Likoahelo tsa PVD (Physical Vapor Deposition) ke mekhoa e sebelisoang haholo bakeng sa ho etsa lifilimi tse tšesaane le likoahelo tsa bokaholimo. Har'a mekhoa e tloaelehileng, ho fetoha ha mouoane ka mocheso le ho qhalana ke mekhoa e 'meli ea bohlokoa ea PVD. Mona ke tlhaloso ea e 'ngoe le e 'ngoe:
1. Mouoane oa Thermal
- Molao-motheo:Thepa e futhumatsoa ka phapusing e se nang mouoane ho fihlela e fetoha mouoane kapa e fetoha lerootho. Thepa e nang le mouoane e fetoha e monyebe ho etsa filimi e tšesaane.
- Tshebetso:
- Thepa ea mohloli (tšepe, ceramic, jj.) e futhumatsoa, hangata ho sebelisoa ho futhumatsa ho hanyetsang, mahlaseli a elektrone, kapa laser.
- Hang ha thepa e fihla ntlheng ea eona ea mouoane, liathomo kapa limolek'hule li tloha mohloling 'me li tsamaea ka har'a vacuum ho ea substrate.
- Liathomo tse mouoane lia ikamahanya holim'a substrate, li etsa lera le lesesaane.
- Likopo:
- E sebelisoa hangata ho boloka litšepe, li-semiconductor le li-insulator.
- Lisebelisoa li kenyelletsa masela a optical, mekhabiso e khabisitsoeng, le microelectronics.
- Melemo:
- Litefiso tse phahameng tsa ho boloka thepa.
- E bonolo ebile e theko e tlase bakeng sa thepa e itseng.
- E ka hlahisa lifilimi tse hloekileng haholo.
- Mathata:
- E lekanyelitsoe feela ho thepa e nang le lintlha tse tlase tsa ho qhibiliha kapa khatello e phahameng ea mouoane.
- Ho koahela mehato ho fokolang holim'a libaka tse rarahaneng.
- Taolo e fokolang holim'a sebopeho sa filimi bakeng sa li-alloy.
2. Ho ntsha matheba
- Molao-motheo: Li-ion tse tsoang plasma li potlakisoa ho ea ho thepa e reretsoeng, e leng se etsang hore liathomo li ntšetsoe (li tšolohe) ho tsoa ho sepheo, ebe lia lula holim'a substrate.
- Tshebetso:
- Thepa e reretsoeng (tšepe, motsoako, jj.) e kenngoa ka kamoreng, 'me khase (hangata argon) ea kenngoa.
- Ho sebelisoa motlakase o phahameng ho etsa plasma, e leng se etsang hore khase e be ioni.
- Li-ion tse nang le positive charge tse tsoang plasma li potlakisetsoa ho ea ho sepheo se nang le positive charge, li ntša liathomo ka 'mele holim'a metsi.
- Ebe diathomo tsena di dula hodima substrate, di etsa filimi e tshesane.
- Likopo:
- E sebelisoa haholo tlhahisong ea li-semiconductor, khalase ea ho koahela, le ho etsa liphahlo tse sa tsofaleng.
- E loketse ho etsa li-alloy, ceramic, kapa lifilimi tse tšesaane tse rarahaneng.
- Melemo:
- E ka beha mefuta e mengata ea thepa, ho kenyeletsoa litšepe, li-alloy le li-oxide.
- Ho tšoana hantle ha filimi le ho koahela mehato, esita le ka dibopeho tse rarahaneng.
- Taolo e nepahetseng holim'a botenya le sebopeho sa filimi.
- Mathata:
- Sekhahla sa ho boloka mocheso se lieha ha se bapisoa le mouoane oa mocheso.
- E theko e boima haholo ka lebaka la ho rarahana ha lisebelisoa le tlhoko ea matla a mangata.
Liphapang tsa Bohlokoa:
- Mohloli oa ho Tlosa:
- Mouoane o sebelisoang ke mocheso o sebelisa mocheso ho fetola thepa hore e be mouoane, ha ho qhalana ho sebelisa ho phatloha ha li-ion ho tlosa liathomo ka 'mele.
- Matla a Hlokahalang:
- Hangata mouoane oa mocheso o hloka matla a fokolang ho feta ho qhalana kaha o itšetlehile ka ho futhumatsa ho e-na le ho hlahisa plasma.
- Lisebelisoa:
- Ho ntsha metsi ka matheba ho ka sebediswa ho kenya mefuta e mengata ya thepa, ho kenyeletswa le tse nang le dintlha tse phahameng tsa ho qhibiliha, tseo ho leng thata ho di fetola mouoane.
- Boleng ba Filimi:
- Ka kakaretso ho ntsha metsi ho fana ka taolo e betere hodima botenya ba filimi, ho tshwana le sebopeho.
Nako ea poso: Loetse-27-2024