אן הקדמה צו וואַקוום קאָוטינג

פארוואס ניצן אַ וואַקוום?
פאַרהיטן קאָנטאַמינאַציע: אין אַ וואַקוום, די אַוועק פון לופט און אנדערע גאַזן פאַרהיט די דעפּאַזישאַן מאַטעריאַל פון רעאַגירן מיט אַטמאָספערישע גאַזן, וואָס קען קאָנטאַמינירן דעם פילם.
פֿאַרבעסערטע אַדכעזשאַן: דער מאַנגל פֿון לופֿט מיינט אַז דער פֿילם אַדכירט זיך גלייך צום סאַבסטראַט אָן לופֿט פּאַקאַץ אָדער אַנדערע אינטערסטיציעלע גאַזן וואָס קענען שוואַכן די בונד.
פילם קוואַליטעט: וואַקוום באדינגונגען ערמעגלעכן בעסערע קאָנטראָל איבער דעם דעפּאָזיציע פּראָצעס, וואָס רעזולטירט אין מער מונדיר און העכער-קוואַליטעט פילמען.
נידעריק-טעמפּעראַטור דעפּאַזישאַן: עטלעכע מאַטעריאַלן וואָלטן צעפאַלן אָדער רעאַגירן ביי די טעמפּעראַטורן וואָס זענען נויטיק פֿאַר דעפּאַזישאַן אויב זיי זענען אויסגעשטעלט צו אַטמאָספערישע גאַזן. אין אַ וואַקוום, קענען די מאַטעריאַלן דעפּאַזיטירט ווערן ביי נידעריקערע טעמפּעראַטורן.
טיפּן פון וואַקוום קאָוטינג פּראַסעסאַז
פיזישע פארע דעפאזיציע (PVD)
טערמישע פארדאַמפּונג: מאַטעריאַל ווערט געהייצט אין אַ וואַקוום ביז עס פארדאַמפּט און דאַן קאָנדענסירט אויף דעם סאַבסטראַט.
שפּאַטערינג: אַ הויך-ענערגיע יאָן שטראַל באָמבאַרדירט ​​אַ ציל מאַטעריאַל, וואָס פאַראורזאַכט אַטאָמען צו ווערן אַרויסגעוואָרפן און דעפּאַזיטירט אויף די סאַבסטראַט.
פּולסירטע לאַזער דעפּאַזישאַן (PLD): א הויך-מאַכט לאַזער שטראַל ווערט גענוצט צו פארדאַמפּפן מאַטעריאַל פון אַ ציל, וואָס דאַן קאָנדענסירט אויף דעם סאַבסטראַט.
כעמישע פארע דעפאזיציע (CVD)
נידעריק דרוק CVD (LPCVD): דורכגעפירט ביי רעדוצירטן דרוק צו נידעריגערן טעמפּעראַטורן און פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט.
פּלאַזמע-פאַרשטאַרקטע CVD (PECVD): ניצט אַ פּלאַזמע צו אַקטיווירן כעמישע רעאַקציעס ביי נידעריקערע טעמפּעראַטורן ווי טראַדיציאָנעלע CVD.
אַטאָמישע שיכט דעפּאַזישאַן (ALD)
ALD איז אַ טיפּ CVD וואָס דעפּאָזיטירט פֿילמען איין אַטאָמישע שיכט אין אַ צייט, וואָס גיט ויסגעצייכנטע קאָנטראָל איבער פילם גרעב און זאַץ.

עקוויפּמענט געניצט אין וואַקוום קאָוטינג
וואַקוום קאַמער: די הויפּט קאָמפּאָנענט וואו דער קאָוטינג פּראָצעס נעמט אָרט.
וואַקוום פּאָמפּעס: צו שאַפֿן און וישאַלטן די וואַקוום סביבה.
סאַבסטראַט האָלדער: צו האַלטן דעם סאַבסטראַט אין פּלאַץ בעת דעם קאָוטינג פּראָצעס.
פארדאַמפּונג אָדער שפּריצן קוועלער: דיפּענדינג אויף די PVD מעטאָד געניצט.
מאַכט סאַפּלייז: פֿאַר אַפּלייינג ענערגיע צו די פארדאַמפּונג קוואלן אָדער פֿאַר דזשענערייטינג אַ פּלאַזמע אין PECVD.
טעמפּעראַטור קאָנטראָל סיסטעמען: פֿאַר הייצן סאַבסטראַטן אָדער קאָנטראָלירן די פּראָצעס טעמפּעראַטור.
מאָניטאָרינג סיסטעמען: צו מעסטן גרעב, איינהייטלעכקייט, און אַנדערע אייגנשאַפטן פון די דעפּאָזיטירטע פילם.
אַפּליקאַציעס פון וואַקוום קאָוטינג
אָפּטישע קאָוטינגז: פֿאַר אַנטי-רעפלעקטיוו, רעפלעקטיוו, אָדער פילטער קאָוטינגז אויף לענסעס, שפּיגלען, און אנדערע אָפּטישע קאָמפּאָנענטן.
דעקאָראַטיווע קאָוטינגז: פֿאַר אַ ברייט קייט פון פּראָדוקטן, אַרייַנגערעכנט צירונג, זייגערס און אָטאָמאָטיוו טיילן.
שווערע באַדעקונגען: צו פֿאַרבעסערן טראָגן קעגנשטעל און געווער אויף קאַטינג מכשירים, מאָטאָר קאַמפּאָונאַנץ און מעדיציניש דעוויסעס.
באַריער קאָוטינגז: צו פאַרמייַדן קעראָוזשאַן אָדער דורכדרינגונג אויף מעטאַל, פּלאַסטיק אָדער גלאָז סאַבסטראַטעס.
עלעקטראָנישע קאָוטינגז: פֿאַר דער פּראָדוקציע פון ​​אינטעגרירטע קרייזן, זונ - צעלן און אַנדערע עלעקטראָנישע דעוויסעס.
מעלות פון וואַקוום קאָוטינג
פּרעציזיע: וואַקוום קאָוטינג אַלאַוז פֿאַר פּינקטלעך קאָנטראָל איבער פילם גרעב און זאַץ.
איינהייטלעכקייט: פילמען קענען ווערן איינגעווארצלט גלייך איבער קאמפליצירטע פארמען און גרויסע שטחים.
עפעקטיווקייט: דער פּראָצעס קען זיין העכסט אויטאָמאַטיזירט און איז פּאַסיק פֿאַר גרויסע פּראָדוקציע.
ענווייראָנמענטאַל פרײַנדלעכקייט: וואַקוום קאָוטינג ניצט טיפּיש ווייניקער כעמיקאַלן און פּראָדוצירט ווייניקער אָפּפאַל ווי אַנדערע קאָוטינג מעטאָדן.

–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