Mkpuchi PVD (Physical Vapor Deposition) bụ usoro eji eme ihe nke ukwuu maka imepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị na mkpuchi elu. N'ime ụzọ ndị a na-ejikarị eme ihe, ikuku okpomọkụ na sputtering bụ usoro PVD abụọ dị mkpa. Lee nkọwa nke nke ọ bụla:
1. Mmiri ọkụ
- Ụkpụrụ:A na-ekpo ọkụ ihe ahụ n'ime ụlọ ikuku ruo mgbe ọ ga-ekupụ ma ọ bụ gbadaa. Ihe ahụ e tinyere na uzuoku na-agbakọta n'elu ihe e ji kpuchie ya wee mepụta ihe mkpuchi dị gịrịgịrị.
- Usoro:
- A na-ekpo ọkụ ihe e ji ekpo ọkụ (ígwè, seramiiki, wdg), a na-ejikarị ọkụ resistive, electron beam, ma ọ bụ laser.
- Ozugbo ihe ahụ ruru ebe ọ na-ekupụ mmiri, atọm ma ọ bụ molekul na-ahapụ isi iyi ahụ wee gafere oghere ahụ gaa na ihe ndị dị n'ime ya.
- Atọm ndị a gbapụrụ agbapụ na-agbakọta n'elu ihe mkpuchi ahụ, na-emepụta oyi akwa dị gịrịgịrị.
- Ngwa:
- A na-ejikarị ya etinye ọla, semiconductor, na ihe mkpuchi ọkụ.
- Ngwa ndị a gụnyere mkpuchi anya, imecha ihe ịchọ mma, na microelectronics.
- Uru:
- Ọnụego nkwụnye ego dị elu.
- Dị mfe ma dị ọnụ ala maka ụfọdụ ihe.
- Nwere ike imepụta fim dị ọcha nke ukwuu.
- Ihe ọghọm:
- Naanị ihe ndị nwere obere ebe agbaze ma ọ bụ nrụgide uzuoku dị elu.
- Mkpuchi nzọụkwụ na-adịghị mma n'elu ihe ndị dị mgbagwoju anya.
- Obere njikwa na ihe mejupụtara ihe nkiri maka alloys.
2. Ịgbasa
- Ụkpụrụ: A na-eme ka ion sitere na plasma gbapụ ọsọ gaa n'ihe a na-achọ, na-eme ka atom ndị ahụ gbapụ (gbapụta) site na ihe a na-achọ, nke na-abanyekwa n'elu ihe ahụ.
- Usoro:
- A na-etinye ihe e ji achọ ihe (ígwè, alloy, wdg) n'ime ụlọ ahụ, a na-etinyekwa gas (karịsịa argon).
- A na-etinye voltaji dị elu iji mepụta plasma, nke na-eme ka gas ahụ dị ion.
- A na-eme ka ion ndị a na-agbaze nke ọma site na plasma gbadaa ọsọ gaa n'ebe a na-agbaze nke ọma, na-ewepụ atọm n'elu.
- Atọm ndị a na-abanye n'elu ihe ndị ahụ, na-emepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị.
- Ngwa:
- A na-eji ya eme ihe n'ọtụtụ ebe n'ichepụta semiconductor, iko mkpuchi, na imepụta mkpuchi na-eguzogide iyi.
- Ọ dị mma maka imepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị, seramiiki, ma ọ bụ ihe nkiri dị gịrịgịrị.
- Uru:
- Nwere ike itinye ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere ọla, alloys, na oxides.
- Ezigbo nha nhata nke ihe nkiri na mkpuchi nzọụkwụ, ọbụlagodi na ọdịdị dị mgbagwoju anya.
- Njikwa kpọmkwem n'ọkpụrụkpụ na nhazi nke ihe nkiri ahụ.
- Ihe ọghọm:
- Ọnụego ntinye nwayọ nwayọ ma e jiri ya tụnyere ikuku okpomọkụ.
- Ọ dị oke ọnụ n'ihi mgbagwoju anya nke akụrụngwa na mkpa maka ike dị elu.
Isi ihe dị iche:
- Isi mmalite nke ntinye akwụkwọ:
- Mmiri okpomọkụ na-eji okpomọkụ eme ka ihe ghara ịdị ọcha, ebe mmiri na-eji bọmbụ ion eme ka atom ghara ịdị ọcha.
- Ike achọrọ:
- Mmiri okpomọkụ na-achọkarị obere ike karịa ịgbasa ebe ọ bụ na ọ na-adabere na ikpo ọkụ kama mmepụta plasma.
- Ihe eji eme ihe:
- Enwere ike iji sputtering tinye ọtụtụ ihe dị iche iche, gụnyere ndị nwere nnukwu ebe agbaze agbaze, nke siri ike ịpụ apụ.
- Ogo ihe nkiri:
- Ịgbanye ihe n'ụzọ dị mfe na-enye njikwa ka mma n'elu ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ, ịdị n'otu, na nhazi ya.
Oge ozi: Sep-27-2024