Жука пленкаларды чөктүрүү жарым өткөргүчтөр өнөр жайында, ошондой эле материал таануу жана инженериянын башка көптөгөн тармактарында колдонулган фундаменталдык процесс. Ал негизге жука материал катмарын түзүүнү камтыйт. Чөктүрүлгөн пленкалардын калыңдыгы ар кандай болушу мүмкүн, бир нече атомдук катмарлардан бир нече микрометрге чейин. Бул пленкалар электр өткөргүчтөрү, изоляторлор, оптикалык каптоолор же коргоочу тосмолор сыяктуу көптөгөн максаттарды аткара алат.
Жука пленкаларды жайгаштыруу үчүн колдонулган негизги ыкмалар:
Физикалык буу чөкмөсү (PVD)
Чачыратуу: жогорку энергиялуу иондук нур максаттуу материалдан атомдорду кулатуу үчүн колдонулат, андан кийин ал субстратка чөгөт.
Буулануу:** Материал вакуумда бууланганга чейин ысытылат, андан кийин буу субстраттын үстүндө конденсацияланат.
Атомдук катмардын чөкмөсү (ALD)
ALD – бул пленканы субстратта бир убакта бир атомдук катмар менен өстүрүү ыкмасы. Ал жогорку деңгээлде көзөмөлдөнөт жана абдан так жана конформдуу пленкаларды түзө алат.
Молекулярдык нур эпитаксиясы (MBE)
MBE - бул эпитаксиалдык өстүрүү ыкмасы, анда атомдордун же молекулалардын нурлары ысытылган субстратка багытталып, кристаллдык жука пленканы пайда кылат.
Жука пленка менен каптоонун артыкчылыктары
Өркүндөтүлгөн функция: Плёнкалар негизге жаңы касиеттерди, мисалы, тырмалууга туруктуулук же электр өткөрүмдүүлүгүн бере алат.
Материалды колдонууну азайтуу: Бул чыгымдарды азайтып, материалды минималдуу колдонуу менен татаал түзүлүштөрдү түзүүгө мүмкүндүк берет.
Ыңгайлаштыруу: Плёнкаларды белгилүү бир механикалык, электрдик, оптикалык же химиялык касиеттерге ээ кылуу үчүн ылайыкташтырууга болот.
Колдонмолор
Жарым өткөргүч түзүлүштөр: Транзисторлор, интегралдык микросхемалар жана микроэлектромеханикалык системалар (МЭМС).
Оптикалык каптоолор: Линзалардагы жана күн батареяларындагы чагылдырууга каршы жана жогорку чагылдыруучу каптоолор.
Коргоочу каптоолор: шаймандардын жана техниканын коррозиясын же эскирүүсүн алдын алуу үчүн.
Биомедициналык колдонмолор: медициналык имплантаттарга же дары-дармек жеткирүү системаларына каптоолор.
Чөктүрүү ыкмасын тандоо колдонуунун конкреттүү талаптарына, анын ичинде чөктүрүлө турган материалдын түрүнө, каалаган пленканын касиеттерине жана баа чектөөлөрүнө жараша болот.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 15-августу