Ka nts'etsopele e potlakileng ea mahlale a tsoetseng pele a ho paka, TGV (Through Glass Via) butle-butle e fetoha tharollo ea bohlokoa ea khokahano bakeng sa li-substrate tsa khalase. Ka ho sebelisa melemo ea eona ea tahlehelo e tlase ea dielectric, botsitso bo botle ba mocheso, ho nepahala ho phahameng ha mechini, le thepa e matla ea ho thibela mocheso, TGV e bontšitse ts'ebetso e ikhethang puisanong ea optical, MEMS, li-sensor, le li-connection tsa lebelo le phahameng, 'me joale e atoloha ho ea maemong a holimo a ts'ebeliso.
Leha ho le jwalo, phetoho ya dibopeho tsa TGV e boetse e tlisa diphephetso tse ntjha tsa tlhahiso: tse nyane ka bophara, dijiometri tse rarahaneng haholoanyane, le dikarolwana tsa ponahalo tse ntseng di eketseha ka ho tswela pele. Haholo-holo, tlasa maemo a 30 μm ka bophara le dikarolwana tsa ponahalo tse fetang 10:1, ho fihlella ho bewa ha peo ka tsela e tshwanang ka hare ho tsela ho se ho ntse ho bonwa e le e nngwe ya ditshitiso tsa bohlokwa ka ho fetisisa. Le hoja e sa bonahale haholo ketaneng ya tshebetso, mohato ona o etsa qeto ka ho toba ka tshebetso ya motlakase wa sesebediswa le ho tshepahala ha nako e telele.
Liphephetso tsa Hona Joale tsa Micro-Via Coating ea Nomoro ea 1
Lits'ebetsong tsa TGV le TSV, bophara bo tloaelehileng bo ka ba bo bonyenyane ba 30 μm, ka litlhoko tsa karolelano ea likarolo tse fetang 10:1. Tlas'a maemo ana, mekhoa ea ho roala e tloaelehileng e tobana le mefokolo e 'maloa:
Libaka tse sa pheleng: Litlamorao tse matla tsa moriti ka mathoko hangata li lebisa lifiliming tse sa tsoeleng pele, tse fokolisang ho tsamaisoa ha motlakase le ho tiea ha oona.
Ho se tshwane ha botenya ba filimi: Phapang e kgolo ya sekgahla sa ho bewa ha diphahlo pakeng tsa diphahlo le dibotlase e fella ka mathata a ho hanyetsa sebakeng seo.
Ho se lumellane ha thepa e ngata ho sa lekaneng: Ha o kenya thepa e mengata e kang Cu, Ti, W, Ni, le Pt hodima khalase kapa di-substrate tsa silicon, ho thata ho netefatsa ho kgomarelana le ho tshwana ho pholletsa le dikarolo tsohle.
Mathata ana a ama chai ka kotloloho, a eketsa kotsi ea ho sebetsa bocha le litšenyehelo tsa ts'ebetso, 'me a thibela katleho e kholo ea tlhahiso.
Tharollo ea ho Koahela ka Vacuum Deep-Via ea ZHENHUA ea 2
Melemo ea Lisebelisoa:
Sekoahelo se Tebileng sa Deep-Via
Ka theknoloji ea ho koahela ka botebo ea ZHENHUA, ho kenngoa ha peo ka mokhoa o ts'oanang ho ka finyelloa esita le ka li-vias tse nyane tse ka bang 30 μm ka bophara, ka likarolo tse fetang 10:1—ho hlola liphephetso tsa nako e telele ho koahela ka botebo ka botebo.
Ho Itlhophisa ha ho Batloa, Tšehetso ea Substrate ea Boholo bo Bongata
E khona ho sebetsana le boholo bo fapaneng ba likarolo tsa khalase, ho kenyeletsoa 600×600 mm, 510×515 mm, le liforomo tse kholoanyane.
Ho tenyetseha ha Ts'ebetso ka ho Tsamaellana ha Lintho tse Ngata
Sistimi ena e tshehetsa difilimi tse tshesane tse tsamaisang motlakase le tse sebetsang jwalo ka Cu, Ti, W, Ni, le Pt, e nolofalletsang ditharollo tse ikgethileng bakeng sa ditlhoko tsa ho tsamaisa motlakase le ho thibela ho bola.
Tshebetso ea Lisebelisoa tse Tsitsitseng le Tlhokomelo e Bonolo
E hlomelitsoe ka sistimi e bohlale ea taolo, sesebelisoa sena se nolofalletsa ho fetola liparamente ka boiketsetso le ho beha leihlo ka nako ea sebele ea ho tšoana ha botenya ba filimi. Moralo oa modular o netefatsa hore tlhokomelo e bonolo ebile o fokotsa nako ea ho sebetsa.
Sebaka sa Kopo:
E sebetsa lits'ebetsong tse tsoetseng pele tsa ho paka tsa TGV/TSV/TMV, e nolofalletsang ho penta ka lera la peo ka har'a meaho e tebileng ka tekanyo ea likarolo ho fihlela ho 10:1.
Ha mmaraka o tsoetseng pele oa ho paka o ntse o tsoela pele ho hola, tlhoko ea li-micro-via le meaho e nang le karolelano e phahameng ea likarolo e tla eketseha le ho feta. Theknoloji ea ho paka ka botebo ea ZHENHUA Vacuum e fana ka tharollo e ka atolosoang, e loketseng tlhahiso e ngata liphephetsong tsa bohlokoa tsa ho paka ho TGV le lits'ebetsong tse ling tsa ho paka tsa moloko o latelang, e ntlafatsang katleho ea ho paka le botsitso ba sehlahisoa.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Phato-18-2025