Lilemong tsa morao tjena, bohlale ba maiketsetso, ho khanna ka boikemelo, le li-chip tsa k'homphieutha tse sebetsang hantle li 'nile tsa laola sebaka sa li-semiconductor. Ha ts'ebetso ea li-chip e ntse e eketseha, liphutheloana tse tloaelehileng tsa mahlakore a mabeli (2D) ha li sa khona ho fihlela litlhoko tse ntseng li eketseha tsa bongata ba likhokahano le taolo ea mocheso. Indasteri e ntse e leba ka potlako nakong ea kopanyo ea mahlakore a mararo (3D).
Ho amohela bongata bo phahameng ba dikhomphutha le kgokelo kahare ho sebaka se fokolang, karolo ya substrate ya ho paka e se e le ya bohlokwa ho feta leha e le neng pele. Theknoloji ya Through-Silicon Via (TSV) e kile ya emela ho paka ha 3D, empa ditjeo tsa yona tse hodimo, ho feta ha yona ho fokolang, le dithibelo tsa thepa di sitisitse ho amohelwa hohle. Jwale, ho hlaha mohlodisani e motjha—theknoloji ya kgokelo ya Through-Glass Via (TGV).
Molao-motheo oa mantlha oa TGV ke ho etsa li-vias tsa micron-scale ka substrate ea khalase e sireletsang mocheso, e lateloe ke ho tlatsa tšepe ho theha litsela tse otlolohileng tsa ho tsamaisa mocheso lipakeng tsa li-chip kapa li-substrate. Le hoja mohopolo ona o bonahala o otlolohile, ts'ebetso ena e kenyelletsa mehato e mengata ea ho nepahala moo mohato o mong le o mong o amang ka ho toba ts'epo ea khokahano. Har'a tsena, ho kenngoa ha lera la peo—hangata ho hlokomolohuoa—ho sebetsa e le motheo o patiloeng o khethollang katleho e akaretsang ea metallization.
1. Phallo ea Ts'ebetso ea TGV: Lera la Peo—“Borokho” bo Tsamaisang Tšepe
Mokhoa o tloaelehileng oa TGV o na le:
Ho lokisa karoloana ea khalase → Ho nepahala ka ho phunya → Ho beoa ha peo ka lera la peo → Ho tlatsa ka motlakase → Ho polata bokaholimo.
Lera la peo ha e le hantle ke filimi e tšesaane haholo e tsamaisang motlakase e behiloeng maboteng a ka hare a li-vias tsa khalase tse sa tsamaiseng motlakase. Haeba sebopeho sa TGV se nkoa e le "borokho" bo otlolohileng bakeng sa khokahano ea motlakase, joale lera la peo le sebetsa e le thapo ea pele ea tšepe e tiisang borokho boo. Ntle le eona, ho betla ka motlakase ho latelang ho ke ke ha qala, 'me ho etsa tšepe ka mokhoa o ts'oanang ka har'a via ho ke ke ha khoneha.
Leha ho le jwalo, boleng ba ho beoa ha lera lena bo itshetlehile haholo hodima sebopeho sa jeometri sa via ka boyona. Dibopeho tse fapaneng tsa via di lebisa diphephetsong tse fapaneng ho fihlelleng kabo e tshwanang ya lera la peo.
2. Ka Sebopeho: Phephetso e Felletseng bakeng sa ho Koaheloa ha Mealo e Tšoanang ea Peo
Liprofaele tsa TGV lia fapana ho latela mokhoa oa ho phunya le ho fata. Li-geometri tse tloaelehileng li kenyelletsa li-vias tse bōpehileng joaloka serurubele, tse foufetseng, tse otlolohileng le tse bōpehileng joaloka V, e 'ngoe le e 'ngoe e baka mathata a ikhethang a ho beoa ha tsona:
Serurubele ka: Karolo e bohareng e patisaneng e baka phello ea moriti, e thibelang liathomo tsa tšepe ho fihla sebakeng se bohareng. Sena se fella ka "libaka tse shoeleng" tse sa koaheloang moo ho lahleha ho tsoelang pele ha electroplating.
Ka tsela e foufetseng: Ha karolo e ka tlase e koetsoe, phallo ea khase ea thibeloa 'me matla a li-ion aa fokotseha, e leng se lebisang lifiliming tse tšesaane le tse sa khomareleng hantle tse ka arohanang tlas'a khatello ea ts'ebetso e latelang.
Ka tsela e otlolohileng: E tšoauoa ka karolelano e phahameng ea likarolo le mabota a mahlakoreng a otlolohileng, liathomo tsa tšepe li tsamaea ka tatellano 'me hangata li hlōleha ho koahela botlaase ba tsela ka ho lekaneng, li hlahisa litsela tse sa fellang tsa ho tsamaisa kapa li-plating voids.
