Déposisi pilem ipis mangrupikeun prosés dasar anu dianggo dina industri semikonduktor, ogé dina seueur widang élmu bahan sareng rékayasa anu sanés. Ieu ngalibatkeun nyiptakeun lapisan ipis bahan dina substrat. Pilem anu diendapkeun tiasa gaduh rupa-rupa ketebalan, ti ngan ukur sababaraha lapisan atom dugi ka sababaraha mikrométer kandelna. Pilem ieu tiasa ngalayanan seueur tujuan, sapertos konduktor listrik, insulator, palapis optik, atanapi panghalang pelindung.
Ieu metode utama anu dianggo pikeun déposisi pilem ipis:
Déposisi Uap Fisik (PVD)
Sputtering: Sinar ion énergi tinggi dianggo pikeun ngagebug atom tina bahan target, anu teras ngendap kana substrat.
Evaporasi:** Bahan dipanaskeun dina rohangan hampa dugi ka nguap, teras uapna ngembun dina substrat.
Déposisi Lapisan Atom (ALD)
ALD nyaéta téhnik dimana pilem dipelak dina substrat hiji lapisan atom dina hiji waktu. Éta dikontrol pisan sareng tiasa nyiptakeun pilem anu tepat pisan sareng konformal.
Epitaksi Sinar Molekul (MBE)
MBE nyaéta téhnik pertumbuhan epitaksial dimana sinar atom atawa molekul diarahkeun kana substrat anu dipanaskeun pikeun ngabentuk pilem ipis kristalin.
Kaunggulan Déposisi Film Ipis
Fungsi anu ditingkatkeun: Pilem tiasa nyayogikeun sipat énggal kana substrat, sapertos tahan goresan atanapi konduktivitas listrik.
Ngurangan panggunaan bahan: Ieu ngamungkinkeun pikeun nyiptakeun alat anu rumit kalayan panggunaan bahan anu minimal, anu ngirangan biaya.
Kustomisasi: Pilem tiasa disaluyukeun supados gaduh sipat mékanis, listrik, optik, atanapi kimia anu khusus.
Aplikasi
Alat semikonduktor: Transistor, sirkuit terpadu, sareng sistem mikroéléktromékanis (MEMS).
Palapis optik: Palapis anti-reflektif sareng palapis anu reflektif tinggi dina lénsa sareng sél surya.
Lapisan pelindung: Pikeun nyegah korosi atanapi karusakan dina alat sareng mesin.
Aplikasi biomédis: Lapisan dina implan médis atanapi sistem pangiriman ubar.
Pilihan téknik déposisi gumantung kana sarat khusus aplikasi, kalebet jinis bahan anu badé disimpen, sipat pilem anu dipikahoyong, sareng kendala biaya.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 15-Agu-2024