PVD (Физик уурын тунадасжуулалт) бүрхүүл нь нимгэн хальс болон гадаргуугийн бүрхүүл үүсгэхэд өргөн хэрэглэгддэг арга юм. Нийтлэг аргуудын дунд дулааны ууршилт болон цацалт нь PVD-ийн хоёр чухал процесс юм. Энд тус бүрийн задралыг харуулав:
1. Дулааны ууршилт
- Зарчим:Материалыг вакуум камерт уурших эсвэл сублимацияд орох хүртэл халаана. Дараа нь ууршсан материал нь суурь дээр конденсацлагдаж нимгэн хальс үүсгэдэг.
- Үйл явц:
- Эх материалыг (металл, керамик гэх мэт) халаадаг бөгөөд ихэвчлэн эсэргүүцэлтэй халаалт, электрон туяа эсвэл лазер ашигладаг.
- Материал нь ууршилтын цэгтээ хүрмэгц атомууд эсвэл молекулууд эх үүсвэрээс гарч, вакуумаар дамжин субстрат руу шилждэг.
- Ууршсан атомууд нь субстратын гадаргуу дээр конденсацлагдаж, нимгэн давхарга үүсгэдэг.
- Хэрэглээ:
- Металл, хагас дамжуулагч, тусгаарлагчийг хадгалахад түгээмэл хэрэглэгддэг.
- Хэрэглээнд оптик бүрхүүл, гоёл чимэглэлийн өнгөлгөө, микроэлектроник орно.
- Давуу талууд:
- Өндөр хуримтлалын түвшин.
- Тодорхой материалын хувьд энгийн бөгөөд зардал багатай.
- Өндөр цэвэршилттэй кино үйлдвэрлэх боломжтой.
- Сул талууд:
- Бага хайлах цэг эсвэл өндөр уурын даралттай материалаар хязгаарлагддаг.
- Нарийн төвөгтэй гадаргуу дээр шаталсан бүрхүүл муу.
- Хайлшийн хальсны найрлагад бага хяналт тавьдаг.
2. Шүрших
- Зарчим: Плазмын ионууд бай материал руу хурдасч, атомууд байнаас хөөгдөж (цацаж), дараа нь суурь дээр хуримтлагддаг.
- Үйл явц:
- Бай материалыг (металл, хайлш гэх мэт) камерт байрлуулж, хий (ихэвчлэн аргон) оруулна.
- Хийг ионжуулдаг плазм үүсгэхийн тулд өндөр хүчдэл хэрэглэдэг.
- Плазмын эерэг цэнэгтэй ионууд сөрөг цэнэгтэй бай руу хурдасч, атомуудыг гадаргуугаас физик байдлаар холдуулна.
- Эдгээр атомууд дараа нь суурь дээр хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
- Хэрэглээ:
- Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, шил бүрэх, элэгдэлд тэсвэртэй бүрхүүл үүсгэхэд өргөн хэрэглэгддэг.
- Хайлшин, керамик эсвэл нарийн төвөгтэй нимгэн хальс үүсгэхэд тохиромжтой.
- Давуу талууд:
- Металл, хайлш, исэл зэрэг олон төрлийн материалыг тунадасжуулж чаддаг.
- Нарийн төвөгтэй хэлбэртэй ч гэсэн хальсны жигд байдал болон алхам бүрхэвч маш сайн.
- Киноны зузаан болон найрлагыг нарийн хянах.
- Сул талууд:
- Дулааны ууршилттай харьцуулахад тунадасжилтын хурд удаан.
- Тоног төхөөрөмжийн нарийн төвөгтэй байдал, илүү их эрчим хүч шаарддаг тул илүү үнэтэй.
Гол ялгаанууд:
- Тунхаглалын эх сурвалж:
- Дулааны ууршилт нь материалыг ууршуулахын тулд дулааныг ашигладаг бол цацалт нь атомуудыг физик байдлаар зайлуулахын тулд ионы бөмбөгдөлтийг ашигладаг.
- Шаардлагатай эрчим хүч:
- Дулааны ууршилт нь плазм үүсгэхээс илүү халаалтаас хамаардаг тул цацахаас бага эрчим хүч шаарддаг.
- Материал:
- Шүрших аргыг ууршихад хэцүү, өндөр хайлах цэгтэй материалыг оролцуулан илүү өргөн хүрээний материалыг тунадасжуулахад ашиглаж болно.
- Киноны чанар:
- Шүрших нь ерөнхийдөө хальсны зузаан, жигд байдал, найрлагыг илүү сайн хянах боломжийг олгодог.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 9-р сарын 27