ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ປັນຍາປະດິດ, ການຂັບຂີ່ແບບອັດຕະໂນມັດ, ແລະ ຊິບຄອມພິວເຕີປະສິດທິພາບສູງໄດ້ຄອບງຳພູມສັນຖານຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ. ຍ້ອນວ່າປະສິດທິພາບຂອງຊິບຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ການຫຸ້ມຫໍ່ສອງມິຕິ (2D) ແບບດັ້ງເດີມບໍ່ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສຳລັບຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຊື່ອມຕໍ່ ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ. ອຸດສາຫະກຳກຳລັງກ້າວໄປສູ່ຍຸກການເຊື່ອມໂຍງສາມມິຕິ (3D) ຢ່າງໄວວາ.
ເພື່ອຮອງຮັບຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຄອມພິວເຕີ ແລະ ການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ສູງຂຶ້ນພາຍໃນພື້ນທີ່ຈຳກັດ, ບົດບາດຂອງພື້ນຖານການຫຸ້ມຫໍ່ໄດ້ກາຍເປັນສິ່ງສຳຄັນຫຼາຍກວ່າທີ່ເຄີຍມີມາ. ເທັກໂນໂລຢີ Through-Silicon Via (TSV) ເຄີຍເປັນສັນຍາລັກຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ 3D, ແຕ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍສູງ, ປະລິມານການຜະລິດທີ່ຈຳກັດ, ແລະ ຂໍ້ຈຳກັດດ້ານວັດສະດຸໄດ້ຂັດຂວາງການຮັບຮອງເອົາຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ປະຈຸບັນ, ຄູ່ແຂ່ງໃໝ່ກຳລັງເກີດຂຶ້ນຄື ເທັກໂນໂລຢີການເຊື່ອມຕໍ່ Through-Glass Via (TGV).
ຫຼັກການຫຼັກຂອງ TGV ແມ່ນການສ້າງຈຸດຜ່ານຂະໜາດໄມຄຣອນຜ່ານຊັ້ນແກ້ວກັນຄວາມຮ້ອນ, ຕາມດ້ວຍການຕື່ມໂລຫະເພື່ອສ້າງເສັ້ນທາງນຳໄຟຟ້າແນວຕັ້ງລະຫວ່າງຊິບ ຫຼື ຊັ້ນວັດສະດຸ. ໃນຂະນະທີ່ແນວຄວາມຄິດເບິ່ງຄືວ່າງ່າຍດາຍ, ຂະບວນການດັ່ງກ່າວກ່ຽວຂ້ອງກັບຂັ້ນຕອນຄວາມແມ່ນຍໍາຫຼາຍຂັ້ນຕອນທີ່ທຸກໆຂັ້ນຕອນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງການເຊື່ອມຕໍ່. ໃນນັ້ນ, ການວາງຊັ້ນເມັດພືດ - ເຊິ່ງມັກຖືກມອງຂ້າມ - ເປັນພື້ນຖານທີ່ເຊື່ອງໄວ້ທີ່ກຳນົດຄວາມສຳເລັດໂດຍລວມຂອງການເຄືອບໂລຫະ.
1. ຂະບວນການ TGV: ຊັ້ນເມັດພັນ - "ຂົວ" ທີ່ນຳໄຟຟ້າຂອງການຫລໍ່ໂລຫະ
ຂະບວນການ TGV ທົ່ວໄປປະກອບດ້ວຍ:
ການກະກຽມພື້ນຜິວແກ້ວ → ຄວາມແມ່ນຍຳຜ່ານການເຈາະ → ການວາງຊັ້ນເມັດພັນ → ການຕື່ມດ້ວຍໄຟຟ້າ → ການປັບພື້ນຜິວໃຫ້ລຽບ.
ຊັ້ນເມັດພັນໂດຍພື້ນຖານແລ້ວແມ່ນຟິມນຳໄຟຟ້າບາງໆທີ່ວາງໄວ້ຕາມຝາດ້ານໃນຂອງຊ່ອງແກ້ວທີ່ບໍ່ນຳໄຟຟ້າ. ຖ້າໂຄງສ້າງ TGV ຖືກເບິ່ງວ່າເປັນ "ຂົວ" ຕັ້ງສຳລັບການເຊື່ອມຕໍ່ໄຟຟ້າ, ຊັ້ນເມັດພັນຈະເຮັດໜ້າທີ່ເປັນສາຍເຫຼັກເສັ້ນທຳອິດທີ່ຍຶດຂົວນັ້ນ. ຖ້າບໍ່ມີມັນ, ການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າຕໍ່ມາຈະບໍ່ສາມາດເລີ່ມຕົ້ນໄດ້, ແລະ ການເຄືອບໂລຫະທີ່ເປັນເອກະພາບພາຍໃນຊ່ອງຈະເປັນໄປບໍ່ໄດ້.
ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຄຸນນະພາບການວາງຊັ້ນນີ້ແມ່ນຂຶ້ນກັບຮູບຮ່າງທາງເລຂາຄະນິດຂອງຊ່ອງຄວາມຮ້ອນເອງ. ຮູບຮ່າງຊ່ອງຄວາມຮ້ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນນຳໄປສູ່ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນການບັນລຸການປົກຄຸມຊັ້ນເມັດພືດຢ່າງເປັນເອກະພາບ.
2. ຜ່ານຮູບຮ່າງວິທະຍາ: ສິ່ງທ້າທາຍສຸດທ້າຍສຳລັບການປົກຄຸມຊັ້ນເມັດພັນຢ່າງເປັນເອກະພາບ
ໂປຣໄຟລ໌ທາງ TGV ແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຂະບວນການເຈາະ ແລະ ແກະສະຫຼັກ. ຮູບຊົງທົ່ວໄປປະກອບມີທາງຮູບຜີເສື້ອ, ທາງຕາບອດ, ທາງຕັ້ງ, ແລະ ທາງຮູບຕົວ V, ແຕ່ລະທາງມີຄວາມຍາກໃນການວາງຊັ້ນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ:
ຜີເສື້ອຜ່ານ: ພາກສ່ວນກາງທີ່ຫົດຕົວເຮັດໃຫ້ເກີດຜົນກະທົບຂອງເງົາ, ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອະຕອມໂລຫະໄປເຖິງພາກພື້ນກາງ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ເກີດ "ເຂດຕາຍ" ທີ່ບໍ່ໄດ້ເຄືອບບ່ອນທີ່ຄວາມຕໍ່ເນື່ອງຂອງການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າສູນເສຍໄປ.
ຕາບອດ: ດ້ວຍພື້ນລຸ່ມປິດ, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສຈະຖືກຈຳກັດ ແລະ ພະລັງງານໄອອອນຈະຫຼຸດລົງ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຟິມບາງໆ ແລະ ຕິດແໜ້ນບໍ່ດີ ເຊິ່ງອາດຈະແຍກອອກພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນຂອງຂະບວນການຕໍ່ມາ.
ທາງຜ່ານແນວຕັ້ງ: ມີລັກສະນະໂດຍອັດຕາສ່ວນສູງ ແລະ ຝາຂ້າງຊື່, ອະຕອມໂລຫະເຄື່ອນທີ່ເປັນເສັ້ນຊື່ ແລະ ມັກຈະບໍ່ສາມາດເຄືອບດ້ານລຸ່ມຂອງທາງຜ່ານໄດ້ຢ່າງພຽງພໍ, ເຮັດໃຫ້ເກີດເສັ້ນທາງນຳໄຟຟ້າທີ່ບໍ່ຄົບຖ້ວນ ຫຼື ຊ່ອງຫວ່າງຂອງການຊຸບໂລຫະ.
ຮູບຊົງຕົວ V: ໂປຣໄຟລ໌ຮູບຈວຍຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງມຸມວາງໄດ້ໃນລະດັບໜຶ່ງ, ແຕ່ຮູບຈວຍທີ່ຫຼາຍເກີນໄປສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມໜາຂອງຟິມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄວາມກົດດັນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມສົມບູນຂອງສັນຍານຫຼຸດລົງ.
ໃນທຸກໆກໍລະນີ, ສິ່ງທ້າທາຍຫຼັກແມ່ນການບັນລຸການປົກຄຸມໂລຫະຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ເປັນເອກະພາບ, ແລະ ຍຶດຕິດໄດ້ດີໃນໜ້າຜິວແກ້ວທີ່ມີອັດຕາສ່ວນສູງທີ່ມີພະລັງງານໜ້າຜິວຕ່ຳໂດຍທຳມະຊາດ. ຄວາມບໍ່ຕໍ່ເນື່ອງ ຫຼື ການຍຶດຕິດທີ່ບໍ່ດີໃນຊັ້ນເມັດຈະນຳໄປສູ່ຮູ, ຮອຍແຕກ, ຫຼື ການແຍກອອກໃນລະຫວ່າງການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານການເຊື່ອມຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມຊັກຊ້າຂອງສັນຍານ, ຫຼື ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນທັງໝົດ.
ການແກ້ໄຂບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງການອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງສູງ ເຊິ່ງສາມາດບັນລຸການເຄືອບໂລຫະແບບເລິກໄດ້. ນີ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບ TGV ຂອງ ZHENHUA Vacuum ເຂົ້າມາມີບົດບາດ.
3. ວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບໂລຫະຜ່ານ TGV ຂອງ ZHENHUA Vacuum
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງອຸປະກອນ:
ການເພີ່ມປະສິດທິພາບການເຄືອບແບບ Deep-Via
ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບຮູເລິກທີ່ເປັນເອກະລັກຊ່ວຍໃຫ້ການວາງຊັ້ນເມັດພືດເປັນເອກະພາບເຖິງແມ່ນວ່າສຳລັບຈຸດເຊື່ອມທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງນ້ອຍກວ່າ 30 μm, ບັນລຸອັດຕາສ່ວນພາບສູງເຖິງ 10:1 ແລະແກ້ໄຂບັນຫາການເຄືອບໂລຫະໃນໂຄງສ້າງ 3D ທີ່ສັບສົນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.
ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ສຳລັບຂະໜາດຂອງພື້ນຜິວຕ່າງໆ
ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບພື້ນຜິວແກ້ວຂະໜາດ 600 × 600 ມມ, 510 × 515 ມມ, ແລະຮູບແບບທີ່ໃຫຍ່ກວ່າເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.
ຄວາມຍືດຫຍຸ່ນຂອງຂະບວນການໃນຫຼາຍວັດສະດຸ
ຮອງຮັບການວາງຊັ້ນຂອງ Cu, Ti, W, Ni, Pt ແລະ ຟິມບາງໆທີ່ນຳໄຟຟ້າ ຫຼື ຟິມທີ່ໃຊ້ງານໄດ້ອື່ນໆ, ຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານໄຟຟ້າ ແລະ ການຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ການບຳລຸງຮັກສາງ່າຍ
ພ້ອມດ້ວຍລະບົບຄວບຄຸມອັດສະລິຍະສຳລັບການປັບແຕ່ງພາລາມິເຕີອັດຕະໂນມັດ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມໜາຂອງຟິມແບບທັນທີ. ການອອກແບບແບບໂມດູນຮັບປະກັນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ງ່າຍດາຍ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ.
ຂອບເຂດການນໍາໃຊ້:
ເໝາະສົມສຳລັບການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງຂອງ TGV/TSV/TMV, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດເຄືອບຊັ້ນເມັດພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃນຈຸດເຊື່ອມທີ່ມີອັດຕາສ່ວນສູງເຖິງ 10:1.
ສະຫຼຸບ: ການເປັນແມ່ບົດຂອງຊັ້ນເມັດພັນ - ບາດກ້າວໄປສູ່ການເຊື່ອມໂຍງ 3D ທີ່ແທ້ຈິງ
ຄຸນຄ່າຂອງເຕັກໂນໂລຊີ TGV ບໍ່ພຽງແຕ່ຢູ່ໃນການສະໜອງຊ່ອງທາງການເຊື່ອມຕໍ່ແນວຕັ້ງແບບໃໝ່ເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງຢູ່ໃນການເຮັດໃຫ້ສະຖາປັດຕະຍະກຳການເຊື່ອມຕໍ່ແບບສາມມິຕິທີ່ແທ້ຈິງ.
ໃນຈຸດໃຈກາງຂອງການປ່ຽນແປງນີ້, ການເຄືອບໂລຫະຂອງຊັ້ນເມັດພັນຍັງຄົງເປັນຂະບວນການທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດ ແຕ່ມັກຖືກມອງຂ້າມ.
ພຽງແຕ່ເມື່ອ "ພື້ນຖານການນຳໄຟຟ້າ" ທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນນີ້ບັນລຸຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ, ຄວາມໜາແໜ້ນ, ແລະ ການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງເທົ່ານັ້ນ ຈຶ່ງຈະສາມາດຮັບປະກັນປະສິດທິພາບການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າ ແລະ ການເຊື່ອມຕໍ່ກັນໄດ້. ດັ່ງນັ້ນ, ການບັນລຸການວາງໂລຫະທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງພາຍໃນຈຸດແກ້ວຂະໜາດໄມຄຣອນຈຶ່ງກາຍເປັນມາດຕະຖານທີ່ກຳນົດໄວ້ຂອງຄວາມສາມາດໃນການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າ.
ຜ່ານນະວັດຕະກໍາຂະບວນການຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ການພັດທະນາອຸປະກອນ, ZHENHUA Vacuum ສົ່ງມອບວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບເລິກ TGV ທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ໃຫ້ຜົນຜະລິດສູງ, ຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຜະລິດບັນຈຸພັນສາມາດກ້າວໄປຂ້າງໜ້າໄດ້ຢ່າງໝັ້ນໃຈຈາກການຜະລິດທົດລອງໄປສູ່ການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍ, ເລັ່ງການຮັບຮູ້ການເຊື່ອມໂຍງ 3D ຢ່າງຄົບຖ້ວນ.
ໃນຍຸກສະໄໝທີ່ຂັບເຄື່ອນໂດຍພະລັງງານການຄຳນວນ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງການເຊື່ອມໂຍງທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ນີ້ແມ່ນຫຼາຍກວ່າຄວາມກ້າວໜ້າຂອງອຸປະກອນ - ມັນເປັນຕົວແທນໃຫ້ແກ່ບາດກ້າວທີ່ຕັດສິນໄປສູ່ຄວາມສຳເລັດຂອງເຕັກໂນໂລຊີການຫຸ້ມຫໍ່ 3D ລຸ້ນຕໍ່ໄປ.
— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua
ເວລາໂພສ: ຕຸລາ-13-2025