אין די לעצטע יאָרן, קינסטלעכע אינטעליגענץ, אויטאָנאָמיש דרייווינג, און הויך-פאָרשטעלונג קאָמפּיוטינג טשיפּס האָבן דאָמינירט די האַלב-קאָנדוקטאָר לאַנדשאַפט. ווי די טשיפּ פאָרשטעלונג פאָרזעצט צו וואַקסן, קען קאַנווענשאַנאַל צוויי-דימענסיאָנאַלע (2D) פּאַקאַדזשינג ניט מער טרעפן די וואַקסנדיקע פאָדערונגען פֿאַר ינטערקאַנעקט געדיכטקייט און טערמישע פאַרוואַלטונג. די אינדוסטריע באַוועגט זיך שנעל צו דער דריי-דימענסיאָנאַלער (3D) אינטעגראַציע תקופה.
כדי צו אַקאַמאַדירן העכערע קאָמפּיוטינג געדיכטקייט און ינטערקאַנעקשאַן אין לימיטירטן פּלאַץ, איז די ראָלע פון די פּאַקאַדזשינג סאַבסטראַט געוואָרן מער קריטיש ווי אלץ. דורך-סיליקאָן וויאַ (TSV) טעכנאָלאָגיע האָט אַמאָל סימבאַלייזד 3D פּאַקאַדזשינג, אָבער איר הויך פּרייַז, לימיטירט דורכפלוס, און מאַטעריאַל לימיטיישאַנז האָבן געשטערט ברייט אַדאַפּשאַן. איצט, אַ נייַ קאַנדידאַט איז ארויס - דורך-גלאז וויאַ (TGV) ינטערקאַנעקשאַן טעכנאָלאָגיע.
דער קערן פּרינציפּ פון TGV איז צו פאַבריצירן מיקראָן-וואָג וויאַס דורך אַן איזאָלירנדיק גלאָז סאַבסטראַט, נאכגעפאָלגט דורך מעטאַל אָנפֿילן צו שאַפֿן ווערטיקאַלע קאַנדאַקטיווע וועגן צווישן טשיפּס אָדער סאַבסטראַטן. כאָטש דער קאָנצעפּט מיינט פּשוט, דער פּראָצעס ינוואַלווז קייפל פּרעציזיע טריט וווּ יעדער בינע דירעקט ימפּאַקטז ינטערקאַנעקט רילייאַבילאַטי. צווישן די, די זוימען שיכטע דעפּאַזישאַן - אָפט אָוווערלוקט - דינט ווי די פאַרבאָרגן יסוד וואָס באַשטימט די קוילעלדיק הצלחה פון מעטאַליזאַציע.
1. TGV פּראָצעס פלוס: די זוימען שיכט—קאַנדאַקטיוו "בריק" פון מעטאַליזאַציע
א טיפישער TGV פראצעס באשטייט פון:
גלאז סאַבסטראַט צוגרייטונג → פּרעציזיע דורך בויער → זוימען שיכט דעפּאַזישאַן → עלעקטראָפּלייטינג פּלאָמבירן → ייבערפלאַך פּלאַנאַריזאַציע.
די זוימען-שיכט איז אין עיקר א זייער דין קאנדוקטיוו פילם וואס ווערט אפגעזעצט אויף די אינעווייניגסטע ווענט פון נישט-קאנדוקטיווע גלאז וויאס. אויב די TGV סטרוקטור ווערט באטראכט ווי א ווערטיקאלע "בריק" פאר עלעקטרישע פארבינדונג, דעמאלט די זוימען-שיכט דינט ווי דער ערשטער שטאל קאבל וואס פאראנקערט יענעם בריק. אן דעם, קען די שפעטערדיגע עלעקטראפלאטינג נישט אנפאנגען, און איינהייטליכע מעטאליזאציע אינעווייניג פון די וויא ווערט אוממעגלעך.
אבער, די קוואַליטעט פון די דעפּאָזיציע פון דעם שיכט איז שטאַרק אָפּהענגיק פון דער געאָמעטרישער מאָרפאָלאָגיע פון דער וויאַ אַליין. פֿאַרשידענע וויאַ פֿאָרמען פֿירן צו באַזונדערע שוועריקייטן אין דערגרייכן אַ גלייכמעסיקע באַדעקונג פון זוימען שיכטן.
