Giới thiệu về lớp phủ chân không

Tại sao nên sử dụng máy hút bụi?
Ngăn ngừa ô nhiễm: Trong điều kiện chân không, việc không có không khí và các loại khí khác sẽ ngăn cản vật liệu lắng đọng phản ứng với các loại khí trong khí quyển, có thể làm ô nhiễm màng phim.
Độ bám dính được cải thiện: Việc không có không khí có nghĩa là màng phim bám trực tiếp vào chất nền mà không có túi khí hoặc các khí kẽ khác có thể làm yếu liên kết.
Chất lượng màng: Điều kiện chân không cho phép kiểm soát tốt hơn quá trình lắng đọng, tạo ra màng đồng đều hơn và chất lượng cao hơn.
Lắng đọng ở nhiệt độ thấp: Một số vật liệu sẽ phân hủy hoặc phản ứng ở nhiệt độ cần thiết để lắng đọng nếu chúng tiếp xúc với khí quyển. Trong chân không, những vật liệu này có thể được lắng đọng ở nhiệt độ thấp hơn.
Các loại quy trình phủ chân không
Lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Bốc hơi nhiệt: Vật liệu được nung nóng trong chân không cho đến khi bay hơi và sau đó ngưng tụ trên bề mặt.
Phun xạ: Chùm ion năng lượng cao bắn phá vật liệu mục tiêu, khiến các nguyên tử bị đẩy ra và lắng đọng trên chất nền.
Công nghệ lắng đọng bằng tia laser xung (PLD): Chùm tia laser công suất cao được sử dụng để làm bay hơi vật liệu từ mục tiêu, sau đó ngưng tụ trên chất nền.
Lắng đọng hơi hóa học (CVD)
CVD áp suất thấp (LPCVD): Thực hiện ở áp suất thấp để giảm nhiệt độ và cải thiện chất lượng màng.
CVD tăng cường plasma (PECVD): Sử dụng plasma để kích hoạt các phản ứng hóa học ở nhiệt độ thấp hơn so với CVD truyền thống.
Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)
ALD là một loại CVD lắng đọng màng từng lớp nguyên tử một, cho phép kiểm soát tuyệt vời độ dày và thành phần của màng.

Thiết bị sử dụng trong lớp phủ chân không
Buồng chân không: Bộ phận chính diễn ra quá trình phủ.
Máy bơm chân không: Tạo và duy trì môi trường chân không.
Giá đỡ chất nền: Giữ chất nền cố định tại chỗ trong quá trình phủ.
Nguồn bay hơi hoặc phun: Tùy thuộc vào phương pháp PVD được sử dụng.
Nguồn điện: Để cung cấp năng lượng cho các nguồn bay hơi hoặc để tạo ra plasma trong PECVD.
Hệ thống kiểm soát nhiệt độ: Để làm nóng chất nền hoặc kiểm soát nhiệt độ của quy trình.
Hệ thống giám sát: Để đo độ dày, độ đồng đều và các đặc tính khác của màng phủ.
Ứng dụng của lớp phủ chân không
Lớp phủ quang học: Dùng để phủ lớp chống phản xạ, phản chiếu hoặc lọc trên thấu kính, gương và các thành phần quang học khác.
Lớp phủ trang trí: Dành cho nhiều loại sản phẩm, bao gồm đồ trang sức, đồng hồ và phụ tùng ô tô.
Lớp phủ cứng: Cải thiện khả năng chống mài mòn và độ bền của dụng cụ cắt, bộ phận động cơ và thiết bị y tế.
Lớp phủ chắn: Để ngăn ngừa sự ăn mòn hoặc thẩm thấu trên bề mặt kim loại, nhựa hoặc thủy tinh.
Lớp phủ điện tử: Dùng để sản xuất mạch tích hợp, pin mặt trời và các thiết bị điện tử khác.
Ưu điểm của lớp phủ chân không
Độ chính xác: Phủ chân không cho phép kiểm soát chính xác độ dày và thành phần của màng sơn.
Tính đồng nhất: Màng phim có thể được phủ đều trên các hình dạng phức tạp và diện tích lớn.
Hiệu quả: Quá trình này có thể được tự động hóa ở mức độ cao và phù hợp với sản xuất khối lượng lớn.
Thân thiện với môi trường: Phương pháp phủ chân không thường sử dụng ít hóa chất hơn và tạo ra ít chất thải hơn các phương pháp phủ khác.

– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa