Iingubo zePVD (Physical Vapor Deposition) ziindlela ezisetyenziswa kakhulu ekwenzeni iifilimu ezincinci kunye neengubo zomphezulu. Phakathi kweendlela eziqhelekileyo, ukufuma kobushushu kunye nokutshiza ziinkqubo ezimbini ezibalulekileyo zePVD. Nantsi indlela echazwe ngayo nganye:
1. Ukufuma kobushushu
- Umgaqo:Izinto ezifuthwayo zifudunyezwa kwigumbi lokufunxa amanzi de zibe ngumphunga okanye zibe mdaka. Izinto ezifuthwayo emva koko zijiya zibe yi-substrate ukuze zenze ifilimu encinci.
- Inkqubo:
- Izinto ezisetyenziswayo (isinyithi, iseramikhi, njl.njl.) ziyafudunyezwa, kusetyenziswa ubushushu obukhuselayo, umqadi we-electron, okanye i-laser.
- Xa izinto zifikelele kwinqanaba lokuphuma kwamanzi, iiathom okanye iimolekyuli ziyashiya umthombo zize zihambe nge-vacuum ziye kwi-substrate.
- Iiathom eziphumayo ziyaqina phezu komphezulu we-substrate, zenze umaleko omncinci.
- Izicelo:
- Isetyenziswa kakhulu ukufaka iintsimbi, ii-semiconductors, kunye nee-insulators.
- Izinto ezisetyenziswayo ziquka ukugqunywa kwezinto ezibonakalayo, ukugqitywa kwezinto zokuhombisa, kunye ne-microelectronics.
- Iingenelo:
- Amanani aphezulu okufaka imali.
- Kulula kwaye kuyabiza kakhulu kwizinto ezithile.
- Ingavelisa iifilimu ezicocekileyo kakhulu.
- Iingxaki:
- Kulinganiselwe kwizinto ezineendawo zokunyibilika eziphantsi okanye uxinzelelo oluphezulu lomphunga.
- Ukugquma okungalunganga kwenyathelo phezu kweendawo ezintsonkothileyo.
- Ulawulo oluncinci malunga nokwakheka kwefilimu kwii-alloys.
2. Ukutshiza
- Umgaqo: Ii-ions ezivela kwi-plasma zikhawuleziswa ukuya kwizinto ezijoliswe kuzo, nto leyo ebangela ukuba ii-athomu zikhutshwe (zitshizwe) kwi-target, zize zifakwe kwi-substrate.
- Inkqubo:
- Izinto ekujoliswe kuzo (isinyithi, i-alloy, njl.njl.) zifakwa kwigumbi, kwaye kungeniswa igesi (ngesiqhelo i-argon).
- Kusetyenziswa i-voltage ephezulu ukwenza i-plasma, eyenza i-ionization yegesi.
- Ii-ions ezitshajiswe kakuhle ezivela kwi-plasma zikhawuleziswa ukuya kwindawo ekujoliswe kuyo etshajiswe kakubi, zikhupha ii-athomu kumphezulu ngokwasemzimbeni.
- Ezi athom emva koko zifakwa kwi-substrate, zenze ifilimu encinci.
- Izicelo:
- Isetyenziswa kakhulu ekwenzeni ii-semiconductor, ukugquma iglasi, nokwenza ii-coatings ezikwaziyo ukumelana nokuguguleka.
- Ilungele ukwenza iifilimu ezibhityileyo, zeseramikhi, okanye ezintsonkothileyo.
- Iingenelo:
- Ingabeka uluhlu olubanzi lwezinto, kuquka iintsimbi, ii-alloys, kunye nee-oxides.
- Ukufana okugqwesileyo kwefilimu kunye nokugubungela amanyathelo, nokuba kwiimilo ezintsonkothileyo.
- Ulawulo oluchanekileyo malunga nobukhulu befilimu kunye nokwakheka kwayo.
- Iingxaki:
- Amanqanaba okufumba acothayo xa kuthelekiswa nokufuma kobushushu.
- Ibiza kakhulu ngenxa yobunzima bezixhobo kunye nesidingo samandla aphezulu.
Umahluko oPhambili:
- Umthombo woHlelo:
- Ukufuma kwe-thermal kusebenzisa ubushushu ukufutha izinto, ngelixa ukutshiza kusebenzisa ukuqhumisa ii-ion ukukhupha ii-athomu ngokwasemzimbeni.
- Amandla afunekayo:
- Ukufuma kobushushu kudla ngokufuna amandla amancinci kunokutshiza kuba kuxhomekeke ekufudumaleni kunokuba kuvelise iplasma.
- Izixhobo:
- Ukutshiza kungasetyenziselwa ukufaka uluhlu olubanzi lwezinto, kuquka nezo zinendawo yokunyibilika ephezulu, ekunzima ukuzikhupha.
- Umgangatho weFilimu:
- Ukutshiza ngokubanzi kunika ulawulo olungcono kubukhulu befilimu, ukufana, kunye nokwakheka kwayo.
Ixesha leposi: Sep-27-2024