Varför använda en dammsugare?
Förebyggande av kontaminering: I vakuum förhindrar frånvaron av luft och andra gaser att avsättningsmaterialet reagerar med atmosfäriska gaser, vilket kan förorena filmen.
Förbättrad vidhäftning: Bristen på luft innebär att filmen fäster direkt på underlaget utan luftfickor eller andra mellanliggande gaser som kan försvaga bindningen.
Filmkvalitet: Vakuumförhållanden möjliggör bättre kontroll över avsättningsprocessen, vilket resulterar i mer enhetliga och högkvalitativa filmer.
Lågtemperaturavsättning: Vissa material skulle sönderfalla eller reagera vid de temperaturer som krävs för avsättning om de exponerades för atmosfäriska gaser. I vakuum kan dessa material avsättas vid lägre temperaturer.
Typer av vakuumbeläggningsprocesser
Fysisk ångavsättning (PVD)
Termisk avdunstning: Materialet värms upp i vakuum tills det avdunstar och sedan kondenserar på underlaget.
Sputtering: En högenergisk jonstråle bombarderar ett målmaterial, vilket gör att atomer stöts ut och avsätts på substratet.
Pulserad laserdeponering (PLD): En högeffektslaserstråle används för att förånga material från ett mål, som sedan kondenserar på substratet.
Kemisk ångdeponering (CVD)
Lågtrycks-CVD (LPCVD): Utförs vid reducerat tryck för att sänka temperaturerna och förbättra filmkvaliteten.
Plasmaförstärkt CVD (PECVD): Använder plasma för att aktivera kemiska reaktioner vid lägre temperaturer än traditionell CVD.
Atomlageravsättning (ALD)
ALD är en typ av CVD som avsätter filmer ett atomlager i taget, vilket ger utmärkt kontroll över filmtjocklek och sammansättning.
Utrustning som används vid vakuumbeläggning
Vakuumkammare: Huvudkomponenten där beläggningsprocessen äger rum.
Vakuumpumpar: För att skapa och bibehålla vakuummiljön.
Substrathållare: För att hålla substratet på plats under beläggningsprocessen.
Avdunstning eller sputteringkällor: Beroende på vilken PVD-metod som används.
Strömförsörjning: För att tillföra energi till avdunstningskällorna eller för att generera plasma i PECVD.
Temperaturkontrollsystem: För uppvärmning av substrat eller kontroll av processtemperaturen.
Övervakningssystem: För att mäta tjocklek, enhetlighet och andra egenskaper hos den deponerade filmen.
Tillämpningar av vakuumbeläggning
Optiska beläggningar: För antireflexbeläggningar, reflekterande beläggningar eller filterbeläggningar på linser, speglar och andra optiska komponenter.
Dekorativa beläggningar: För ett brett utbud av produkter, inklusive smycken, klockor och bildelar.
Hårda beläggningar: För att förbättra slitstyrka och hållbarhet på skärverktyg, motorkomponenter och medicintekniska produkter.
Barriärbeläggningar: För att förhindra korrosion eller permeation på metall-, plast- eller glasunderlag.
Elektroniska beläggningar: För produktion av integrerade kretsar, solceller och andra elektroniska apparater.
Fördelar med vakuumbeläggning
Precision: Vakuumbeläggning möjliggör exakt kontroll över filmtjocklek och sammansättning.
Likformighet: Filmer kan appliceras jämnt över komplexa former och stora ytor.
Effektivitet: Processen kan automatiseras i hög grad och är lämplig för storskalig produktion.
Miljövänlighet: Vakuumbeläggning använder vanligtvis färre kemikalier och producerar mindre avfall än andra beläggningsmetoder.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 15 augusti 2024