Vakuumbeläggningsprocessen har strikta krav på applikationsmiljön. För den konventionella vakuumprocessen är dess huvudkrav för vakuumsanering: det finns ingen ackumulerad föroreningskälla på de delar eller ytor av utrustningen som är i vakuumet, vakuumkammarens yta är slät och fri från mjukvävnad, porer och hörnutrymmen, så att svetsfogar i vakuummaskinen inte påverkar vakuumet, och högvakuummaskinen får inte använda olja som smörjmedel. Det oljefria ultrahögvakuumsystemet bör undvika att oljeånga påverkar renheten, arbetsprestanda eller ytegenskaperna hos arbetsmediet. Ultrahögvakuummetallsystemet använder ofta 1Cr18Ni9Ti som konstruktionsmaterial. Laboratoriet eller verkstaden där vakuumbeläggningsmaskinen används bör hållas ren och hygienisk.
Vid vakuumbeläggning är ytrengöringen mycket viktig. I grund och botten måste alla substrat, innan de laddas i vakuumkammaren, genomgå en rengöringsprocess före beläggning för att uppnå avfettning, dekontaminering och uttorkning av arbetsstycket.
De huvudsakliga källorna till ytföroreningar på pläterade delar är: damm, svett, fett, polerpasta, olja, smörjolja och andra ämnen som fastnar under bearbetning, transport, förpackning och andra processer; gas som adsorberas och absorberas på ytan av utrustningsdelar; oxidfilm som bildas på ytan av beläggningsmaskinens delar i fuktig luft. Föroreningar från dessa källor kan i de flesta fall avlägsnas genom avfettning eller kemisk rengöring.
Förvara inte rengjorda arbetsstycken i atmosfärisk miljö. För att minska dammkontaminering och rengöra förvaringen av arbetsstyckena, använd ofta rengöringsskåp eller slutna behållare för att förvara arbetsstycket. Glassubstratet måste förvaras i en nyligen oxiderad aluminiumbehållare, vilket kan minska adsorptionen av kolväteånga. Eftersom nyligen oxiderade aluminiumbehållare företrädesvis adsorberar kolväten. Ytor som är känsliga för vattenånga eller mycket instabila förvaras vanligtvis i en vakuumtorkugn.
De grundläggande kraven för vakuumbeläggningsprocessen på miljön inkluderar huvudsakligen: hög renhet i vakuumrummet, dammfritt beläggningsrum etc. I vissa områden är luftfuktigheten relativt hög, så innan plätering behöver man inte bara rengöra komponenterna i substratet och vakuumkammaren, utan också utföra bakning och avgasning. För att förhindra att olja kommer in i vakuumkammaren är det dessutom nödvändigt att vara uppmärksam på oljeåterförings- och oljeblockeringsåtgärderna hos påfyllningsdiffusionspumpen.
Publiceringstid: 18 februari 2023