Нимгэн хальсан хуримтлалын технологи

Нимгэн хальсан тунадасжуулалт нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд болон материалын шинжлэх ухаан, инженерчлэлийн бусад олон салбарт хэрэглэгддэг үндсэн үйл явц юм. Энэ нь суурь дээр нимгэн материалын давхарга үүсгэхийг хамардаг. Тунасан хальснууд нь хэдхэн атомын давхаргаас хэдэн микрометр зузаан хүртэл өргөн хүрээний зузаантай байж болно. Эдгээр хальснууд нь цахилгаан дамжуулагч, тусгаарлагч, оптик бүрхүүл эсвэл хамгаалалтын хаалт гэх мэт олон зорилгоор үйлчилж болно.

Нимгэн хальсан бүрхүүлд ашигладаг үндсэн аргууд энд байна.
Физик ууршилтын тунадасжилт (PVD)
Шүрших: Өндөр энергитэй ионы цацрагийг бай материалаас атомуудыг цохиход ашигладаг бөгөөд дараа нь суурь дээр хуримтлагддаг.
Ууршилт:** Материалыг вакуум орчинд уурших хүртэл халааж, дараа нь уур нь суурь дээр конденсацлана.
Атомын давхаргын тунадасжилт (ALD)
ALD нь хальсыг нэг удаад нэг атомын давхарга дээр ургуулдаг арга юм. Энэ нь маш нарийн бөгөөд конформ хальс үүсгэх боломжтой.
Молекулын цацрагийн эпитакси (MBE)
MBE нь атом эсвэл молекулын цацрагийг халсан субстрат руу чиглүүлж талст нимгэн хальс үүсгэдэг эпитаксиал өсөлтийн арга юм.
Нимгэн хальсан хуримтлалын давуу талууд
Сайжруулсан функц: Кино нь зураасны эсэргүүцэл эсвэл цахилгаан дамжуулах чадвар гэх мэт суурь дээр шинэ шинж чанарыг өгч чадна.
Материалын хэрэглээг багасгах: Энэ нь материалын хэрэглээг хамгийн бага байлгаж, зардлыг бууруулж, нарийн төвөгтэй төхөөрөмжүүдийг бий болгох боломжийг олгодог.
Тохируулга: Киног тодорхой механик, цахилгаан, оптик эсвэл химийн шинж чанартай байхаар тохируулж болно.
Аппликейшнүүд
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд: Транзистор, интеграл хэлхээ, микроцахилгаан механик систем (MEMS).
Оптик бүрхүүл: Линз болон нарны зай хураагуур дээрх гэрэл тусгалын эсрэг болон өндөр гэрэл тусгалын бүрхүүл.
Хамгаалалтын бүрхүүл: Багаж хэрэгсэл, машин механизмын зэврэлт, элэгдэлээс урьдчилан сэргийлэх зориулалттай.
Биоанагаахын хэрэглээ: Эмнэлгийн суулгац эсвэл эм хүргэх систем дээрх бүрхүүл.
Хадгалах аргыг сонгох нь хэрэглээний тодорхой шаардлагаас хамаарна, үүнд хадгалах материалын төрөл, хүссэн хальсны шинж чанар, зардлын хязгаарлалт орно.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа