ເຕັກໂນໂລຊີການຕົກຕະກອນຟິມບາງ

ການວາງຊັ້ນຟິມບາງໆເປັນຂະບວນການພື້ນຖານທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບໃນຫຼາຍໆຂົງເຂດຂອງວິທະຍາສາດວັດສະດຸ ແລະ ວິສະວະກໍາ. ມັນກ່ຽວຂ້ອງກັບການສ້າງຊັ້ນບາງໆຂອງວັດສະດຸຢູ່ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ຟິມທີ່ວາງໄວ້ສາມາດມີຄວາມໜາຫຼາກຫຼາຍ, ຕັ້ງແຕ່ພຽງແຕ່ສອງສາມຊັ້ນອະຕອມຈົນເຖິງຫຼາຍໄມໂຄຣແມັດ. ຟິມເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຮັບໃຊ້ຈຸດປະສົງຫຼາຍຢ່າງ, ເຊັ່ນ: ຕົວນໍາໄຟຟ້າ, ສານກັນຄວາມຮ້ອນ, ການເຄືອບແສງ, ຫຼື ສິ່ງກີດຂວາງປ້ອງກັນ.

ນີ້ແມ່ນວິທີການຫຼັກທີ່ໃຊ້ສຳລັບການວາງຟິມບາງໆ:
ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD)
ການສະເປຣດເຕີຣິງ: ລຳແສງໄອອອນພະລັງງານສູງຖືກໃຊ້ເພື່ອເຄາະອະຕອມອອກຈາກວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ເຊິ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນຈະຕົກໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ການລະເຫີຍ:** ວັດສະດຸຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນສູນຍາກາດຈົນກວ່າມັນຈະລະເຫີຍ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນໄອຈະກັ່ນຕົວຢູ່ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ການຕົກตะกอนຂອງຊັ້ນອະຕອມ (ALD)
ALD ເປັນເຕັກນິກທີ່ຟິມຖືກປູກຢູ່ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນໜຶ່ງອະຕອມໃນແຕ່ລະຄັ້ງ. ມັນຖືກຄວບຄຸມສູງ ແລະ ສາມາດສ້າງຟິມທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ ແລະ ສອດຄ່ອງກັນໄດ້ດີ.
ການກຳຈັດອະນຸພາກໂມເລກຸນ (MBE)
MBE ແມ່ນເຕັກນິກການເຕີບໂຕແບບ epitaxial ບ່ອນທີ່ລຳແສງຂອງອະຕອມ ຫຼື ໂມເລກຸນຖືກມຸ້ງໄປຫາຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນເພື່ອສ້າງຟິມບາງໆທີ່ເປັນຜລຶກ.
ຂໍ້ດີຂອງການຕົກຕະກອນຟິມບາງໆ
ໜ້າທີ່ການໃຊ້ງານທີ່ດີຂຶ້ນ: ຟິມສາມາດສະໜອງຄຸນສົມບັດໃໝ່ໃຫ້ກັບຊັ້ນຮອງພື້ນ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານຮອຍຂີດຂ່ວນ ຫຼື ຄວາມນຳໄຟຟ້າ.
ຫຼຸດຜ່ອນການໃຊ້ວັດສະດຸ: ມັນຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດສ້າງອຸປະກອນທີ່ສັບສົນດ້ວຍການໃຊ້ວັດສະດຸໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ການປັບແຕ່ງ: ຟິມສາມາດປັບແຕ່ງໃຫ້ມີຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກ, ໄຟຟ້າ, ທາງແສງ ຫຼື ທາງເຄມີສະເພາະ.
ແອັບພລິເຄຊັນ
ອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ: ທຣານຊິສເຕີ, ວົງຈອນລວມ, ແລະ ລະບົບກົນຈັກຈຸລະພາກ (MEMS).
ການເຄືອບແສງ: ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ ແລະ ການສະທ້ອນແສງສູງໃສ່ເລນ ແລະ ແບັດເຕີຣີແສງອາທິດ.
ການເຄືອບປ້ອງກັນ: ເພື່ອປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ ຫຼື ການສວມໃສ່ເຄື່ອງມື ແລະ ເຄື່ອງຈັກ.
ການນຳໃຊ້ທາງດ້ານຊີວະວິທະຍາ: ການເຄືອບໃສ່ການຝັງຢາທາງການແພດ ຫຼື ລະບົບການຈັດສົ່ງຢາ.
ການເລືອກເຕັກນິກການວາງຊັ້ນແມ່ນຂຶ້ນກັບຄວາມຕ້ອງການສະເພາະຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ລວມທັງປະເພດຂອງວັດສະດຸທີ່ຈະວາງຊັ້ນ, ຄຸນສົມບັດຂອງຟິມທີ່ຕ້ອງການ, ແລະຂໍ້ຈໍາກັດດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.

- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua