PVD (Fiziki bug çöketligi) örtükleri inçe filmleri we ýerüsti örtükleri döretmek üçin giňden ulanylýar. Adaty usullaryň arasynda termiki bugarmak we tüýkürmek iki möhüm PVD prosesi. Ine, hersiniň bir bölegi:
1. malylylyk bugarmagy
- Ipleörelge:Material wakuum kamerasynda bugarýança ýa-da sublimasiýa edilýänçä gyzdyrylýar. Buglanan material soňra inçe film döretmek üçin substrata geçýär.
- Amal:
- Çeşme materialy (metal, keramika we ş.m.) gyzdyrylýar, adatça garşylykly ýyladyş, elektron şöhlesi ýa-da lazer ulanylýar.
- Material bugarmak nokadyna ýetensoň, atomlar ýa-da molekulalar çeşmäni taşlap, wakuumdan substrata geçýärler.
- Buglanan atomlar substratyň üstünde ýygnanýar we inçe gatlak emele getirýär.
- Goýmalar:
- Köplenç metallary, ýarymgeçirijileri we izolýatorlary goýmak üçin ulanylýar.
- Goýmalar optiki örtükleri, bezeg bezeglerini we mikroelektronikany öz içine alýar.
- Üstünlikleri:
- Depokary depozit derejesi.
- Käbir materiallar üçin ýönekeý we tygşytly.
- Örän arassa filmleri öndürip biler.
- Adetmezçilikleri:
- Pes eriş nokatlary ýa-da ýokary bug basyşy bolan materiallar bilen çäklenýär.
- Çylşyrymly ýüzleriň üstünde pes basgançak.
- Garyndylar üçin filmiň düzümine az gözegçilik.
2. Tüýkürmek
- Ipleörelge: Plazmadaky ionlar maksat materialyna çaltlaşdyrylýar we atomlaryň nyşandan nyşana alynmagyna (tüýkürilmegine) sebäp bolýar, soňra bolsa substrata goýulýar.
- Amal:
- Otagda maksatly material (metal, garyndy we ş.m.) ýerleşdirilýär we gaz (adatça argon) girizilýär.
- Gazy ionlaşdyrýan plazma döretmek üçin ýokary woltly ulanylýar.
- Plazmadan pololyitel zarýadlanan ionlar, atomlary ýerden fiziki taýdan bölüp, otrisatel zarýadlanan nyşana tarap tizlenýär.
- Soňra bu atomlar inçe filmi emele getirip, substrata goýýarlar.
- Goýmalar:
- Ondarymgeçiriji önümçiliginde, örtükli aýna we könelişen örtükleri döretmekde giňden ulanylýar.
- Garyndy, keramiki ýa-da çylşyrymly inçe filmleri döretmek üçin amatly.
- Üstünlikleri:
- Metallar, erginler we oksidler ýaly köp sanly material goýup biler.
- Ajaýyp film birmeňzeşligi we ädim şekillendirişi, hatda çylşyrymly şekillerde-de.
- Filmiň galyňlygyna we düzümine takyk gözegçilik.
- Adetmezçilikleri:
- Malylylyk bugarmagy bilen deňeşdirilende has haýal depozit derejesi.
- Enjamlaryň çylşyrymlylygy we has ýokary energiýa zerurlygy sebäpli has gymmat.
Esasy tapawutlar:
- Depozit çeşmesi:
- Malylylyk bugarmagy materialy bugarmak üçin ýylylygy ulanýar, tüýkürmek atomlary fiziki taýdan ýerleşdirmek üçin ion bombasyny ulanýar.
- Energiýa zerur:
- Malylylyk bugarmagy, adatça, tüýkürmekden az energiýa talap edýär, sebäbi plazma öndürmek däl-de, ýyladyşa esaslanýar.
- Materiallar:
- Tüýdük, bugarmak kyn bolan ýokary eriş nokatlary bolan materiallary goşmak bilen has giň materiallary goýmak üçin ulanylyp bilner.
- Filmiň hili:
- Tüýkürmek, adatça filmiň galyňlygyna, birmeňzeşligine we düzümine has gowy gözegçilik edýär.
Iş wagty: 27-2024-nji sentýabr