N'afọ ndị na-adịbeghị anya, ọgụgụ isi arụrụ arụ, ịkwọ ụgbọala onwe onye, na igwe kọmputa dị elu achịkwaala ala semiconductor ahụ. Ka arụmọrụ chip na-aga n'ihu na-arị elu, nkwakọ ngwaahịa akụkụ abụọ (2D) nkịtị enweghịzi ike igbo mkpa na-arịwanye elu maka njupụta njikọ na njikwa okpomọkụ. Ụlọ ọrụ ahụ na-aga n'ihu ngwa ngwa na oge njikọta akụkụ atọ (3D).
Iji kwado njupụta kọmputa na njikọ dị elu n'ime oghere pere mpe, ọrụ nke ihe mkpuchi nkwakọ ngwaahịa adịla oke mkpa karịa mgbe ọ bụla. Teknụzụ Through-Silicon Via (TSV) bụbu ihe nnọchianya nke nkwakọ ngwaahịa 3D, mana ọnụ ahịa ya dị elu, oke mmepụta ya, na ihe mgbochi ihe onwunwe egbochila nnabata ya n'ọtụtụ ebe. Ugbu a, onye na-asọ mpi ọhụrụ na-apụta—teknụzụ njikọ Through-Glass Via (TGV).
Isi ihe dị na TGV bụ imepụta ụzọ micron site na ihe mkpuchi iko, wee jupụta ígwè iji guzobe ụzọ kwụ ọtọ n'etiti ibe ma ọ bụ ihe ndị dị n'elu. Ọ bụ ezie na echiche ahụ yiri ka ọ dị mfe, usoro ahụ gụnyere ọtụtụ usoro nkenke ebe ọkwa ọ bụla na-emetụta ntụkwasị obi ozugbo. N'ime ihe ndị a, ntinye mkpụrụ osisi - nke a na-elegharakarị anya - na-eje ozi dị ka ntọala zoro ezo nke na-ekpebi ihe ịga nke ọma nke metallize.
1. Usoro Usoro TGV: Ibe Mkpụrụ—“Àkwà Mmiri” nke Metallization
Usoro TGV nkịtị nwere:
Nkwadebe ihe mkpuchi iko → Nkọcha site na igwu ala → Ndobe oyi akwa mkpụrụ → Mmeju Electroplating → Nhazi elu.
Mkpụrụ osisi ahụ bụ ihe nkiri dị gịrịgịrị nke na-eduzi ihe nke a na-etinye n'akụkụ mgbidi dị n'ime nke vias iko na-abụghị nke na-eduzi ihe. Ọ bụrụ na a na-ele usoro TGV anya dị ka "akwa" kwụ ọtọ maka njikọ eletriki, mgbe ahụ oyi akwa mkpụrụ ahụ na-arụ ọrụ dị ka eriri ígwè mbụ na-ejide akwa ahụ. Na-enweghị ya, electroplating na-esote agaghị amalite, metallization otu n'ime via agaghị ekwe omume.
Agbanyeghị, ịdị mma nke oyi akwa a dabere nke ukwuu na ọdịdị geometric nke via n'onwe ya. Ụdị via dị iche iche na-ebute ihe ịma aka dị iche iche n'inweta mkpuchi otu oyi akwa mkpụrụ.
2. Site na Mofoloji: Ihe Ịma Aka Kasịnụ maka Mkpuchi Akwa Mkpụrụ Nkịtị
TGV site na profaịlụ dị iche iche dabere na usoro igwu na ịcha ihe. Geometrị ndị a na-ahụkarị gụnyere vias dị ka urukurubụba, kpuru ìsì, kwụ ọtọ, na nke dị ka V, nke ọ bụla na-enwe nsogbu pụrụ iche maka itinye ihe n'ime ya:
Urukurubụba site na: Akụkụ etiti nke dị warara na-akpata mmetụta onyinyo, na-egbochi atọm ígwè iru mpaghara etiti. Nke a na-eme ka "ebe ndị nwụrụ anwụ" ghara ikpuchi ebe a na-efunahụ nguzozi electroplating.
kpuru ìsì site na: Site na ala mechiri emechi, a na-ebelata ọsọ gas na ike ion na-ebelata, na-eduga na fim dị gịrịgịrị na nke na-araparaghị nke ọma nke nwere ike imebi n'okpuru nrụgide usoro na-esote.
Site na kwụ ọtọ: N'ihi oke akụkụ dị elu na mgbidi kwụ ọtọ, atọm ígwè na-agagharị n'ahịrị ma na-anaghị ekpuchi ala via nke ọma, na-emepụta ụzọ ndị na-eduzi ihe ma ọ bụ oghere mkpuchi.
Site na ọdịdị V: Profaịlụ ahụ gbagọrọ agbagọ na-eme ka nha nhata nke akụkụ nkwụnye ihe dịkwuo mma ruo n'ókè ụfọdụ, mana oke mbelata nwere ike ibute ọkpụrụkpụ ihe nkiri na-adịghị nhata na ntinye nrụgide, na-emebi iguzosi ike n'ezi ihe nke akara.
N'ọnọdụ niile, isi ihe ịma aka bụ inweta mkpuchi ígwè na-aga n'ihu, otu, na nke a na-arapara nke ọma na elu iko dị elu nke nwere ike dị ala. Nkwụsị ọ bụla ma ọ bụ njikọ na-adịghị mma na oyi akwa mkpụrụ na-eduga na oghere, mgbawa, ma ọ bụ delamination n'oge electroplating, na-ebute mmụba nke iguzogide njikọ, igbu oge mgbaàmà, ma ọ bụ ọdịda ngwaọrụ zuru oke.
Iji dozie ihe ịma aka ndị a chọrọ ngwa mkpuchi ikuku dị oke mma, nke nwere ike ịrụ ọrụ nke ọma site na metallization miri emi. Nke a bụ ebe ngwọta mkpuchi TGV nke ZHENHUA Vacuum si abata.
3. Ngwọta Mkpụcha ZHENHUA Vacuum TGV Site na Metallization
Uru akụrụngwa:
Nhazi Mkpuchi Miri-Via
Teknụzụ mkpuchi oghere miri emi nke nwere ikike pụrụ iche na-enye ohere ka e debe otu oyi akwa mkpụrụ ọbụlagodi maka vias nwere dayameta dị obere dịka 30 μm, na-enweta oke akụkụ ruo 10:1 ma na-edozi nsogbu metalization nke ọma na 3D dị mgbagwoju anya site na nhazi.
Nhazi maka nha dị iche iche nke ihe ndị dị n'ime ala
Dakọtara na ihe ndị e ji iko mee nke 600 × 600 mm, 510 × 515 mm, na usoro ndị buru ibu iji mezuo ihe dị iche iche achọrọ maka mmepụta.
Mgbanwe Usoro n'ọtụtụ ihe
Na-akwado itinye Cu, Ti, W, Ni, Pt na ihe nkiri ndị ọzọ dị gịrịgịrị ma ọ bụ nke na-arụ ọrụ, na-emezu ihe dị iche iche achọrọ maka eletriki na mgbochi nchara.
Arụmọrụ kwụsiri ike na mmezi dị mfe
E ji sistemụ njikwa nwere ọgụgụ isi maka ịhazi paramita akpaka na nlekota ọkpụrụkpụ ihe nkiri n'oge. Nhazi modular na-eme ka mmezi dị mfe ma belata oge nkwụsị.
Oke Ngwa:
Ọ dabara adaba maka nkwakọ ngwaahịa TGV/TSV/TMV dị elu, na-eme ka mkpuchi mkpụrụ dị elu dị na vias nwere oke akụkụ ruo 10:1.
Mmechi: Ịmụta Ibe Mkpụrụ - Nzọụkwụ Iji Nweta Njikọta 3D nke Ezi
Uru nke teknụzụ TGV abụghị naanị n'inye ọwa njikọ kwụ ọtọ ọhụrụ kamakwa n'inye ezigbo usoro njikọ njikọ akụkụ atọ.
N'isi mgbanwe a, nhazi ígwè mkpụrụ osisi ka bụ usoro kachasị mkpa mana a na-elegharakarị anya.
Naanị mgbe "ntọala nduzi" a na-adịghị ahụ anya nwetara otu nha, njupụta, na njiko siri ike ka a ga-ahụ na arụmọrụ electroplating na njikọ na-esote na-aga n'ihu. Inweta ebe a na-etinye ígwè dị elu n'ime micron-scale glass vias abụrụla ihe atụ doro anya nke ikike nkwakọ ngwaahịa dị elu.
Site na mgbanwe usoro na mgbanwe akụrụngwa na-aga n'ihu, ZHENHUA Vacuum na-enye ngwọta mkpuchi miri emi nke TGV a pụrụ ịtụkwasị obi, nke nwere ike ịba ụba, na-enye ndị na-emepụta nkwakọ ngwaahịa ike ịkwaga n'enweghị nsogbu site na nnwale nnwale ruo na mmepụta buru ibu, na-eme ka mmezu zuru oke nke njikọta 3D dịkwuo ngwa ngwa.
N'oge a nke ike kọmputa na njupụta njikọta na-abawanye, nke a karịrị ọganihu akụrụngwa - ọ na-anọchite anya nzọụkwụ dị mkpa iji ruo ntozu okè nke teknụzụ nkwakọ ngwaahịa 3D nke ọgbọ na-abịa.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Ọktoba-13-2025