Tekonolosi Fa'aputuina o Ata Manifi

O le fa'aputuina o ata manifinifi o se faiga fa'avae e fa'aaogaina i le alamanuia o semiconductor, fa'apea fo'i ma le tele o isi vaega o le saienisi o meafaitino ma le inisinia. E aofia ai le faia o se vaega manifinifi o meafaitino i luga o se substrate. O ata fa'aputu e mafai ona i ai le tele o mafiafia, mai ni nai vaega atomika i ni nai micrometers le mafiafia. O nei ata e mafai ona fa'aogaina le tele o fa'amoemoega, e pei o ave eletise, insulators, ufiufi opitika, po'o pa puipui.

O auala autū ia e faʻaaogaina mo le teuina o ata manifinifi:
Fa'aputuga Fa'aletino o le Ausa (PVD)
Sputtering: O se ave ion malosi e faʻaaogaina e toso ese ai atoms mai se mea faʻamoemoeina, ona faʻaputu lea i luga o le substrate.
Fa'amamago:** E fa'avevela le mea i totonu o le masini e mitiia ai le ea se'ia o'o ina fa'amamago, ona fa'aputu lea o le ausa i luga o le mea e fa'apipi'i ai.
Fa'aputuga o le Vaega Atomika (ALD)
O le ALD o se metotia lea e totoina ai se ata tifaga i luga o se mea e tasi le vaega atomika i le taimi. E matuā pulea lelei ma e mafai ona fatuina ni ata tifaga e matuā sa'o ma tutusa lelei.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
O le MBE o se metotia o le tuputupu aʻe epitaxial lea e faʻasino saʻo ai ave o atoms poʻo molecules i luga o se mea ua vevela e fausia ai se ata manifinifi tioata.
Fa'amanuiaga o le Fa'aputuina o Ata Tifaga Manifi
Fa'aleleia atili o le fa'atinoga: E mafai e ata tifaga ona tu'uina atu ni meatotino fou i le mea fa'avae, e pei o le tete'e atu i le maosi po'o le fa'avevela.
Fa'aitiitia le fa'aaogaina o meafaitino: E mafai ai ona fatuina ni masini faigata ma fa'aitiitia ai le fa'aaogaina o meafaitino, ma fa'aitiitia ai tau.
Fa'apitoa: E mafai ona fa'apitoa ata tifaga ina ia i ai ni meatotino fa'apitoa fa'amekanika, eletise, opitika, po'o vaila'au.
Talosaga
Masini fa'atekonolosi: Transistors, matagaluega tu'ufa'atasi, ma faiga eletise laiti (MEMS).
Ufiufi opitika: Ufiufi e tete'e i le ata ma ufiufi e maualuga le ata i luga o tioata mata ma sela o le la.
Ufiufi puipui: E puipuia ai le 'ele po'o le ofuina o meafaigaluega ma masini.
Fa'aoga fa'afoma'i: Ufiufi i luga o mea fa'apipi'i fa'afoma'i po'o faiga e tu'uina atu ai vaila'au.
O le filifiliga o le metotia o le teuina e faʻalagolago i manaʻoga patino o le talosaga, e aofia ai le ituaiga o mea e teuina, uiga o le ata tifaga e manaʻomia, ma tapulaʻa tau.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua