Àwọn ìbòrí PVD: Ìtújáde ooru àti ìtújáde

Àwọn ìbòrí PVD (Physical Vapor Deposition) jẹ́ ọ̀nà tí a ń lò fún ṣíṣẹ̀dá àwọn fíìmù tín-tín àti àwọn ìbòrí ojú ilẹ̀. Láàrín àwọn ọ̀nà tí a sábà máa ń lò, ìtújáde ooru àti ìfọ́mọ́ ni àwọn ìlànà PVD pàtàkì méjì. Èyí ni ìtúpalẹ̀ ọ̀kọ̀ọ̀kan wọn:

1. Ìtújáde Ooru

• Ìlànà:A máa ń gbóná ohun èlò náà nínú yàrá ìfọṣọ títí tí yóò fi gbẹ tàbí kí ó rọ sílẹ̀. Lẹ́yìn náà, ohun èlò tí a ti yọ jáde náà yóò di ara ohun èlò ìpìlẹ̀ kan láti ṣẹ̀dá fíìmù tín-ín-rín.
• Ilana:
• A máa ń gbóná ohun èlò orísun (irin, seramiki, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ), a sì sábà máa ń lo ìgbóná resistive, electron beam, tàbí lesa.
• Nígbà tí ohun èlò náà bá dé ibi tí ó ti ń tú jáde, àwọn átọ̀mù tàbí àwọn mọ́lẹ́kúlù fi orísun náà sílẹ̀, wọ́n sì ń rìn gba inú afẹ́fẹ́ lọ sí ibi tí ó wà lábẹ́ ilẹ̀ náà.
• Àwọn átọ̀mù tí a ti gbẹ náà máa ń kóra jọ sí ojú ilẹ̀ náà, wọ́n sì máa ń di fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́.
• Awọn ohun elo:
• A maa n lo o lati fi awon irin, semiconductors, ati awọn insulators sinu ile.
• Àwọn ohun èlò tí a fi ń ṣe é ni àwọn ohun èlò ìbòjú, àwọn ohun ọ̀ṣọ́ tí a fi ṣe é, àti àwọn ohun èlò ìkọ́lé.
• Àwọn àǹfààní:
• Oṣuwọn gbigba owo giga.
• Rọrùn àti owó-owó fún àwọn ohun èlò kan.
• Le ṣe awọn fiimu ti o mọ patapata.
• Àwọn Àléébù:
• Ni opin si awọn ohun elo ti o ni awọn aaye yo kekere tabi awọn titẹ eefin giga.
• Ibora ti ko dara lori awọn oju ilẹ ti o nipọn.
• Ìṣàkóso díẹ̀ lórí àkójọpọ̀ fíìmù fún àwọn àlùmọ́nì.

2. Ìfọ́nká

• Ìlànà: Àwọn ion láti inú plasma máa ń yára lọ sí ohun èlò ìfọkànsí kan, èyí tí yóò mú kí àwọn átọ̀mù jáde (tú jáde) láti inú àfojúsùn náà, èyí tí yóò sì wá di ohun tí a fi pamọ́ sí orí ilẹ̀ náà.
• Ilana:
• A gbé ohun èlò tí a fẹ́ lò (irin, alloy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) sínú yàrá náà, a sì gbé gáàsì (tí ó sábà máa ń jẹ́ argon) kalẹ̀.
• A lo foliteji giga lati ṣẹda plasma kan, eyiti o sọ gaasi di ion.
• Àwọn ion tí a ti gba agbára rere láti inú plasma náà yára sí ibi tí agbára náà ti gba agbára ní òdìkejì, wọ́n sì ń yọ àwọn átọ̀mù kúrò ní ojú ilẹ̀.
• Àwọn átọ̀mù wọ̀nyí wá ń tàn sórí ilẹ̀ náà, wọ́n sì ń ṣe fíìmù tín-ín-rín.
• Awọn ohun elo:
• A nlo ni ibigbogbo ninu iṣelọpọ semiconductor, fifi gilasi bo, ati ṣiṣẹda awọn aṣọ ti ko ni idiwọ fun wiwọ.
• Apẹrẹ fun ṣiṣẹda awọn fiimu tinrin tinrin, seramiki, tabi awọn ohun elo ti o nipọn.
• Àwọn àǹfààní:
• Ó lè gbé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò sí i, títí bí àwọn irin, àwọn alloy, àti oxides.
• Àjọṣepọ̀ fíìmù àti ìbòjú tó dára gan-an, kódà lórí àwọn ìrísí tó díjú.
• Iṣakoso deede lori sisanra ati akojọpọ fiimu naa.
• Àwọn Àléébù:
• Awọn oṣuwọn gbigbe silẹ ti o lọra ni akawe pẹlu isunmi ooru.
• Ó gbowó púpọ̀ nítorí ìṣòro ẹ̀rọ náà àti àìní agbára tó ga jù.

Awọn Iyatọ Pataki:

• Orísun Ìfipamọ́:
• Ìtújáde ooru máa ń lo ooru láti tú ohun èlò jáde, nígbà tí ìtújáde omi máa ń lo bọ́m̀bù ion láti tú àwọn átọ̀mù kúrò.
• Agbára tí a nílò:
• Ìtújáde ooru sábà máa ń nílò agbára díẹ̀ ju ìtújáde lọ nítorí pé ó gbára lé ìgbóná dípò ìṣẹ̀dá plasma.
• Àwọn ohun èlò:
• A le lo sputtering lati fi ọpọlọpọ awọn ohun elo pamọ, pẹlu awọn ti o ni awọn aaye yo giga, eyiti o nira lati gbẹ.
• Didara Fíìmù:
• Sputtering maa n pese iṣakoso to dara julọ lori sisanra fiimu, iṣọkan, ati akopọ.