Zophimba za PVD: Kutentha ndi kutulutsa madzi

Zophimba za PVD (Physical Npor Deposition) ndi njira zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri popanga mafilimu opyapyala ndi zophimba pamwamba. Pakati pa njira zodziwika bwino, kutentha ndi kutulutsa madzi ndi njira ziwiri zofunika za PVD. Nayi njira yofotokozera iliyonse:

1. Kutentha kwa Matenthedwe

• Mfundo yaikulu:Zinthuzo zimatenthedwa mu chipinda chopanda mpweya mpaka zitaphwanyika kapena kusungunuka. Kenako zinthuzo zimasungunuka kukhala chinthu chofewa kuti zipange filimu yopyapyala.
• Njira:
• Chinthu choyambira (chitsulo, ceramic, ndi zina zotero) chimatenthedwa, nthawi zambiri pogwiritsa ntchito kutentha koteteza, kuwala kwa ma elekitironi, kapena laser.
• Zinthuzo zikafika pamalo ake osinthira mpweya, maatomu kapena mamolekyu amachoka pa gwero ndikuyenda kudzera mu vacuum kupita ku substrate.
• Maatomu osungunuka amaundana pamwamba pa nthaka, n’kupanga wosanjikiza woonda.
• Mapulogalamu:
• Amagwiritsidwa ntchito kwambiri poika zitsulo, ma semiconductor, ndi ma insulators.
• Ntchito zake zikuphatikizapo zokutira zowala, zokongoletsa, ndi ma microelectronics.
• Ubwino:
• Mitengo yayikulu yoyika.
• Zosavuta komanso zotsika mtengo pa zipangizo zina.
• Ikhoza kupanga mafilimu oyera kwambiri.
• Zoyipa:
• Zokhazokha pazinthu zomwe zili ndi malo otsika osungunuka kapena kupsinjika kwakukulu kwa nthunzi.
• Kuphimba masitepe molakwika pamalo ovuta.
• Kusalamulira kwambiri kapangidwe ka filimu ya alloys.

2. Kutulutsa madzi

• Mfundo: Ma ayoni ochokera ku plasma amafulumizitsidwa kupita ku chinthu chomwe akufuna, zomwe zimapangitsa kuti maatomu atulutsidwe (kutuluka) kuchokera ku chinthucho, kenako n’kuikidwa pa substrate.
• Njira:
• Chipangizo chofunira (chitsulo, aloyi, ndi zina zotero) chimayikidwa m'chipindamo, ndipo mpweya (nthawi zambiri umakhala argon) umalowetsedwa.
• Mpweya wochuluka umagwiritsidwa ntchito popanga plasma, yomwe imapangitsa kuti mpweyawo ukhale wa ayoni.
• Ma ayoni omwe ali ndi mphamvu zabwino kuchokera mu plasma amafulumizitsidwa kupita ku cholinga chomwe chili ndi mphamvu zoipa, zomwe zimapangitsa kuti maatomu achoke pamwamba.
• Maatomu amenewa amalowa pansi pa nthaka, n’kupanga filimu yopyapyala.
• Mapulogalamu:
• Amagwiritsidwa ntchito kwambiri popanga zinthu za semiconductor, magalasi okutira, komanso popanga zokutira zosatha.
• Zabwino kwambiri popanga alloy, ceramic, kapena mafilimu opyapyala ovuta.
• Ubwino:
• Ikhoza kuyika zinthu zosiyanasiyana, kuphatikizapo zitsulo, ma alloys, ndi ma oxides.
• Kufanana bwino kwa filimu komanso kuphimba masitepe, ngakhale pa mawonekedwe ovuta.
• Kuwongolera molondola makulidwe ndi kapangidwe ka filimu.
• Zoyipa:
• Kuchuluka kwa mafuta m'thupi kumachepa poyerekeza ndi kutentha.
• Zokwera mtengo kwambiri chifukwa cha zovuta za zida komanso kufunika kwa mphamvu zambiri.

Kusiyana Kwakukulu:

• Gwero la Kuyika:
• Kutuluka kwa madzi pogwiritsa ntchito kutentha kumagwiritsa ntchito kutentha kuti zinthu ziume, pomwe kutulutsa madzi pogwiritsa ntchito ma ion bombardment kuti atulutse maatomu.
• Mphamvu Yofunikira:
• Kutuluka kwa mpweya m'thupi nthawi zambiri kumafuna mphamvu zochepa kuposa kutulutsa madzi chifukwa kumadalira kutentha osati kupanga plasma.
• Zipangizo:
• Kuthira madzi kungagwiritsidwe ntchito kuyika zinthu zosiyanasiyana, kuphatikizapo zomwe zili ndi malo osungunuka kwambiri, zomwe zimakhala zovuta kusungunuka.
• Ubwino wa Kanema:
• Kutulutsa madzi nthawi zambiri kumapereka ulamuliro wabwino pa makulidwe a filimu, kufanana kwake, ndi kapangidwe kake.