Inçe film çöketligi ýarymgeçiriji pudagynda, şeýle hem material ylym we in engineeringenerçilik ugurlarynda ulanylýan esasy prosesdir. Substratda inçe material gatlagynyň döredilmegini öz içine alýar. Goýlan filmler, birnäçe atom gatlaklaryndan başlap, birnäçe mikrometr galyňlyga çenli giň galyňlyga eýe bolup biler. Bu filmler elektrik geçirijiler, izolýatorlar, optiki örtükler ýa-da gorag päsgelçilikleri ýaly köp maksatlara hyzmat edip biler.
Ine, inçe film goýmak üçin ulanylýan esasy usullar:
Fiziki bug çöketligi (PVD)
Tüýkürmek: atomlary nyşana almak üçin ýokary energiýaly ion şöhlesi ulanylýar, soň bolsa substrata goýulýar.
Buglanmak: ** Material buglanýança wakuumda gyzdyrylýar, soňra bug substratda jemlenýär.
Atom gatlagy (ALD)
ALD, bir gezek substratda bir atom gatlagynda film ösdürilip ýetişdirilýän usul. Highlyokary gözegçilikde saklanýar we örän takyk we laýyk filmleri döredip biler.
Molekulýar şöhle epitaksiýasy (MBE)
MBE - epitaksial ösüş usuly, atomlaryň ýa-da molekulalaryň şöhleleri gyzdyrylan substrata kristal inçe film döretmek üçin gönükdirilýär.
Inçe film goýmagyň artykmaçlyklary
Giňeldilen işleýiş: Filmler substrata çyzmaga garşylyk ýa-da elektrik geçirijiligi ýaly täze häsiýetleri berip biler.
Maddy ulanylyşynyň azalmagy: Iň az material sarp edip, çykdajylary azaldyp, çylşyrymly enjamlary döretmäge mümkinçilik berýär.
Özbaşdaklaşdyrma: Filmler belli bir mehaniki, elektrik, optiki ýa-da himiki aýratynlyklara eýe bolup biler.
Goýmalar
Ondarymgeçiriji enjamlar: Tranzistorlar, integral zynjyrlar we mikroelektromehaniki ulgamlar (MEMS).
Optiki örtükler: Linzalarda we gün öýjüklerinde anti-şöhlelendiriji we ýokary şöhlelendiriji örtükler.
Gorag örtükleri: Poslamagyň öňüni almak ýa-da gurallarda we enjamlarda geýmek.
Biomedikal goşundylar: Lukmançylyk implantlary ýa-da derman iberiş ulgamlary.
Depozit usulyny saýlamak, goýuljak materialyň görnüşine, islenýän film aýratynlyklaryna we çykdajy çäklendirmelerini goşmak bilen programmanyň aýratyn talaplaryna baglydyr.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 15-2024-nji awgust