Inçe plýonka çökündisi ýarymgeçirijiler senagatynda, şeýle hem material ylmynyň we inženerçiliginiň köp beýleki ugurlarynda ulanylýan esasy prosesdir. Ol substratda inçe material gatlagynyň döredilmegini öz içine alýar. Çökündi plýonkalaryň galyňlygy dürli bolup biler, bary-ýogy birnäçe atom gatlagyndan birnäçe mikrometr galyňlygyna çenli. Bu plýonkalar elektrik geçirijileri, izolýatorlar, optiki örtükler ýa-da gorag päsgelçilikleri ýaly köp maksatlara hyzmat edip biler.
Inçe plýonka çökündileriniň esasy usullary:
Fiziki bug çökündisi (PVD)
Püskürtme: Ýokary energiýaly ion şöhlesi nyşana alnan materialdan atomlary zyňmak üçin ulanylýar, soňra ol substrata çökýär.
Bugaryş:** Material bugarýança wakuumda gyzdyrylýar, soňra bolsa bug substratda kondensasiýa bolýar.
Atom Gatlagynyň Çökmegi (ALD)
ALD, plyonkanyň substratda bir atom gatlagynda ösdürilip ýetişdirilýän usulydyr. Ol ýokary derejede gözegçilik edilýär we örän takyk we konformal plyonkalary döredip bilýär.
Molekulýar Şöhle Epitaksiýasy (MBE)
MBE epitaksial ösüş usuly bolup, onda atomlaryň ýa-da molekulalaryň şöhleleri gyzdyrylan substrata gönükdirilip, kristal inçe plýonka emele getirýär.
Inçe plýonka çökdürmegiň artykmaçlyklary
Güýçlendirilen funksionallyk: Plýonkalar substrata täze häsiýetleri, meselem, dyrnaklara garşylyk ýa-da elektrik geçirijiligini berip biler.
Material sarp edilişiniň azaldylmagy: Minimal material sarp edilişi bilen çylşyrymly enjamlary döretmäge mümkinçilik berýär we çykdajylary azaldýar.
Özleşdirme: Plýonkalar belli bir mehaniki, elektrik, optiki ýa-da himiki häsiýetlere eýe bolmak üçin özleşdirilip bilner.
Programmalar
Ýarymgeçiriji enjamlar: Tranzistorlar, integral mikroshemalar we mikroelektromehaniki ulgamlar (MEMS).
Optiki örtükler: Linzalarda we gün batareýalarynda şöhle gaýtarmaýan we ýokary şöhle gaýtarmaýan örtükler.
Gorag örtükleri: Gurallaryň we enjamlaryň poslamasynyň ýa-da aşynmagynyň öňüni almak üçin.
Biolukmançylyk ulanylyşlary: Lukmançylyk implantlaryna ýa-da derman eltme ulgamlaryna örtükler.
Çökdürme usulyny saýlamak ulanylyşyň anyk talaplaryna, şol sanda çökdürilmeli materialyň görnüşine, islenýän plýonka häsiýetlerine we çykdajy çäklendirmelerine baglydyr.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 15-nji awgusty