Imọ-ẹrọ Ifihan Fiimu Tinrin

Ìfipamọ́ fíìmù tín-tín jẹ́ ìlànà pàtàkì tí a ń lò nínú iṣẹ́ semiconductor, àti ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ẹ̀ka ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì àti ìmọ̀ ẹ̀rọ. Ó ní í ṣe pẹ̀lú ṣíṣẹ̀dá fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ ohun èlò lórí ohun èlò. Àwọn fíìmù tí a fi pamọ́ lè ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìwúwo, láti ìwọ̀n atomiki díẹ̀ sí ìwọ̀n micrometers nípọn. Àwọn fíìmù wọ̀nyí lè ṣiṣẹ́ fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ète, bí àwọn atọ́nà iná mànàmáná, àwọn insulators, àwọn ìbòrí optical, tàbí àwọn ìdènà ààbò.

Àwọn ọ̀nà pàtàkì tí a lò fún ìfìhàn fíìmù díẹ̀ nìyí:
Ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ ti ara (PVD)
Ìfọ́nká: A máa ń lo ìtànṣán ion alágbára gíga láti gbá àwọn átọ̀mù kúrò lórí ohun èlò tí a fẹ́ lò, èyí tí yóò wá di sí orí ohun èlò náà.
Ìtújáde:** A máa gbóná ohun èlò náà nínú afẹ́fẹ́ títí tí yóò fi gbẹ, lẹ́yìn náà afẹ́fẹ́ náà yóò di pátápátá lórí ilẹ̀ náà.
Ipò Ìfìwéránṣẹ́ Atomu (ALD)
ALD jẹ́ ọ̀nà kan tí a ti ń gbin fíìmù kan sí orí ìpele atomiki kan ní àkókò kan. Ó ní ìṣàkóso gíga, ó sì lè ṣẹ̀dá àwọn fíìmù tí ó péye àti tí ó báramu.
Ìwọ̀n Ìlà Mọ́kúlúùlù (MBE)
MBE jẹ́ ọ̀nà ìdàgbàsókè epitaxial níbi tí a ti darí àwọn ìtànṣán àwọn átọ̀mù tàbí àwọn mọ́lẹ́kúlù sí orí ohun èlò tí a gbóná láti ṣẹ̀dá fíìmù tín-ín-rín tín-ín-rín kan.
Àwọn Àǹfààní ti Ìfihàn Fíìmù Tínrin
Iṣẹ́ tó dára síi: Àwọn fíìmù lè pèsè àwọn ohun tuntun fún ohun èlò náà, bí ìdènà ìfọ́ tàbí ìfàmọ́ra iná mànàmáná.
Dínkù lílo ohun èlò: Ó gba ààyè fún ṣíṣẹ̀dá àwọn ẹ̀rọ dídíjú pẹ̀lú lílo ohun èlò díẹ̀, èyí tí ó dín owó kù.
Ṣíṣe àtúnṣe: A lè ṣe àwọn fíìmù láti ní àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ, iná mànàmáná, opitika, tàbí kẹ́míkà pàtó.
Àwọn ohun èlò ìlò
Àwọn ẹ̀rọ Semiconductor: Àwọn transistors, àwọn iyika integrated, àti àwọn ètò microelectromechanical (MEMS).
Àwọn ìbòrí ojú: Àwọn ìbòrí tí ó ń dènà ìtànṣán àti tí ó ń tànṣán gíga lórí àwọn lẹ́ńsì àti àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn.
Àwọn ìbòrí ààbò: Láti dènà ìbàjẹ́ tàbí ìbàjẹ́ lórí àwọn irinṣẹ́ àti ẹ̀rọ.
Àwọn ohun èlò ìṣègùn onímọ̀ nípa ìlera: Àwọn ìbòrí lórí àwọn ohun èlò ìtọ́jú ìṣègùn tàbí àwọn ètò ìfijiṣẹ́ oògùn.
Yíyàn ọ̀nà ìfipamọ́ da lórí àwọn ohun pàtó tí a fẹ́ lò, títí kan irú ohun èlò tí a fẹ́ fi sílé, àwọn ohun ìní fíìmù tí a fẹ́, àti àwọn ìdíwọ̀n owó tí a kò fẹ́.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua