Нечкә пленка урнаштыру технологиясе

Нечкә пленка урнаштыру - ярымүткәргечләр сәнәгатендә, шулай ук ​​материаллар фәне һәм инженериясенең башка күп өлкәләрендә кулланыла торган төп процесс. Ул субстратта нечкә материал катламы булдыруны үз эченә ала. Чөктерелгән пленкалар төрле калынлыктагы булырга мөмкин, берничә атом катламыннан алып берничә микрометр калынлыгына кадәр. Бу пленкалар электр үткәргечләре, изоляторлар, оптик каплаулар яки саклагыч киртә кебек күп максатларга хезмәт итә ала.

Нечкә пленка урнаштыру өчен кулланыла торган төп ысуллар:
Физик пар утырту (PVD)
Сиптерү: Югары энергияле ион нуры максат материалыннан атомнарны бәреп төшерү өчен кулланыла, аннары ул субстратка утыра.
Парга әйләнү:** Материал вакуумда парга әйләнгәнче җылытыла, аннары пар нигездә конденсацияләнә.
Атом катламы утырмасы (ALD)
ALD - пленканы берьюлы бер атом катламы белән субстратта үстерә торган техника. Ул югары дәрәҗәдә контрольдә тотыла һәм бик төгәл һәм конформ пленкалар булдыра ала.
Молекуляр нур эпитаксисы (MBE)
MBE - эпитаксиаль үсеш ысулы, анда атомнар яки молекулалар нурлары җылытылган субстратка юнәлтелеп, кристалл юка пленка барлыкка китерә.
Нечкә пленка урнаштыруның өстенлекләре
Киңәйтелгән функциональлек: Пленкалар нигезгә яңа үзенчәлекләр бирә ала, мәсәлән, тырналуга чыдамлык яки электр үткәрүчәнлеге.
Материал куллануны киметү: Бу чыгымнарны киметеп, минималь материал куллану белән катлаулы җайланмалар булдырырга мөмкинлек бирә.
Шәхси көйләү: Пленкаларны билгеле бер механик, электр, оптик яки химик үзлекләргә ия булырлык итеп көйләргә мөмкин.
Кушымталар
Ярымүткәргеч җайланмалар: Транзисторлар, интеграль схемалар һәм микроэлектромеханик системалар (МЭМС).
Оптик каплаулар: Линзаларда һәм кояш батареяларында чагылышка каршы һәм югары чагылышлы каплаулар.
Саклагыч капламалар: коралларда һәм җиһазларда коррозия яки тузуны булдырмас өчен.
Биомедицина кушымталары: Медицина имплантатларына яки дару җибәрү системаларына каплаулар.
Чүпләү техникасын сайлау куллануның конкрет таләпләренә, шул исәптән чүпләнергә тиешле материал төренә, пленканың теләгән үзенчәлекләренә һәм чыгым чикләүләренә бәйле.

–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа