يېقىنقى يىللاردىن بۇيان، سۈنئىي ئەقىل، ئاپتوماتىك ھەيدەش ۋە يۇقىرى ئىقتىدارلىق ھېسابلاش چىپلىرى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىدە ئۈستۈنلۈكنى ئىگىلىدى. چىپ ئىقتىدارى ئۈزلۈكسىز ئېشىپ بېرىۋاتقانلىقتىن، ئەنئەنىۋى ئىككى ئۆلچەملىك (2D) ئورالما ئەمدى ئۆز-ئارا ئۇلىنىش زىچلىقى ۋە ئىسسىقلىق باشقۇرۇشقا بولغان ئېھتىياجنى قاندۇرالمايدۇ. بۇ كەسىپ تېز سۈرئەتتە ئۈچ ئۆلچەملىك (3D) بىر گەۋدىلىشىش دەۋرىگە قاراپ ئىلگىرىلەۋاتىدۇ.
چەكلىك بوشلۇق ئىچىدە يۇقىرى ھېسابلاش زىچلىقى ۋە ئۆزئارا باغلىنىشنى تەمىنلەش ئۈچۈن، ئورالما ئاساسىنىڭ رولى ھەر قاچاندىكىدىنمۇ مۇھىم بولۇپ قالدى. Through-Silicon Via (TSV) تېخنىكىسى ئىلگىرى 3D ئورالمىنىڭ سىمۋولى بولغان، ئەمما ئۇنىڭ يۇقىرى باھاسى، چەكلىك ئۆتكۈزۈش ئىقتىدارى ۋە ماتېرىيال چەكلىمىسى كەڭ كۆلەمدە قوللىنىلىشىغا توسقۇنلۇق قىلغان. ھازىر يېڭى بىر رىقابەتچى پەيدا بولۇۋاتىدۇ - Through-Glass Via (TGV) ئۆزئارا باغلىنىش تېخنىكىسى.
TGV نىڭ ئاساسلىق پرىنسىپى ئىزولياتورلۇق ئەينەك ئاساسى ئارقىلىق مىكرون كۆلەملىك يوللارنى ياساش، ئاندىن مېتال تولدۇرۇش ئارقىلىق پارچىلار ياكى ئاساسىلار ئارىسىدا تىك ئۆتكۈزۈش يولىنى قۇرۇشتىن ئىبارەت. بۇ ئۇقۇم ئاددىي كۆرۈنسىمۇ، بۇ جەريان كۆپ خىل ئېنىقلىق باسقۇچلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، ھەر بىر باسقۇچ بىۋاسىتە ئۇلىنىش ئىشەنچلىكلىكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. بۇلارنىڭ ئىچىدە، ئۇرۇق قەۋىتىنىڭ چۆكمىسى - كۆپىنچە نەزەردىن ساقىت قىلىنىدۇ - مېتاللاشتۇرۇشنىڭ ئومۇمىي مۇۋەپپەقىيىتىنى بەلگىلەيدىغان يوشۇرۇن ئاساس بولۇپ خىزمەت قىلىدۇ.
1. TGV جەريان ئېقىمى: ئۇرۇق قەۋىتى - مېتاللاشتۇرۇشنىڭ ئۆتكۈزگۈچ «كۆۋرۈكى»
ئادەتتىكى TGV جەريانى تۆۋەندىكىلەردىن تەركىب تاپىدۇ:
ئەينەك ئاساسىي قەۋىتىنى تەييارلاش → بۇرغىلاش ئارقىلىق ئېنىقلىق → ئۇرۇق قەۋىتىنى قويۇش → ئېلېكترو قاپلاش ئارقىلىق تولدۇرۇش → يۈزەكى تۈزلەش.
ئۇرۇق قەۋىتى ئاساسەن ئۆتكۈزمەيدىغان ئەينەك ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئىچكى تاملىرىغا چاپلانغان ئىنتايىن نېپىز ئۆتكۈزگۈچ پەردە. ئەگەر TGV قۇرۇلمىسى ئېلېكتر ئۇلىنىشى ئۈچۈن تىك «كۆۋرۈك» دەپ قارىلسا، ئۇ چاغدا ئۇرۇق قەۋىتى بۇ كۆۋرۈكنى باغلايدىغان تۇنجى پولات سىم رولىنى ئوينايدۇ. ئۇ بولمىسا، كېيىنكى ئېلېكترو قاپلاش باشلىنالمايدۇ، ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئىچىدە بىردەك مېتاللىشىش مۇمكىن ئەمەس.
قانداقلا بولمىسۇن، بۇ قەۋەتنىڭ چۆكمە سۈپىتى ئاساسلىقى ئۆتكەلنىڭ گېئومېتىرىيەلىك شەكلىگە باغلىق. ئۆتكەلنىڭ شەكلىنىڭ ئوخشىماسلىقى ئۇرۇق قەۋىتىنىڭ بىردەك قاپلىنىشىغا ئېرىشىشتە پەرقلىق قىيىنچىلىقلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
2. مورفولوگىيە ئارقىلىق: ئۇرۇق قەۋىتىنى بىردەك قاپلاش ئۈچۈن ئەڭ چوڭ خىرىس
TGV ئارقىلىق ياسالغان پىروفىللار بۇرغىلاش ۋە ئويۇش جەريانىغا ئاساسەن ئوخشىمايدۇ. كۆپ ئۇچرايدىغان گېئومېتىرىيەلەرگە كېپىنەك شەكىللىك، كۆرۈنمەس، تىك ۋە V شەكىللىك ۋىئولار كىرىدۇ، ھەر بىرى ئۆزىگە خاس چۆكمە قىيىنچىلىقلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ:
كېپىنەك ئارقىلىق: تار ئوتتۇرا بۆلەك سايە تەسىرىنى پەيدا قىلىپ، مېتال ئاتوملىرىنىڭ مەركىزىي رايونغا يېتىپ بېرىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. بۇ، قاپلانمىغان «ئۆلۈك رايونلار» نى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇ يەردە ئېلېكترو قاپلاشنىڭ داۋاملىقلىقى يوقىلىدۇ.
كۆرۈنمەس ئۆتكۈزۈش: ئاستى تەرىپى يېپىق بولغاندا، گاز ئېقىمى چەكلىنىدۇ ۋە ئىئون ئېنېرگىيەسى ئاجىزلىشىدۇ، بۇنىڭ بىلەن نېپىز ۋە يېپىشماسلىقى ناچار پەردىلەر پەيدا بولۇپ، كېيىنكى جەريان بېسىمى ئاستىدا قېتىپ كېتىشى مۇمكىن.
تىك ئۆتۈشمە: يۇقىرى نىسبەت ۋە تۈز يان تاملىرى بىلەن خاراكتېرلىنىدىغان مېتال ئاتوملىرى سىزىقلىق ھەرىكەت قىلىدۇ ۋە كۆپىنچە ئۆتۈشمە ئاستىنى يېتەرلىك قاپلىيالمايدىغانلىقتىن، ئۆتكۈزۈش يولى تولۇق ئەمەس ياكى بوشلۇقلارنى قاپلايدۇ.
V شەكىللىك ئارقىلىق: كونۇس شەكىللىك پىروفىل قەۋەتنىڭ چۈشۈش بۇلۇڭىنىڭ بىردەكلىكىنى بەلگىلىك دەرىجىدە ياخشىلايدۇ، ئەمما ھەددىدىن زىيادە كونۇس شەكىللىك بولسا پىلاستىنكا قېلىنلىقىنىڭ بىردەك بولماسلىقى ۋە بېسىمنىڭ قويۇقلۇقىنىڭ تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، سىگنالنىڭ پۈتۈنلۈكىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
بارلىق ئەھۋاللاردا، ئاساسلىق قىيىنچىلىق يۇقىرى ئېنېرگىيىسى تەبىئىي ھالدا تۆۋەن بولغان يۇقىرى كۆرۈنۈش نىسبىتىدىكى ئەينەك يۈزىدە ئۈزلۈكسىز، بىردەك ۋە ياخشى يېپىشقان مېتال قاپلىمىغا ئېرىشىشتىن ئىبارەت. ئۇرۇق قەۋىتىدىكى ھەر قانداق ئۈزۈلۈش ياكى ناچار يېپىشما ئېلېكتىرو قاپلاش جەريانىدا بوشلۇق، يېرىق ياكى قېپىنىڭ كېڭىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە ئۆزئارا ئۇلىنىش قارشىلىقى ئېشىپ، سىگنال كېچىكىپ قالىدۇ ياكى ئۈسكۈنىنىڭ پۈتۈنلەي مەغلۇب بولۇشىغا سەۋەب بولىدۇ.
بۇ قىيىنچىلىقلارنى ھەل قىلىش ئۈچۈن چوڭقۇر مېتاللاشتۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى، يۇقىرى مۇقىملىقتىكى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى لازىم. بۇ يەردە ZHENHUA ۋاكۇئۇم شىركىتىنىڭ TGV قاپلاش چارىسى رول ئوينايدۇ.
3. ZHENHUA چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچنىڭ TGV ئارقىلىق مېتاللاشتۇرۇش چارىسى
ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئەۋزەللىكى:
چوڭقۇر قاتلاملىق قاپلاش ئەلالاشتۇرۇش
خاس چوڭقۇر تۆشۈك قاپلاش تېخنىكىسى دىئامېتىرى 30 مىكرومېتىرغىچە بولغان ۋىئالاردىمۇ ئۇرۇق قەۋىتىنى بىردەك چۆكتۈرۈشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ، 10:1 گىچە بولغان نىسبەتكە يېتىدۇ ھەمدە مۇرەككەپ 3D قۇرۇلمىلار ئارقىلىق مېتاللىشىش مەسىلىلىرىنى ئۈنۈملۈك ھەل قىلىدۇ.
ھەر خىل چوڭلۇقتىكى ئاساسىي قەۋەتلەرگە ماسلاشتۇرغىلى بولىدۇ
600 × 600 مىللىمېتىر، 510 × 515 مىللىمېتىر ۋە ئۇنىڭدىن چوڭراق فورماتلىق ئەينەك ئاساسلىرى بىلەن ماسلىشىپ، ھەر خىل ئىشلەپچىقىرىش تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ.
كۆپ خىل ماتېرىياللار ئارىسىدا جەرياننىڭ جانلىقلىقى
Cu، Ti، W، Ni، Pt ۋە باشقا ئۆتكۈزگۈچ ياكى ئىقتىدارلىق نېپىز پەردىلەرنىڭ چۆكمىسىنى قوللايدۇ، ھەر خىل ئېلېكتر ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش تەلىپىنى قاندۇرىدۇ.
مۇقىم ئىقتىدار ۋە ئاسان ئاسراش
ئاپتوماتىك پارامېتىر تەڭشەش ۋە ھەقىقىي ۋاقىتلىق پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى نازارەت قىلىش ئۈچۈن ئەقلىي ئىقتىدارلىق كونترول سىستېمىسى بىلەن تەمىنلەنگەن. مودۇللۇق لايىھە ئاددىيلاشتۇرۇلغان ئاسراش ۋە توختاپ قېلىش ۋاقتىنى قىسقارتىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
قوللىنىش دائىرىسى:
TGV/TSV/TMV ئىلغار ئورالمىسىغا ماس كېلىدۇ، 10:1 گىچە بولغان نىسبەتتىكى يۇقىرى سۈپەتلىك ئۇرۇق قەۋىتى قاپلاش ئىقتىدارىغا ئىگە.
خۇلاسە: ئۇرۇق قەۋىتىنى ئىگىلەش - ھەقىقىي 3D بىر گەۋدىلەشتۈرۈشكە قاراپ بىر قەدەم
TGV تېخنىكىسىنىڭ قىممىتى پەقەت يېڭى تىك ئۇلىنىش قانىلى بىلەن تەمىنلەشتىلا ئەمەس، بەلكى ھەقىقىي ئۈچ ئۆلچەملىك ئۇلىنىش قۇرۇلمىسىنى ئىشقا ئاشۇرۇشتىمۇ.
بۇ ئۆزگىرىشنىڭ مەركىزىدە، ئۇرۇق قەۋىتىنىڭ مېتاللىشىشى ئەڭ مۇھىم، ئەمما كۆپىنچە ۋاقىتلاردا نەزەردىن ساقىت قىلىنىدىغان جەريان بولۇپ قالىدۇ.
پەقەت بۇ كۆرۈنمەس «ئۆتكۈزۈش ئاساسى» بىردەكلىك، زىچلىق ۋە كۈچلۈك يېپىشقاقلىققا ئېرىشكەندىلا، كېيىنكى ئېلېكترو قاپلاش ۋە ئۆزئارا باغلىنىش ئىقتىدارىغا كاپالەتلىك قىلغىلى بولىدۇ. شۇڭا مىكرونلۇق ئەينەك ئېغىزلىرىغا يۇقىرى سۈپەتلىك مېتال چۆكمىسىنى قولغا كەلتۈرۈش ئىلغار ئورالما ئىقتىدارىنىڭ بەلگىلىك ئۆلچىمىگە ئايلاندى.
ئۈزلۈكسىز يېڭىلىق يارىتىش ۋە ئۈسكۈنىلەرنى تەرەققىي قىلدۇرۇش ئارقىلىق، ZHENHUA ۋاكۇئۇم شىركىتى ئىشەنچلىك، يۇقىرى ئۈنۈملۈك TGV چوڭقۇر سىرلاش ھەل قىلىش چارىلىرىنى تەمىنلەيدۇ، بۇ ئوراپ قاچىلاش ئىشلەپچىقارغۇچىلىرىنىڭ سىناق ئىشلەپچىقىرىشتىن تۈركۈملەپ ئىشلەپچىقىرىشقىچە ئىشەنچ بىلەن ئىلگىرىلىشىگە شارائىت يارىتىپ، 3D بىر گەۋدىلەشتۈرۈشنىڭ تولۇق ئەمەلگە ئېشىشىنى تېزلىتىدۇ.
ھېسابلاش كۈچى ۋە بىر گەۋدىلىشىش زىچلىقىنىڭ ئۈزلۈكسىز ئېشىۋاتقان بىر دەۋردە، بۇ پەقەت ئۈسكۈنىلەرنىڭ تەرەققىياتىدىنمۇ كۆپرەك نەرسىنى بىلدۈرىدۇ، ئۇ كېيىنكى ئەۋلاد 3D ئورالما تېخنىكىسىنىڭ پىشىپ يېتىلىشىگە قاراپ تاشلانغان ھەل قىلغۇچ قەدەمنى ئىپادىلەيدۇ.
—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 10-ئاينىڭ 13-كۈنى