Чаро чангкашакро истифода баред?
Пешгирии ифлосшавӣ: Дар вакуум, набудани ҳаво ва дигар газҳо аз реаксия кардани маводи таҳшиншуда бо газҳои атмосфера пешгирӣ мекунад, ки метавонад филмро ифлос кунад.
Пайвастшавии беҳтар: Набудани ҳаво маънои онро дорад, ки филм мустақиман ба субстрат бидуни ҷайбҳои ҳавоӣ ё дигар газҳои фосилавӣ, ки метавонад пайвандро суст кунад, часпида мешавад.
Сифати филм: Шароити вакуумӣ имкон медиҳад, ки раванди таҳшинкунӣ беҳтар назорат карда шавад, ки дар натиҷа филмҳои якхела ва сифати баландтар ба даст меоянд.
Ҷойгиршавии ҳарорати паст: Баъзе маводҳо дар ҳарорате, ки барои таҳшин лозиманд, агар онҳо ба газҳои атмосфера дучор шаванд, таҷзия мешаванд ё реаксия мекунанд. Дар вакуум, ин маводҳо метавонанд дар ҳарорати паст ҷойгир карда шаванд.
Намудҳои равандҳои пӯшонидани вакуумӣ
Ҷойгиршавии буғи ҷисмонӣ (PVD)
Бухоршавии гармӣ: Мавод дар вакуум гарм карда мешавад, то он даме, ки бухор шавад ва сипас дар субстрат конденсат шавад.
Парокандашавӣ: Нури ионҳои дорои энергияи баланд маводи мавриди ҳадафро бомбаборон мекунад, ки атомҳо хориҷ мешаванд ва ба субстрат ҷойгир мешаванд.
Ҷойгиркунии лазерии импулсӣ (PLD): Барои бухор кардани мавод аз ҳадаф, нури лазерии пурқувват истифода мешавад, ки баъдан дар субстрат конденсат мешавад.
Ҷойгиршавии буғи кимиёвӣ (CVD)
Фишори пасти CVD (LPCVD): Дар фишори паст барои паст кардани ҳарорат ва беҳтар кардани сифати филм иҷро карда мешавад.
Plasma Enhanced CVD (PECVD): Плазмаро барои фаъол кардани реаксияҳои кимиёвӣ дар ҳарорати пасттар нисбат ба CVD анъанавӣ истифода мебарад.
Ҷойгиркунии қабати атомӣ (ALD)
ALD як намуди CVD мебошад, ки дар як вақт филмҳоро як қабати атомӣ мегузорад ва назорати аълои ғафсӣ ва таркиби филмро таъмин мекунад.
Таҷҳизоте, ки дар қабати вакуумӣ истифода мешавад
Палатаи вакуумӣ: Ҷузъи асосӣ, ки дар он раванди пӯшиш сурат мегирад.
Насосҳои чангкашак: Барои эҷод ва нигоҳ доштани муҳити вакуумӣ.
Дорандаи субстрат: Барои нигоҳ доштани субстрат дар ҷараёни пӯшиш.
Сарчашмаҳои бухоршавӣ ё пошидан: Вобаста ба усули PVD истифодашаванда.
Таъмини барқ: Барои истифодаи энергия ба манбаъҳои бухоршавӣ ё тавлиди плазма дар PECVD.
Системаҳои назорати ҳарорат: Барои гарм кардани субстратҳо ё назорати ҳарорати раванд.
Системаҳои мониторинг: Барои чен кардани ғафсӣ, якрангӣ ва дигар хосиятҳои филми гузошташуда.
Барномаҳои қабати вакуумӣ
Рӯйпӯшҳои оптикӣ: Барои қабатҳои зидди инъикоскунанда, инъикоскунанда ё филтр дар линзаҳо, оинаҳо ва дигар ҷузъҳои оптикӣ.
Рангҳои ороишӣ: Барои доираи васеи маҳсулот, аз ҷумла заргарӣ, соатҳо ва қисмҳои автомобилӣ.
Сарпӯшҳои сахт: Барои беҳтар кардани муқовимат ба фарсудашавӣ ва устуворӣ дар асбобҳои буриш, ҷузъҳои муҳаррик ва дастгоҳҳои тиббӣ.
Сарпӯшҳои монеа: Барои пешгирии зангзанӣ ё гузариши металлӣ, пластикӣ ё шишагӣ.
Қабати электронӣ: Барои истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ, ҳуҷайраҳои офтобӣ ва дигар дастгоҳҳои электронӣ.
Афзалиятҳои қабати вакуумӣ
Дақиқӣ: Сарпӯши вакуумӣ имкон медиҳад, ки ғафсӣ ва таркиби филмро дақиқ назорат кунад.
Якхела: Филмҳоро дар шаклҳои мураккаб ва майдонҳои калон баробар ҷойгир кардан мумкин аст.
Самаранокӣ: Ин раванд метавонад хеле автоматӣ карда шавад ва барои истеҳсоли ҳаҷм мувофиқ аст.
Дӯстона ба муҳити зист: Сарпӯши вакуумӣ одатан камтар аз кимиёвӣ истифода мебарад ва нисбат ба дигар усулҳои пӯшиш партовҳои камтар истеҳсол мекунад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: 15 август-2024