2. דורך מאָרפאָלאָגיע: די לעצט אַרויסרופן פֿאַר איינהייטלעכער זוימען שיכט קאַווערידזש
TGV וויא פּראָפֿילן זענען אַנדערש לויטן דרילינג און עטשינג פּראָצעס. געוויינטלעכע געאָמעטריעס אַרייַננעמען פּעפּערל-שייפּט, בלינד, ווערטיקאַל, און V-שייפּט וויאַס, יעדער שטעלט באַזונדערע דעפּאָזיציע שוועריקייטן:
באַטערפליי דורך: דער פארענגטער מיטל-טייל פאראורזאכט א שאָטן-עפעקט, וואָס פאַרהיט מעטאַל אַטאָמען פון דערגרייכן דעם צענטראַלן געגנט. דאָס רעזולטירט אין נישט-באדעקטע "טויט זאָנעס" וואו עלעקטראָפּלייטינג קאָנטינויִטעט גייט פאַרלוירן.
בלינדע דורך: מיט אַ פארמאכטן דנאָ, איז דער גאַז פלוס באַגרענעצט און די יאָן ענערגיע ווערט שוואַכער, וואָס פירט צו דין און שלעכט אַדכירענט פילמען וואָס קענען דעלאַמינירן אונטער ווייטערדיקן פּראָצעס דרוק.
ווערטיקאַלע וויאַ: כאַראַקטעריזירט דורך אַ הויך אַספּעקט פאַרהעלטעניש און גלייכע זייטווענט, מעטאַל אַטאָמען אַרומפאָרן לינעאַר און אָפט פאַרלאָזן צו באַדעקן די וויאַ דנאָ אַדאַקוואַטלי, פּראַדוסינג ינקאַמפּליט קאַנדאַקטיוו פּאַטס אָדער פּלייטינג ליידיידזשיז.
V-פאָרעם דורך: דער קאָנישער פּראָפיל פֿאַרבעסערט די איינהייטלעכקייט פֿון דעפּאָזיציע ווינקל ביז אַ געוויסער מאָס, אָבער איבערגעטריבענע קאָנישעראַציע קען פֿאַראורזאַכן נישט-איינהייטלעכקייט פֿון פֿילם גרעב און סטרעס קאָנצענטראַציע, וואָס פֿאַרערגערט די אינטעגריטעט פֿון סיגנאַל.
אין אלע פעלער, איז די הויפט אויפגאבע צו דערגרייכן א קאנטינעווירלעכע, איינהייטלעכע, און גוט-אנגעקלעבעטע מעטאל באדעקונג אויף הויך-אספּעקט-פארהעלטעניש גלאז סערפאסעס מיט אינהערענט נידעריקע סערפאס ענערגיע. יעדע דיסקאנטינעווירלעכקייט אדער שלעכטע אנקלעבונג אין די זוימען שיכט פירט צו ליידיגע ערטער, ריסן, אדער דעלאמינאציע בעת עלעקטראפלאטינג, וואס רעזולטירט אין פארגרעסערטע פארבינדונג קעגנשטאנד, סיגנאל פארשפעטיגונג, אדער גאנצע דעווייס דורכפאל.
צו אַדרעסירן די שוועריקייטן דאַרף מען הויך-פּרעציציע, הויך-סטאַביליטעט וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט וואָס איז טויגעוודיק צו דערגרייכן טיף-וויאַ מעטאַליזאַציע. דאָס איז וואו ZHENHUA Vacuum'ס TGV קאָוטינג לייזונג קומט אין שפּיל.
3. זשענהואַ וואַקוום'ס TGV דורך מעטאַליזאַציע לייזונג
עקוויפּמענט אַדוואַנטאַגעס:
טיף-וויאַ קאָוטינג אָפּטימיזאַציע
פּראַפּריעטאַרי טיף-לאָך קאָוטינג טעכנאָלאָגיע ערמעגליכט מונדיר זוימען שיכט דעפּאַזישאַן אפילו פֿאַר וויאַס מיט דיאַמעטערס אַזוי קליין ווי 30 μm, דערגרייכנדיק אַספּעקט פאַרהעלטענישן אַרויף צו 10:1 און עפעקטיוולי סאַלווינג מעטאַליזאַציע פּראָבלעמען אין קאָמפּלעקס 3D וויאַ סטראַקטשערז.
קאַסטאַמייזאַבאַל פֿאַר פֿאַרשידענע סאַבסטראַט סיזעס
קאָמפּאַטיבל מיט גלאָז סאַבסטראַטן פון 600 × 600 מם, 510 × 515 מם, און גרעסערע פֿאָרמאַטן צו טרעפן פֿאַרשידענע פּראָדוקציע רעקווייערמענץ.
פּראָצעס בייגיקייט אַריבער קייפל מאַטעריאַלס
שטיצט די דעפּאָזיציע פון Cu, Ti, W, Ni, Pt און אַנדערע קאַנדאַקטיווע אָדער פאַנגקשאַנאַלע דין פילמען, וואָס באַפרידיקן פאַרשידענע עלעקטרישע און קעראָוזשאַן-קעגנשטעל באדערפענישן.
סטאַביל פאָרשטעלונג און גרינג וישאַלט
אויסגעשטאַט מיט אַן אינטעליגענטער קאָנטראָל סיסטעם פֿאַר אויטאָמאַטישער פּאַראַמעטער טונינג און רעאַל-צייט פֿילם גרעב מאָניטאָרינג. מאַדזשאַלער פּלאַן גאַראַנטירט פאַרפּשוטעטער וישאַלט און פאַרקלענערטע דאַונטיים.
אַפּליקאַציע פאַרנעם:
פּאַסיק פֿאַר TGV/TSV/TMV אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג, וואָס ערמעגליכט הויך-קוואַליטעט זוימען שיכט קאָוטינג אין וויאַס מיט אַספּעקט פאַרהעלטענישן ביז 10:1.
מסקנא: באַהערשן די זוימען שיכט - אַ שריט צו אמת 3D אינטעגראַציע
דער ווערט פון TGV טעכנאָלאָגיע ליגט ניט נאָר אין צושטעלן אַ נייעם ווערטיקאַלן פֿאַרבינדונג קאַנאַל, נאָר אין ערמעגלעכן אַן עכטע דריי-דימענסיאָנאַלע פֿאַרבינדונג אַרכיטעקטור.
אין צענטער פון דעם איבערגאַנג, בלייבט זוימען שיכט מעטאַליזאַציע דער מערסט קריטישער אָבער אָפט איבערגעקוקטער פּראָצעס.
נאָר ווען די אומזעיקבארע "קאַנדאַקטיווע יסוד" דערגרייכט איינהייטלעכקייט, געדיכטקייט און שטאַרקע אַדכיזשאַן, קען די דערנאָך עלעקטראָפּלייטינג און ינטערקאַנעקט פאָרשטעלונג זיין געוואָרנט. דערגרייכן הויך-קוואַליטעט מעטאַל דעפּאַזישאַן אין מיקראָן-וואָג גלאז וויאַס איז אַזוי געוואָרן אַ דעפינירנדיקער בענטשמאַרק פון אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג קייפּאַבילאַטי.
דורך קאנטינעווירלעכע פראצעס-ינאוועציע און עקוויפמענט-עוואלוציע, צושטעלט ZHENHUA Vacuum פארלעסלעכע, הויך-טראגן TGV טיף-וויא קאוטינג לייזונגען, וואס געבט די מעגלעכקייט פארפאקונג פאבריקאנטן צו גיין זיכער פון פּילאָט-פארזאמלונגען צו מאסן-פראדוקציע, און פארשנעלערט די פולע רעאליזאציע פון 3D אינטעגראציע.
אין אַן עפאכע געטריבן דורך שטענדיק-וואַקסנדיקע קאָמפּיוט-מאַכט און אינטעגראַציע געדיכטקייט, איז דאָס מער ווי אַן אויסשטאַטונג אין עקוויפּמענט - עס רעפּרעזענטירט אַ באַשטימענדיקן שריט צו דער צייַטיקייט פון דער קומענדיקער דור 3D פּאַקאַדזשינג טעכנאָלאָגיע.
—דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט געוואָרן דורךוואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענטפאַבריקאַנט זשענהואַ וואַקוום
פּאָסט צייט: 13טן אָקטאָבער 2025