្តបន្ទាប់មិនអាចចាប់ផ្តើមបានទេ ហើយការធ្វើលោហៈឯកសណ្ឋាននៅខាងក្នុងផ្លូវកញ្ចក់ក្លាយជាមិនអាចទៅរួចទេ។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ គុណភាពនៃការដាក់ស្រទាប់នេះអាស្រ័យយ៉ាងខ្លាំងទៅលើរូបរាងធរណីមាត្រនៃផ្លូវវាយោខ្លួនឯង។ រូបរាងផ្លូវវាយោផ្សេងៗគ្នានាំឱ្យមានបញ្ហាប្រឈមផ្សេងៗគ្នាក្នុងការសម្រេចបាននូវការគ្របដណ្តប់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជឯកសណ្ឋាន។
២. សរីរវិទ្យាតាមរយៈ៖ បញ្ហាប្រឈមចុងក្រោយសម្រាប់ការគ្របដណ្តប់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជឯកសណ្ឋាន
ទម្រង់ផ្លូវឆ្លងកាត់ TGV ប្រែប្រួលអាស្រ័យលើដំណើរការខួង និងឆ្លាក់។ ធរណីមាត្រទូទៅរួមមាន ផ្លូវឆ្លងកាត់រាងមេអំបៅ ផ្លូវឆ្លងកាត់រាងខ្វាក់ ផ្លូវឆ្លងកាត់បញ្ឈរ និងផ្លូវឆ្លងកាត់រាងអក្សរ V ដែលផ្លូវឆ្លងកាត់នីមួយៗមានភាពលំបាកក្នុងការដាក់ដីជាក់លាក់នីមួយៗ៖
មេអំបៅតាមរយៈ៖ ផ្នែកកណ្តាលដែលរួមតូចបណ្តាលឱ្យមានឥទ្ធិពលស្រមោល ដែលរារាំងអាតូមលោហៈពីការទៅដល់តំបន់កណ្តាល។ នេះបណ្តាលឱ្យមាន "តំបន់ស្លាប់" ដែលមិនបានស្រោប ដែលភាពជាប់លាប់នៃការអេឡិចត្រូផ្លាទីងត្រូវបានបាត់បង់។
បិទបាំងផ្លូវ៖ ដោយសារបាតបិទជិត លំហូរឧស្ម័នត្រូវបានរឹតត្បិត ហើយថាមពលអ៊ីយ៉ុងថយចុះ ដែលនាំឱ្យមានខ្សែភាពយន្តស្តើង និងស្អិតមិនល្អ ដែលអាចបែកចេញក្រោមភាពតានតឹងនៃដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់។
ច្រកបញ្ឈរ៖ លក្ខណៈដោយសមាមាត្រទិដ្ឋភាពខ្ពស់ និងជញ្ជាំងចំហៀងត្រង់ អាតូមលោហៈធ្វើដំណើរជាលីនេអ៊ែរ ហើយជាញឹកញាប់មិនអាចស្រោបបាតច្រកបានគ្រប់គ្រាន់ទេ ដែលបង្កើតជាផ្លូវដឹកនាំមិនពេញលេញ ឬចន្លោះប្រហោងស្រោប។
រាងអក្សរ V៖ ទម្រង់រាងសាជីជួយបង្កើនឯកសណ្ឋានមុំដាក់ក្នុងកម្រិតខ្លះ ប៉ុន្តែការសាជីលើសអាចបណ្តាលឱ្យកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តមិនស្មើគ្នា និងកំហាប់ស្ត្រេស ដែលធ្វើឱ្យខូចគុណភាពសញ្ញា។
ក្នុងករណីទាំងអស់ បញ្ហាប្រឈមស្នូលគឺដើម្បីសម្រេចបាននូវការគ្របដណ្តប់លោហៈជាបន្តបន្ទាប់ ឯកសណ្ឋាន និងស្អិតជាប់ល្អលើផ្ទៃកញ្ចក់សមាមាត្រខ្ពស់ជាមួយនឹងថាមពលផ្ទៃទាប។ ភាពមិនជាប់គ្នា ឬការស្អិតជាប់មិនល្អនៅក្នុងស្រទាប់គ្រាប់ពូជនាំឱ្យមានចន្លោះប្រហោង ស្នាមប្រេះ ឬការបែកចេញក្នុងអំឡុងពេលអេឡិចត្រូផ្លាទីង ដែលបណ្តាលឱ្យមានភាពធន់នឹងការតភ្ជាប់កើនឡើង ការពន្យាពេលសញ្ញា ឬការបរាជ័យឧបករណ៍ទាំងស្រុង។
ការដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមទាំងនេះតម្រូវឱ្យមានឧបករណ៍ថ្នាំកូតក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងមានស្ថេរភាពខ្ពស់ ដែលមានសមត្ថភាពសម្រេចបាននូវការរលាយលោហៈជ្រៅ។ នេះជាកន្លែងដែលដំណោះស្រាយថ្នាំកូត TGV របស់ ZHENHUA Vacuum ចូលមកដើរតួនាទី។
៣. ដំណោះស្រាយ TGV តាមរយៈ Metallization របស់ ZHENHUA Vacuum
គុណសម្បត្តិឧបករណ៍៖
ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថ្នាំកូតជ្រៅ
បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតរន្ធជ្រៅដែលមានកម្មសិទ្ធិអនុញ្ញាតឱ្យមានការដាក់ស្រទាប់គ្រាប់ពូជឯកសណ្ឋានសូម្បីតែសម្រាប់ច្រកដែលមានអង្កត់ផ្ចិតតូចជាង 30 μm ដោយសម្រេចបានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពរហូតដល់ 10:1 និងដោះស្រាយបញ្ហាលោហធាតុប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធច្រក 3D ស្មុគស្មាញ។
អាចប្ដូរតាមបំណងសម្រាប់ទំហំស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងៗ
ឆបគ្នាជាមួយស្រទាប់កញ្ចក់ទំហំ 600 × 600 ម.ម, 510 × 515 ម.ម និងទ្រង់ទ្រាយធំជាងនេះ ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការផលិតកម្មចម្រុះ។
ភាពបត់បែននៃដំណើរការឆ្លងកាត់សម្ភារៈច្រើនប្រភេទ
គាំទ្រដល់ការដាក់ស្រទាប់ Cu, Ti, W, Ni, Pt និងខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលដឹកនាំ ឬមានមុខងារផ្សេងទៀត ដែលបំពេញតម្រូវការធន់នឹងអគ្គិសនី និងការច្រេះផ្សេងៗគ្នា។
ដំណើរការមានស្ថេរភាព និងងាយស្រួលថែទាំ
បំពាក់ដោយប្រព័ន្ធបញ្ជាឆ្លាតវៃសម្រាប់ការលៃតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងការត្រួតពិនិត្យកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តតាមពេលវេលាជាក់ស្តែង។ ការរចនាម៉ូឌុលធានានូវការថែទាំសាមញ្ញ និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ។
វិសាលភាពនៃការដាក់ពាក្យ៖
ស័ក្តិសមសម្រាប់ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់ TGV/TSV/TMV ដែលអាចឱ្យមានថ្នាំកូតស្រទាប់គ្រាប់ពូជដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅក្នុងច្រកដែលមានសមាមាត្រទិដ្ឋភាពរហូតដល់ 10:1។
សេចក្តីសន្និដ្ឋាន៖ ការស្ទាត់ជំនាញស្រទាប់គ្រាប់ពូជ - ជំហានមួយឆ្ពោះទៅរកការរួមបញ្ចូល 3D ពិតប្រាកដ
តម្លៃនៃបច្ចេកវិទ្យា TGV មិនត្រឹមតែស្ថិតនៅក្នុងការផ្តល់នូវបណ្តាញតភ្ជាប់បញ្ឈរថ្មីមួយប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងអាចឱ្យមានស្ថាបត្យកម្មតភ្ជាប់បីវិមាត្រពិតប្រាកដផងដែរ។
នៅក្នុងចំណុចកណ្តាលនៃការផ្លាស់ប្តូរនេះ លោហធាតុស្រទាប់គ្រាប់ពូជនៅតែជាដំណើរការសំខាន់បំផុត ប៉ុន្តែត្រូវបានមើលរំលងជាញឹកញាប់។
មានតែនៅពេលដែល «គ្រឹះដែលដឹកនាំ» ដែលមើលមិនឃើញនេះសម្រេចបាននូវឯកសណ្ឋាន ដង់ស៊ីតេ និងការស្អិតជាប់ខ្លាំងប៉ុណ្ណោះ ទើបអាចធានាបាននូវដំណើរការអេឡិចត្រូផ្លាស្ទិច និងការតភ្ជាប់ជាបន្តបន្ទាប់។ ដូច្នេះ ការសម្រេចបាននូវការដាក់លោហៈដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅក្នុងច្រកកញ្ចក់ខ្នាតមីក្រូន បានក្លាយជាស្តង់ដារកំណត់នៃសមត្ថភាពវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់។
តាមរយៈការច្នៃប្រឌិតដំណើរការជាបន្តបន្ទាប់ និងការវិវត្តន៍ឧបករណ៍ ZHENHUA Vacuum ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយថ្នាំកូតជ្រៅ TGV ដែលអាចទុកចិត្តបាន និងផ្តល់ទិន្នផលខ្ពស់ ដែលផ្តល់អំណាចដល់ក្រុមហ៊ុនផលិតវេចខ្ចប់ឱ្យផ្លាស់ប្តូរដោយទំនុកចិត្តពីដំណើរការសាកល្បងទៅផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ ដោយបង្កើនល្បឿននៃការសម្រេចបានពេញលេញនៃការរួមបញ្ចូល 3D។
នៅក្នុងយុគសម័យមួយដែលជំរុញដោយថាមពលគណនា និងដង់ស៊ីតេនៃការធ្វើសមាហរណកម្មដែលកំពុងកើនឡើងឥតឈប់ឈរ នេះគឺច្រើនជាងការរីកចម្រើននៃឧបករណ៍ទៅទៀត — វាតំណាងឱ្យជំហានដ៏សំខាន់មួយឆ្ពោះទៅរកភាពចាស់ទុំនៃបច្ចេកវិទ្យាវេចខ្ចប់ 3D ជំនាន់ក្រោយ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៣ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៥