Рӯйпӯшҳои PVD (PVD) усулҳои васеъ истифодашаванда барои эҷоди плёнкаҳои тунук ва рӯйпӯшҳои сатҳӣ мебошанд. Дар байни усулҳои маъмул, бухоршавии гармӣ ва пошидани он ду раванди муҳими PVD мебошанд. Дар ин ҷо таҳлили ҳар яки онҳо оварда шудааст:
1. Бухоршавии гармӣ
- Принсип:Мавод дар камераи вакуумӣ то бухор шудан ё сублиматсия шудан гарм карда мешавад. Сипас, маводи бухоршуда ба рӯи субстрат конденсатсия шуда, як плёнкаи тунукро ташкил медиҳад.
- Раванд:
- Маводи ибтидоӣ (металл, керамикӣ ва ғайра) одатан бо истифода аз гармкунии муқовиматӣ, нури электронӣ ё лазер гарм карда мешавад.
- Пас аз он ки мавод ба нуқтаи бухоршавӣ мерасад, атомҳо ё молекулаҳо манбаъро тарк мекунанд ва тавассути вакуум ба субстрат мераванд.
- Атомҳои бухоршуда дар сатҳи субстрат конденсатсия шуда, қабати тунукро ташкил медиҳанд.
- Барномаҳо:
- Одатан барои гузоштани металлҳо, нимноқилҳо ва изоляторҳо истифода мешавад.
- Барномаҳо пӯшишҳои оптикӣ, ороиши ороишӣ ва микроэлектроникаро дар бар мегиранд.
- Бартариҳо:
- Сатҳи баланди ҷойгиршавӣ.
- Содда ва арзон барои баъзе маводҳо.
- Метавонад филмҳои хеле тоза истеҳсол кунад.
- Камбудиҳо:
- Ба маводҳое, ки нуқтаҳои обшавии паст ё фишори буғии баланд доранд, маҳдуд аст.
- Пӯшиши пасти зинапояҳо дар сатҳҳои мураккаб.
- Назорати камтар бар таркиби плёнка барои хӯлаҳо.
2. Пошидани хок
- Принсип: Ионҳо аз плазма ба сӯи маводи мавриди ҳадаф суръат мегиранд, ки боиси партофтани атомҳо аз ҳадаф мегардад ва сипас ба субстрат меафтанд.
- Раванд:
- Маводи мақсаднок (металл, хӯла ва ғайра) дар камера ҷойгир карда мешавад ва газ (одатан аргон) ворид карда мешавад.
- Барои эҷоди плазма, ки газро ионизатсия мекунад, шиддати баланд истифода мешавад.
- Ионҳои заряди мусбат аз плазма ба самти ҳадафи заряди манфӣ суръат мегиранд ва атомҳоро аз рӯи замин аз ҷиҳати ҷисмонӣ берун мекунанд.
- Сипас ин атомҳо ба рӯи субстрат ҷойгир шуда, як плёнкаи тунукро ташкил медиҳанд.
- Барномаҳо:
- Дар истеҳсоли нимноқилҳо, пӯшонидани шиша ва эҷоди пӯшишҳои ба фарсудашавӣ тобовар васеъ истифода мешавад.
- Барои эҷоди плёнкаҳои тунуки хӯлаӣ, сафолӣ ё мураккаб беҳтарин аст.
- Бартариҳо:
- Метавонад доираи васеи маводҳоро, аз ҷумла металлҳо, хӯлаҳо ва оксидҳоро ҷойгир кунад.
- Якрангии аълои филм ва пӯшиши зинаҳо, ҳатто дар шаклҳои мураккаб.
- Назорати дақиқи ғафсӣ ва таркиби плёнка.
- Камбудиҳо:
- Суръати паст шудани боришот дар муқоиса бо бухоршавии гармӣ.
- Аз сабаби мураккабии таҷҳизот ва ниёз ба энергияи бештар гаронтар аст.
Тафовутҳои асосӣ:
- Манбаи таҳвил:
- Бухоршавии гармӣ барои бухор кардани мавод аз гармӣ истифода мебарад, дар ҳоле ки пошидан барои аз ҷиҳати ҷисмонӣ ҷудо кардани атомҳо аз бомбаборони ионӣ истифода мебарад.
- Энергияи зарурӣ:
- Бухоршавии гармӣ одатан нисбат ба пошидан энергияи камтарро талаб мекунад, зеро он ба ҷои тавлиди плазма ба гармкунӣ такя мекунад.
- Маводҳо:
- Пошидани маводи гуногунтар, аз ҷумла маводҳое, ки нуқтаҳои баланди обшавӣ доранд ва бухор шуданашон душвор аст, метавонад истифода шавад.
- Сифати филм:
- Пошидани маводи мухаддир одатан назорати беҳтари ғафсӣ, якрангӣ ва таркибро таъмин мекунад.
Вақти нашр: 27 сентябри соли 2024