Бо рушди босуръати технологияҳои пешрафтаи бастабандӣ, TGV (Through Glass Via) тадриҷан ба як роҳи ҳалли калидии пайвасткунӣ барои субстратҳои шишагӣ табдил меёбад. Бо истифода аз бартариҳои худ аз қабили талафоти ками диэлектрикӣ, устувории аълои гармӣ, дақиқии баланди коркард ва хосиятҳои қавии изолятсия, TGV дар алоқаи оптикӣ, MEMS, сенсорҳо ва пайвастҳои баландсуръат самаранокии аъло нишон додааст ва ҳоло ба сенарияҳои татбиқи баландсифат густариш меёбад.
Аммо, таҳаввули сохторҳои TGV инчунин мушкилоти нави истеҳсолӣ ба бор меорад: диаметрҳои хурдтар тавассути, геометрияҳои мураккабтар ва таносубҳои паҳлӯии пайваста афзоишёбанда. Хусусан, дар шароити диаметри тавассути 30 мкм ва таносубҳои паҳлӯии аз 10:1 зиёд, ноил шудан ба яксон ҷойгиршавии қабати тухмӣ дар дохили тавассути, муддати тӯлонӣ ҳамчун яке аз монеаҳои муҳимтарин эътироф шудааст. Гарчанде ки дар занҷири раванд камтар намоён аст, ин қадам мустақиман кори электрикии дастгоҳ ва эътимоднокии дарозмуддатро муайян мекунад.
Мушкилоти кунунии №1 дар пӯшонидани Micro-Via
Дар равандҳои TGV ва TSV, диаметрҳои маъмулии гузаранда метавонанд то 30 мкм хурд бошанд ва талаботи таносуби паҳлӯӣ аз 10:1 зиёд бошад. Дар чунин шароит, усулҳои анъанавии рӯйпӯшкунӣ бо якчанд маҳдудиятҳо рӯбарӯ мешаванд:
Минтақаҳои мурдаи боришот: Таъсири қавии сояафканӣ тавассути деворҳои паҳлӯӣ аксар вақт ба пайдоиши плёнкаҳои нопайдо оварда мерасонад, ки гузаронандагӣ ва герметикӣ-ро халалдор мекунад.
Нобаробарии ғафсии плёнка: Тафовутҳои назарраси суръати таҳшиншавӣ байни сӯрохиҳои тавассути ва поёнӣ боиси мушкилоти муқовимати маҳаллӣ мешаванд.
Мутобиқати нокифояи маводҳои гуногун: Ҳангоми гузоштани маводҳои гуногун ба монанди Cu, Ti, W, Ni ва Pt дар зеризаминҳои шишагӣ ё силикон, таъмини часпидан ва якрангӣ дар ҳамаи қабатҳо душвор аст.
Ин мушкилот ба ҳосилнокӣ таъсири мустақим мерасонанд, хатари коркарди такрорӣ ва арзиши равандро зиёд мекунанд ва самаранокии истеҳсолиро дар ҳаҷми зиёд маҳдуд мекунанд.
№2. Маҳлули рӯйпӯшкунии вакуумии ZHENHUA бо амиқи виа
Бартариятҳои таҷҳизот:
Пӯшиши амиқтари оптимизатсияшуда
Бо технологияи хусусии пӯшонидани амиқ аз ҷониби ZHENHUA, ҳатто дар гузаргоҳҳои хурд бо диаметри 30 мкм бо таносуби тарафҳо аз 10:1 зиёдтар, ҷойгиршавии якхелаи қабати тухмӣ имконпазир аст ва мушкилоти деринаро дар пӯшонидани мураккаби амиқ паси сар мекунад.
Мутобиқсозии дархостӣ, дастгирии зербанди бисёрандоза
Қобилияти коркарди андозаҳои гуногуни субстратҳои шишагӣ, аз ҷумла 600 × 600 мм, 510 × 515 мм ва форматҳои калонтар.
Чандирии раванд бо мутобиқати бисёрмаводӣ
Система плёнкаҳои тунуки гузаронанда ва функсионалиро ба монанди Cu, Ti, W, Ni ва Pt дастгирӣ мекунад, ки имкон медиҳад, ки ҳам гузаронандагии барқӣ ва ҳам талаботи муқовимат ба зангзанӣ ҳалли фармоишӣ фароҳам оварда шавад.
Иҷрои устувори таҷҳизот ва нигоҳдории осон
Таҷҳизот, ки бо системаи идоракунии интеллектуалӣ муҷаҳҳаз шудааст, имкон медиҳад, ки танзими автоматии параметрҳо ва мониторинги якрангии ғафсии плёнка дар вақти воқеӣ анҷом дода шавад. Тарҳи модулӣ осонии нигоҳдориро таъмин мекунад ва вақти бекористиро кам мекунад.
Доираи татбиқ:
Барои равандҳои пешрафтаи бастабандии TGV/TSV/TMV мувофиқ аст, ки имкон медиҳад, ки қабати тухмӣ дар сохторҳои амиқ бо таносуби паҳлӯӣ то 10:1 пӯшонида шавад.
Бо афзоиши бозори бастабандии пешрафта, талабот ба микро-виасҳо ва сохторҳои таносуби баланди паҳлӯӣ боз ҳам афзоиш хоҳад ёфт. Технологияи пӯшонидани амиқ аз ZHENHUA Vacuum як роҳи ҳалли миқёспазир ва барои истеҳсоли оммавӣ омода барои мушкилоти муҳими пӯшонидани TGV ва дигар равандҳои бастабандии насли ояндаро фароҳам меорад ва самаранокии бастабандӣ ва мувофиқати маҳсулотро беҳтар мекунад.
— Ин мақола аз ҷониби нашр шудааст таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ истеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 18 августи соли 2025