Nā uhi PVD: Ka mahu wela a me ka sputtering

ʻO nā uhi PVD (Physical Vapor Deposition) he mau ʻano hana i hoʻohana nui ʻia no ka hana ʻana i nā ʻili lahilahi a me nā uhi ʻili. Ma waena o nā ʻano hana maʻamau, ʻo ka hoʻoheheʻe wela a me ka sputtering ʻelua mau kaʻina hana PVD koʻikoʻi. Eia ka wehewehe ʻana o kēlā me kēia:

1. Ka mahu wela

• Kumumanaʻo:Hoʻomehana ʻia ka mea i loko o kahi keʻena hakahaka a hiki i ka wā e mahu ai a i ʻole e hoʻohaʻahaʻa. A laila hoʻopili ʻia ka mea i mahu ʻia ma luna o kahi substrate e hana i kahi ʻili lahilahi.
• Kaʻina Hana:
• Hoʻomehana ʻia kahi mea kumu (metala, seramika, a me nā mea ʻē aʻe), maʻamau me ka hoʻohana ʻana i ka hoʻomehana resistive, ke kukuna electron, a i ʻole ka laser.
• Ke hiki ka mea i kona kiko mahu, haʻalele nā ​​​​ʻātoma a i ʻole nā ​​​​molekala i ke kumu a hele i loko o ka vacuum i ka substrate.
• Hoʻopili nā ʻātoma i hoʻoheheʻe ʻia ma luna o ka ʻili o ka substrate, e hana ana i kahi papa lahilahi.
• Nā noi:
• Hoʻohana pinepine ʻia e waiho i nā metala, semiconductors, a me nā insulators.
• ʻO nā noi e pili ana i nā uhi optical, nā hoʻopau hoʻonaninani, a me ka microelectronics.
• Nā Pōmaikaʻi:
• Nā helu waiho kiʻekiʻe.
• Maʻalahi a kūpono hoʻi ke kumukūʻai no kekahi mau mea.
• Hiki ke hana i nā kiʻiʻoniʻoni maʻemaʻe loa.
• Nā hemahema:
• Ua kaupalena ʻia i nā mea me nā kiko heheʻe haʻahaʻa a i ʻole nā ​​​​kaomi mahu kiʻekiʻe.
• Ka uhi ʻana i nā ʻanuʻu maikaʻi ʻole ma luna o nā ʻili paʻakikī.
• Ka emi ʻana o ka mana ma luna o ka haku mele ʻana no nā metala.

2. Ke kuʻi ʻana

• Kumumanaʻo: Hoʻolalelale ʻia nā ion mai kahi plasma i kahi mea i manaʻo ʻia, e hoʻokuke ʻia ana (sputtered) nā ʻātoma mai ka pahuhopu, a laila e waiho ana ma luna o ka substrate.
• Kaʻina Hana:
• Hoʻokomo ʻia kahi mea i manaʻo ʻia (metala, alloy, a me nā mea ʻē aʻe) i loko o ke keʻena, a hoʻokomo ʻia kahi kinoea (ʻo ia hoʻi ka argon).
• Hoʻopili ʻia kahi voltage kiʻekiʻe e hana i kahi plasma, kahi e hoʻohuihui ai i ke kinoea.
• Hoʻolalelale ʻia nā ion i hoʻopiʻi maikaʻi ʻia mai ka plasma i ka pahuhopu i hoʻopiʻi maikaʻi ʻole ʻia, e hoʻokuke kino ana i nā ʻātoma mai ka ʻili.
• A laila hoʻopili kēia mau ʻātoma ma luna o ka substrate, e hana ana i kahi ʻili lahilahi.
• Nā noi:
• Hoʻohana nui ʻia i ka hana semiconductor, ka uhi ʻana i ke aniani, a me ka hana ʻana i nā uhi pale ʻaʻahu.
• Kūpono no ka hana ʻana i nā ʻili lahilahi metala, seramika, a i ʻole nā ​​​​ʻiliʻili lahilahi paʻakikī.
• Nā Pōmaikaʻi:
• Hiki ke waiho i nā ʻano mea like ʻole, me nā metala, nā alloys, a me nā oxides.
• ʻO ke ʻano like ʻana o ka ʻiliʻili a me ka uhi ʻana i nā ʻanuʻu, ʻoiai ma nā ʻano paʻakikī.
• Ka mana pololei ma luna o ka mānoanoa a me ka haku mele ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni.
• Nā hemahema:
• ʻOi aku ka lohi o ka hoʻokomo ʻana i ka hoʻohālikelike ʻia me ka mahu wela.
• ʻOi aku ke kumukūʻai ma muli o ka paʻakikī o nā lako a me ka pono no ka ikehu kiʻekiʻe.

Nā ʻokoʻa koʻikoʻi:

• Puna o ka Waihona:
• Hoʻohana ka hoʻomaloʻo wela i ka wela e hoʻomaloʻo i nā mea, ʻoiai ʻo ka sputtering e hoʻohana ana i ka ion bombardment e hoʻokuke kino i nā ʻātoma.
• Ikehu e pono ai:
• ʻO ka mahu wela e pono ai ka ikehu liʻiliʻi ma mua o ka sputtering no ka mea hilinaʻi ia i ka hoʻomehana ma mua o ka hana plasma.
• Nā Mea Hana:
• Hiki ke hoʻohana ʻia ka sputtering e waiho i kahi ākea o nā mea, me nā mea me nā kiko heheʻe kiʻekiʻe, kahi paʻakikī e hoʻomaloʻo.
• Ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni:
• ʻO ka sputtering ma ke ʻano laulā e hāʻawi i ka mana maikaʻi ma luna o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni, ke kūlike, a me ka haku mele ʻana.