O vali PVD (Physical Vapor Deposition) o ni metotia e faʻaaogaina lautele mo le faia o ni ata manifinifi ma ni vali luga. I totonu o metotia masani, o le faʻavevela faʻavevela ma le sputtering o ni faiga taua se lua o le PVD. O se faʻamatalaga auiliili lea o ia mea taʻitasi:
1. Fa'amamago Fa'avevela
- Mataupu Faavae:E fa'avevela le mea i totonu o se potu e leai se masini e mitiia ai le ea se'ia o'o ina liu suavai pe fa'asusu. Ona fa'aputu lea o le mea ua liu suavai i luga o se mea e fai ai se ata manifinifi.
- Faiga:
- E fa'avevela se mea e maua mai ai (u'amea, seramika, ma isi mea faapena), e masani ona fa'aogaina le fa'avevela tete'e, ave eletise, po'o le laser.
- O le taimi lava e oʻo atu ai le mea i lona tulaga e faʻapuna ai, e tuua e atoms poʻo molecules le puna ma malaga atu i le vacuum agai i le mea faʻavae.
- E fa'aputu fa'atasi ia atomu ua liu suavai i luga o le fogā'ele'ele, ma fausia ai se vaega manifinifi.
- Talosaga:
- E masani ona fa'aaogaina e teu ai u'amea, semiconductors, ma insulators.
- O fa'aoga e aofia ai ufiufi opitika, fa'auma teuteu, ma microelectronics.
- Fa'amanuiaga:
- Maualuga le fua faatatau o le teuina.
- Faigofie ma taugofie mo nisi meafaitino.
- E mafai ona gaosia ni ata tifaga e matuā mama lava.
- Le lelei:
- Fa'atapula'aina i meafaitino e maualalo le tulaga e liusuavai ai pe maualuga fo'i le mamafa o le ausa.
- Le lelei le ufiufi o faasitepu i luga o ni mea faigata.
- E itiiti ifo le puleaina o le tuufaatasiga o ata tifaga mo u'amea fa'afefiloi.
2. Fa'apuna
- Mataupu Faavae: O ion mai le plasma e faatelevaveina agai atu i se mea o loʻo faʻamoemoeina, ma mafua ai ona tuliesea (sputtered) atoms mai le sini, ona faʻaputu lea i luga o le substrate.
- Faiga:
- O se mea fa'atatau (u'amea, 'apamemea, ma isi mea fa'apena) e tu'u i totonu o le potu, ona fa'aopoopo lea i ai o se kesi (e masani lava o le argon).
- O le eletise maualuga e faʻaaogaina e fatu ai se plasma, lea e faʻaionize ai le kesi.
- O ions ua molia lelei mai le plasma e fa'avavevaveina agai i le sini ua molia leaga, ma fa'ate'a ese fa'aletino ai atoms mai luga.
- Ona fa'aputu lea o nei atomu i luga o le mea fa'avae, ma fausia ai se ata manifinifi.
- Talosaga:
- E fa'aaogaina lautele i le gaosiga o semiconductor, ufiufi tioata, ma le faia o ufiufi e tete'e atu i le ofuina.
- Lelei mo le fatuina o ata u'amea, seramika, po'o ni ata manifinifi lavelave.
- Fa'amanuiaga:
- E mafai ona teuina le tele o meafaitino, e aofia ai metala, alloys ma oxides.
- Lelei tele le tutusa o le ata tifaga ma le ufiufi o la'asaga, e o'o lava i foliga faigata.
- Puleaina lelei o le mafiafia ma le tuufaatasiga o le ata tifaga.
- Le lelei:
- Fua fa'atatau o le fa'aputuina e telegese pe a fa'atusatusa i le fa'amamago ona o le vevela.
- E sili atu le taugata ona o le lavelave o masini ma le manaʻomia o le malosi maualuga.
Eseesega Autū:
- Puna o le Fa'amaumauga:
- O le fa'amamagoina o le vevela e fa'aaogaina ai le vevela e fa'amamago ai mea, ae o le sputtering e fa'aaogaina ai le fa'aosoina o le ion e fa'ate'a ese ai fa'aletino atoms.
- Malosiaga e Manaʻomia:
- O le fa'amamagoina i le vevela e masani ona itiiti le malosi e mana'omia nai lo le sputtering ona e fa'alagolago i le fa'avevela nai lo le gaosiga o le plasma.
- Meafaitino:
- E mafai ona fa'aaogā le sputtering e fa'aputu ai le tele o meafaitino, e aofia ai mea e maualuga le tulaga e liusuavai ai, e faigata ona fa'a'umi'umi.
- Tulaga Lelei o le Ata Tifaga:
- O le sputtering e masani ona maua ai le pulea lelei o le mafiafia o le ata tifaga, tutusa, ma le tuufaatasiga.
Taimi na lafoina ai: Setema-27-2024