Чопкунии плёнкаи тунук раванди бунёдӣ аст, ки дар саноати нимноқилҳо, инчунин дар бисёр соҳаҳои дигари илми мавод ва муҳандисӣ истифода мешавад. Он эҷоди қабати тунуки маводро дар рӯи субстрат дар бар мегирад. Плёнкаҳои гузошташуда метавонанд ғафсии гуногун дошта бошанд, аз чанд қабати атомӣ то якчанд микрометр ғафсӣ. Ин плёнкаҳо метавонанд барои мақсадҳои гуногун, ба монанди ноқилҳои барқӣ, изоляторҳо, пӯшишҳои оптикӣ ё монеаҳои муҳофизатӣ, хизмат кунанд.
Инҳо усулҳои асосии истифодашаванда барои ҷойгиркунии плёнкаҳои тунук мебошанд:
Ҷойгиршавии буғи физикӣ (PVD)
Пошидани нур: Шуои ионии дорои энергияи баланд барои аз байн бурдани атомҳо аз маводи мавриди ҳадаф истифода мешавад, ки сипас ба субстрат ҷойгир мешавад.
Бухоршавӣ:** Мавод дар вакуум то бухор шуданаш гарм карда мешавад ва сипас буғ дар рӯи замин конденсатсия мешавад.
Ҷойгиршавии қабати атомӣ (ALD)
ALD як усулест, ки дар он плёнка дар як вақт дар як субстрат як қабати атомӣ парвариш карда мешавад. Он хеле назоратшаванда аст ва метавонад плёнкаҳои хеле дақиқ ва конформӣ эҷод кунад.
Эпитаксияи шуои молекулавӣ (MBE)
MBE як усули афзоиши эпитаксиалӣ мебошад, ки дар он нурҳои атомҳо ё молекулаҳо ба рӯи субстрати гармшуда равона карда мешаванд, то як плёнкаи тунуки кристаллиро ташкил диҳанд.
Бартариҳои ҷойгиркунии плёнкаи тунук
Функсияҳои беҳтаршуда: Плёнкаҳо метавонанд ба субстрат хосиятҳои нав, ба монанди муқовимат ба харошидан ё гузаронандагии барқро фароҳам оранд.
Кам кардани истифодаи мавод: Он имкон медиҳад, ки дастгоҳҳои мураккаб бо истифодаи ҳадди ақали мавод эҷод карда шаванд ва хароҷот кам карда шаванд.
Фармоишдиҳӣ: Филмҳоро метавон барои хосиятҳои мушаххаси механикӣ, электрикӣ, оптикӣ ё химиявӣ фармоиш дод.
Барномаҳо
Дастгоҳҳои нимноқилӣ: Транзисторҳо, схемаҳои интегралӣ ва системаҳои микроэлектромеханикӣ (MEMS).
Пӯшишҳои оптикӣ: Пӯшишҳои зиддиинъикоскунанда ва баландинъикоскунанда дар линзаҳо ва батареяҳои офтобӣ.
Пӯшишҳои муҳофизатӣ: Барои пешгирии зангзанӣ ё фарсудашавии асбобҳо ва мошинҳо.
Барномаҳои биотиббӣ: Пӯшишҳо дар имплантатҳои тиббӣ ё системаҳои интиқоли доруворӣ.
Интихоби усули ҷойгиркунӣ аз талаботи мушаххаси барнома, аз ҷумла намуди маводе, ки бояд ҷойгир карда шавад, хосиятҳои дилхоҳи плёнка ва маҳдудиятҳои хароҷот вобаста аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 15 августи соли 2024