Neden Vakum Kullanılır?
Kirlenmenin Önlenmesi: Vakumda, hava ve diğer gazların olmaması, biriktirme malzemesinin atmosferik gazlarla reaksiyona girmesini ve bunun da filmi kirletmesini önler.
Gelişmiş Yapışma: Hava eksikliği, filmin, bağı zayıflatabilecek hava cepleri veya diğer ara gazlar olmadan doğrudan alt tabakaya yapışması anlamına gelir.
Film Kalitesi: Vakum koşulları biriktirme süreci üzerinde daha iyi kontrol sağlar, bunun sonucunda daha düzgün ve daha yüksek kaliteli filmler elde edilir.
Düşük Sıcaklıkta Biriktirme: Bazı malzemeler, atmosferik gazlara maruz kalırlarsa biriktirme için gereken sıcaklıklarda ayrışır veya reaksiyona girerler. Vakumda, bu malzemeler daha düşük sıcaklıklarda biriktirilebilir.
Vakum Kaplama İşlemlerinin Türleri
Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD)
Termal Buharlaşma: Malzeme vakumda ısıtılarak buharlaştırılır ve daha sonra alt tabaka üzerinde yoğunlaşır.
Püskürtme: Yüksek enerjili bir iyon demeti hedef malzemeye çarparak atomların fırlatılıp alt tabakaya birikmesine neden olur.
Darbeli Lazer Biriktirme (PLD): Yüksek güçlü bir lazer ışını, hedefteki malzemeyi buharlaştırmak ve ardından alt tabaka üzerinde yoğunlaştırmak için kullanılır.
Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD)
Düşük Basınçlı CVD (LPCVD): Düşük basınçta, sıcaklıkları düşürmek ve film kalitesini artırmak için gerçekleştirilir.
Plazma Destekli CVD (PECVD): Geleneksel CVD'den daha düşük sıcaklıklarda kimyasal reaksiyonları etkinleştirmek için plazma kullanılır.
Atomik Katman Birikimi (ALD)
ALD, filmleri birer atomik katman halinde biriktiren bir CVD türüdür ve film kalınlığı ve bileşimi üzerinde mükemmel bir kontrol sağlar.
Vakum Kaplamada Kullanılan Ekipmanlar
Vakum Odası: Kaplama işleminin gerçekleştiği ana komponenttir.
Vakum Pompaları: Vakum ortamını oluşturmak ve korumak için.
Altlık Tutucu: Kaplama işlemi sırasında altlığı yerinde tutmak için.
Buharlaşma veya Püskürtme Kaynakları: Kullanılan PVD yöntemine bağlıdır.
Güç Kaynakları: Buharlaştırma kaynaklarına enerji uygulamak veya PECVD'de plazma oluşturmak için.
Sıcaklık Kontrol Sistemleri: Substratların ısıtılması veya proses sıcaklığının kontrol edilmesi için.
İzleme Sistemleri: Biriktirilen filmin kalınlığını, düzgünlüğünü ve diğer özelliklerini ölçmek için.
Vakum Kaplamanın Uygulamaları
Optik Kaplamalar: Mercekler, aynalar ve diğer optik bileşenler üzerindeki yansıma önleyici, yansıtıcı veya filtre kaplamaları için.
Dekoratif Kaplamalar: Mücevher, saat ve otomotiv parçaları da dahil olmak üzere geniş bir ürün yelpazesi için.
Sert Kaplamalar: Kesici takımlar, motor parçaları ve tıbbi cihazlarda aşınma direncini ve dayanıklılığı artırmak için.
Bariyer Kaplamalar: Metal, plastik veya cam yüzeylerde korozyonu veya geçirgenliği önlemek için.
Elektronik Kaplamalar: Entegre devreler, güneş pilleri ve diğer elektronik cihazların üretiminde kullanılır.
Vakum Kaplamanın Avantajları
Hassasiyet: Vakum kaplama, film kalınlığı ve bileşimi üzerinde hassas kontrol sağlar.
Tekdüzelik: Filmler karmaşık şekiller ve geniş alanlar üzerine eşit olarak biriktirilebilir.
Verimlilik: Süreç yüksek oranda otomasyona tabi tutulabilir ve yüksek hacimli üretime uygundur.
Çevre Dostu: Vakumlu kaplama, diğer kaplama yöntemlerine göre daha az kimyasal kullanır ve daha az atık üretir.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 15-Ağu-2024