E bōpehileng joaloka V ka: Profaele e tapered e ntlafatsa ho tšoana ha sekhutlo sa deposition ho isa bohōleng bo itseng, empa taper e feteletseng e ka baka ho se tšoane ha botenya ba filimi le ho tsepamisa maikutlo khatellong, e leng se senyang botšepehi ba lets'oao.
Maemong 'ohle, phephetso ea mantlha ke ho fihlela tšireletso ea tšepe e tsoelang pele, e ts'oanang, le e khomaretsoeng hantle holim'a libaka tsa khalase tse nang le tekanyo e phahameng ea likarolo tse nang le matla a tlase a bokaholimo. Ho se tsoele pele kapa ho khomarela ho fokolang lera la peo ho lebisa ho se nang letho, mapetsong, kapa karohano nakong ea ho penta ka motlakase, e leng se fellang ka khanyetso e eketsehileng ea khokahano, tieho ea lets'oao, kapa ho hloleha ho feletseng ha sesebelisoa.
Ho sebetsana le liphephetso tsena ho hloka lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum tse nepahetseng haholo, tse tsitsitseng haholo tse khonang ho finyella ho tebisa tšepe ka botebo. Mona ke moo tharollo ea ho koahela ka TGV ea ZHENHUA Vacuum e sebetsang teng.
3. Tharollo ea TGV ea ZHENHUA Vacuum ka Metallization
Melemo ea Lisebelisoa:
Ntlafatso ea ho Koahela ka Tebileng
Theknoloji ea ho koahela ka masoba a tebileng ea beng ba eona e nolofalletsa ho kenngoa ha peo ka mokhoa o ts'oanang esita le bakeng sa li-via tse nang le bophara bo bonyenyane ba 30 μm, ho fihlella likarolo tse fihlang ho 10:1 le ho rarolla mathata a metallization ka katleho ho 3D e rarahaneng ka meaho.
E ka fetoloa bakeng sa boholo bo fapaneng ba substrate
E lumellana le likarolo tsa khalase tsa 600 × 600 mm, 510 × 515 mm, le liforomo tse kholoanyane ho fihlela litlhoko tse fapaneng tsa tlhahiso.
Ho Tenyetseha ha Ts'ebetso ho Thepa e 'Mele e mengata
E tšehetsa ho beoa ha Cu, Ti, W, Ni, Pt le lifilimi tse ling tse tšesaane tse tsamaisang motlakase kapa tse sebetsang, e khotsofatsa litlhoko tse fapaneng tsa ho hanyetsa motlakase le ho senyehe.
Tshebetso e Tsitsitseng le Tlhokomelo e Bonolo
E hlomelitsoe ka sistimi e bohlale ea taolo bakeng sa ho lokisa liparamente ka boiketsetso le ho beha leihlo botenya ba filimi ka nako ea sebele. Moralo oa modular o netefatsa tlhokomelo e nolofalitsoeng le nako e fokotsehileng ea ho se sebetse.
Sebaka sa Kopo:
E loketse sephutheloana se tsoetseng pele sa TGV/TSV/TMV, e nolofalletsang ho penta ka lera la peo la boleng bo holimo ka har'a li-via tse nang le likarolo tse fihlang ho 10:1.
Qetello: Ho Tseba Lera la Peo—Mohato o Lebang Kopanyong ea 'Nete ea 3D
Boleng ba theknoloji ea TGV ha boa itšetleha feela ka ho fana ka kanale e ncha ea khokahano e otlolohileng empa hape bo thusa ho etsa meralo ea 'nete ea khokahano ea mahlakore a mararo.
Motheong oa phetoho ena, ho etsoa ha tšepe ea lera la peo e ntse e le ts'ebetso ea bohlokoa ka ho fetisisa empa hangata e hlokomolohuoa.
Ke feela ha "motheo ona o sa bonahaleng o tsamaisang motlakase" o fihlella ho lekana, ho ba le bongata le ho khomarela ho matla moo ts'ebetso ea ho kopanya ka motlakase le ho hokela e latelang e ka netefatsoang. Ka hona, ho fihlella ho kenngoa ha tšepe ea boleng bo holimo ka har'a li-vias tsa khalase tsa micron-scale e fetohile tekanyetso e hlalosang bokhoni bo tsoetseng pele ba ho paka.
Ka boqapi bo tsoelang pele ba ts'ebetso le phetoho ea lisebelisoa, ZHENHUA Vacuum e fana ka litharollo tse tšepahalang, tse nang le chai e ngata tsa TGV ka ho koahela ka botebo, e matlafatsang bahlahisi ba liphutheloana ho tsamaea ka kholiseho ho tloha ho li-pilot run ho ea tlhahisong ea bongata, e potlakisang phethahatso e felletseng ea kopanyo ea 3D.
Mehleng ena e susumetsoang ke matla a k'homphieutha a ntseng a eketseha le bongata ba kopanyo, sena se feta tsoelo-pele ea lisebelisoa feela—e emela mohato o tiileng o lebisang khōlong ea theknoloji ea ho paka ea 3D ea moloko o latelang.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Mphalane-13-2025