የPVD (የፊዚካል ትነት ዲፖዚሽን) ሽፋኖች ቀጭን ፊልሞችን እና የገጽታ ሽፋኖችን ለመፍጠር በስፋት ጥቅም ላይ የሚውሉ ቴክኒኮች ናቸው። ከተለመዱት ዘዴዎች መካከል የሙቀት ትነት እና ስፕቱተርንግ ሁለት አስፈላጊ የPVD ሂደቶች አሉ። የእያንዳንዱ ዝርዝር መግለጫ እነሆ፡
1. የሙቀት ትነት
- መርህ፡ቁሱ በቫክዩም ክፍል ውስጥ እስኪተን ወይም እስኪጠልቅ ድረስ ይሞቃል። ከዚያም የተተነው ቁሳቁስ ወደ ንጣፍ ላይ ተጨምቆ ቀጭን ፊልም ይፈጥራል።
- ሂደት፡
- የምንጭ ቁሳቁስ (ብረት፣ ሴራሚክ፣ ወዘተ) ብዙውን ጊዜ የሚሞቀው በተከላካይ ማሞቂያ፣ በኤሌክትሮን ጨረር ወይም በሌዘር በመጠቀም ነው።
- ቁሱ የትነት ነጥቡ ላይ እንደደረሰ፣ አቶሞች ወይም ሞለኪውሎች ምንጩን ትተው በቫክዩም በኩል ወደ ንጣፉ ይጓዛሉ።
- የተተነኑት አቶሞች በንጥረ ነገሩ ወለል ላይ ተከማችተው ቀጭን ንብርብር ይፈጥራሉ።
- አፕሊኬሽኖች፡
- በተለምዶ ብረቶችን፣ ሴሚኮንዳክተሮችን እና ኢንሱሌተሮችን ለማስቀመጥ ያገለግላል።
- አፕሊኬሽኖች የኦፕቲካል ሽፋኖችን፣ የጌጣጌጥ ማጠናቀቂያዎችን እና ማይክሮኤሌክትሮኒክስን ያካትታሉ።
- ጥቅሞች፡
- ከፍተኛ የመክፈቻ ተመኖች።
- ለተወሰኑ ቁሳቁሶች ቀላል እና ወጪ ቆጣቢ።
- ከፍተኛ ንፁህ ፊልሞችን ማምረት ይችላል።
- ጉዳቶች፡
- ዝቅተኛ የማቅለጫ ነጥቦች ወይም ከፍተኛ የእንፋሎት ግፊቶች ላሏቸው ቁሳቁሶች ብቻ የተወሰነ።
- ውስብስብ በሆኑ ቦታዎች ላይ ደካማ የደረጃ ሽፋን።
- ለአሉሚኒየም የፊልም ቅንብር አነስተኛ ቁጥጥር።
2. ስፑተርቲንግ
- መርህ፡- ከፕላዝማ የሚወጡ አዮኖች ወደ ዒላማው ቁሳቁስ በፍጥነት ይጣደፋሉ፣ ይህም አቶሞች ከዒላማው እንዲወጡ (እንዲረጩ) ያደርጋል፣ ከዚያም በንጣፉ ላይ ይቀመጣሉ።
- ሂደት፡
- የታለመ ቁሳቁስ (ብረት፣ ቅይጥ፣ ወዘተ) በክፍሉ ውስጥ ይቀመጣል፣ እና ጋዝ (በተለምዶ አርጎን) ይተዋወቃል።
- ፕላዝማ ለመፍጠር ከፍተኛ ቮልቴጅ የሚተገበረ ሲሆን ይህም ጋዙን አዮኒዝ ያደርጋል።
- ከፕላዝማው የሚወጡት አዎንታዊ ቻርጅ አዮኖች ወደ አሉታዊ ቻርጅ ኢላማው በፍጥነት ይጣደፋሉ፣ ይህም አቶሞችን ከላዩ ላይ በአካል ያስወግዳቸዋል።
- እነዚህ አቶሞች ከዚያም በንጣፉ ላይ ይቀመጣሉ፣ ቀጭን ፊልም ይፈጥራሉ።
- አፕሊኬሽኖች፡
- በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ በመሸፈኛ መስታወት እና በአለባበስ የሚቋቋሙ ሽፋኖችን በመፍጠር በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል።
- ቅይጥ፣ ሴራሚክ ወይም ውስብስብ ቀጭን ፊልሞችን ለመፍጠር ተስማሚ።
- ጥቅሞች፡
- ብረቶችን፣ ቅይጥ እና ኦክሳይድን ጨምሮ የተለያዩ ቁሳቁሶችን ማስቀመጥ ይችላል።
- እጅግ በጣም ጥሩ የፊልም ወጥነት እና የደረጃ ሽፋን፣ ውስብስብ ቅርጾች ላይ እንኳን።
- በፊልሙ ውፍረት እና ቅንብር ላይ ትክክለኛ ቁጥጥር።
- ጉዳቶች፡
- ከሙቀት ትነት ጋር ሲነፃፀር ዝቅተኛ የመቀነስ መጠን።
- በመሳሪያዎቹ ውስብስብነት እና ከፍተኛ የኃይል ፍላጎት ምክንያት የበለጠ ውድ።
ቁልፍ ልዩነቶች፡
- የውክልና ምንጭ፡
- የሙቀት ትነት ቁስን ለማትነን ሙቀትን ይጠቀማል፣ ስፐተርሲንግ ደግሞ አዮኖችን በአካል ለማስወገድ የአዮን ቦምብ ድብደባን ይጠቀማል።
- የሚፈለገው ኃይል፡
- የሙቀት ትነት በተለምዶ ከፕላዝማ ማመንጨት ይልቅ በማሞቂያ ላይ ስለሚመሰረት ከመርጨት ያነሰ ኃይል ይፈልጋል።
- ቁሳቁሶች፡
- ስፑተርሲንግ ከፍተኛ የማቅለጥ ነጥብ ያላቸውን ጨምሮ ሰፋ ያሉ ቁሳቁሶችን ለማስቀመጥ ሊያገለግል ይችላል፤ እነዚህም ለመተንፈግ አስቸጋሪ ናቸው።
- የፊልም ጥራት፡
- ስፑተርሲንግ በአጠቃላይ በፊልሙ ውፍረት፣ ወጥነት እና ቅንብር ላይ የተሻለ ቁጥጥር ይሰጣል።
የፖስታ ሰዓት፡- ሴፕቴምበር 27-2024